In usoro mkpuchi ikuku dị elu, njikwa ziri ezi nke ihe mejupụtara ihe nkiri dị gịrịgịrị dị oke mkpa iji nweta ihe ndị a chọrọ maka anya, igwe, na ọrụ. Mgbanwe ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ, usoro a na-ejikarị eme ihe na PVD, magnetron sputtering, na sistemụ ion-assisted deposition, na-arụ ọrụ dị oke mkpa n'ọnọdụ a site n'inyere aka ịgbanwe mgbanwe nke ihe na nhazi ihe n'oge deposition. Ike a dị oke mkpa maka mkpuchi multilayer dị mgbagwoju anya, ihe nkiri index a ma ama, ma ọ bụ nhazi alloyed ebe stoichiometry na otu nhata na-emetụta arụmọrụ ihe nkiri ozugbo.
Mgbanwe ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ na-enye ohere iji ihe mgbaru ọsọ dị iche iche eme ihe n'usoro ma ọ bụ n'otu oge na-enweghị ịkwụsị usoro ntinye, na-ejigide ọnọdụ plasma na-aga n'ihu ma na-enye ohere ijikwa oke ihe ndị dị mkpa. Site n'ịgbanwe ọkwa ike, oge sputtering, na ikpughe ihe mgbaru ọsọ, ndị ọrụ nwere ike ịhazi nhazi nke oyi akwa ọ bụla echekwara nke ọma, na-ahụ na ihe ngosi refractive, coefficients mbibi, ma ọ bụ conductivity eletriki na-emezu nkọwapụta imewe. Na usoro sputtering reactive, nhazi ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ na-eme ka itinye ihe ndị mejupụtara metal na oxide n'otu oge na-achịkwa nrụgide akụkụ oxygen ma ọ bụ nitrogen, na-ebelata ihe egwu nke nsị ebumnuche ma ọ bụ nhazi usoro na-adịghị mma.
Ọzọkwa, mgbanwe ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ na-eme ka mgbanwe usoro na mmegharị ahụ dịkwuo mma. Ọ na-ebelata mkpa ọ dị maka ikuku ikuku ugboro ugboro n'ime ụlọ ma ọ bụ nnọchi ihe mgbaru ọsọ aka, si otú a na-enwe ọnọdụ oghere kwụsiri ike na paramita plasma na-agbanwe agbanwe. Nkwụsi ike a dị mkpa maka iru ọnụego nkwụnye otu, obere ihe nkiri dị oke, na ibelata nhazi ntụpọ, ihe niile dị mkpa maka mkpuchi anya dị elu, mgbochi ntụgharị ma ọ bụ nnukwu ihe mkpuchi multilayer, na ihe nkiri dị gịrịgịrị na-arụ ọrụ na photonics ma ọ bụ ngwaọrụ ike.
Tinyere nke ahụ, ijikọta ngwaọrụ nlekota n'ime ebe dịka optical emission spectroscopy, quartz kristal microbalances (QCM), ma ọ bụ plasma diagnosis na multi-target switching na-enye ohere njikwa nzaghachi oge-oge nke nhazi. Enwere ike ime mgbanwe n'ụzọ dị iche iche iji kwụọ ụgwọ maka mbuze ebumnuche, mgbanwe na mmịpụta sputtering, ma ọ bụ obere mgbanwe na nrụgide ụlọ na ọdịnaya gas fọdụrụ, na-ahụ na stoichiometry na-agbanwe agbanwe n'ofe nnukwu substrates ma ọ bụ ọsọ mmepụta agbatịkwuru.
Na nchịkọta, mgbanwe ọtụtụ ihe mgbaru ọsọ bụ ihe dị mkpa maka njikwa ihe nkiri dị gịrịgịrị na teknụzụ mkpuchi oghere ọgbara ọhụrụ. Site n'inye njikwa ike na mmiri ọkụ, ịnọgide na-enwe ọnọdụ plasma na-aga n'ihu, na ijikọ ya na nchọpụta dị elu n'ime ebe, ọ na-eme ka ihe nkiri multilayer, alloy, ma ọ bụ nke a haziri ahazi nweta ihe onwunwe anya, eletriki, na igwe ha. Ike a dị oke mkpa maka mkpuchi dị elu nke ejiri na optics, photonics, ngwaọrụ ike, na ngwa ụlọ ọrụ ndị ọzọ dị elu.
-E bipụtara akụkọ a site n'aka onye bipụtara yaonye nrụpụta akụrụngwa mkpuchi ikuku Zhenhua Vacuum
Oge ozi: Maachị-19-2026