In hababka dahaarka faakuumka ee horumarsan, xakamaynta saxda ah ee halabuurka filimka khafiifka ah ayaa lagama maarmaan u ah gaaritaanka sifooyinka indhaha, farsamada, iyo kuwa shaqada ee la rabo. Beddelidda bartilmaameedka badan, farsamo si weyn loogu isticmaalo PVD, magnetron sputtering, iyo nidaamyada dhigista ee ion-ka caawiya, ayaa door muhiim ah ka ciyaara macnaha guud iyadoo awood u siineysa hagaajinta firfircoon ee qulqulka walxaha iyo halabuurka inta lagu jiro dhigista. Awooddani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay dahaarka lakabka badan ee adag, filimada tusmada heerka sare ah, ama qaab-dhismeedka isku-dhafka ah halkaas oo stoichiometry iyo isku-dhafka ay si toos ah u saameeyaan waxqabadka filimka.
Beddelidda bartilmaameedyo badan waxay u oggolaanaysaa isticmaalka isku xigxiga ama isku mar ah ee bartilmaameedyada kala duwan iyada oo aan la carqaladeyn habka dhigista, ilaalinta xaaladaha plasma-ga ee joogtada ah iyadoo la awoodsiinayo xakamaynta saxda ah ee saamiga asaasiga ah. Iyadoo la hagaajinayo heerarka awoodda, muddada xoqidda, iyo soo-gaadhista bartilmaameedka, hawl-wadeennadu waxay si fiican u hagaajin karaan isku-dhafka lakab kasta oo la dhigay, iyagoo hubinaya in tusmooyinka refractive, isku-dhafka dabar-goynta, ama socodka korontada ay buuxiyaan shuruudaha naqshadeynta. Hawsha sputtering-ka falcelinta leh, habaynta bartilmaameedyo badan waxay sahlaysaa isku-darka isku mar ah ee qaybaha birta iyo oksaydhka iyadoo la xakameynayo cadaadiska qayb ahaan ee oksijiinta ama nitrogen, iyadoo la yareynayo khatarta sunta bartilmaameedka ama sameynta marxaladda aan loo baahnayn.
Intaa waxaa dheer, beddelka bartilmaameedka badan wuxuu xoojiyaa dabacsanaanta habka iyo dib-u-soo-saarka. Waxay yareysaa baahida loo qabo hawo-mareenka soo noqnoqda ee qolka ama beddelka bartilmaameedka gacanta, taasoo ilaalinaysa xaaladaha vacuum-ka deggan iyo xuduudaha balaasmaha ee joogtada ah. Xasilloonidani waxay lagama maarmaan u tahay gaaritaanka heerarka dhigista isku midka ah, qaab-dhismeedka filimka cufan, iyo yaraynta cilladaha, kuwaas oo dhammaantood muhiim u ah dahaarka indhaha ee waxqabadka sare leh, isku-darka lakabka badan ee ka hortagga milicsiga ama milicsiga sare leh, iyo filimada khafiifka ah ee shaqeynaya ee ku jira qalabka sawir-qaadista ama aaladaha tamarta.
Intaa waxaa dheer, isku-darka qalabka kormeerka ee goobta sida spectroscopy-ga qiiqa indhaha, dheelitirka yar yar ee kiristaalka quartz (QCM), ama ogaanshaha balaasmaha oo leh beddelka bartilmaameedka badan wuxuu suurtogal ka dhigayaa xakamaynta jawaab celinta waqtiga-dhabta ah ee halabuurka. Hagaajinta waxaa si firfircoon loo samayn karaa si loogu magdhabo nabaad-guurka bartilmaameedka, kala duwanaanshaha wax-soo-saarka buufinta, ama isbeddellada yar yar ee cadaadiska qolka iyo waxa ku jira gaaska haraaga ah, hubinta stoichiometry joogto ah oo ku baahsan substrate-yada waaweyn ama socodka wax-soo-saarka ee la dheereeyey.
Marka la soo koobo, beddelka bartilmaameedka badan leh waa awood aasaasi ah oo lagu xakameynayo halabuurka filimka khafiifka ah ee tiknoolajiyada casriga ah ee dahaarka faakuumka. Iyadoo la siinayo xakameyn firfircoon oo ku saabsan qulqulka walxaha, ilaalinta xaaladaha balaasmaha ee joogtada ah, iyo isku-darka ogaanshaha goobta ee horumarsan, waxay hubineysaa in filimada lakabka badan leh, kuwa la isku daray, ama kuwa la qiimeeyay ay gaaraan sifooyinkooda indhaha, korontada, iyo farsamada ee loogu talagalay. Awooddani waa lama huraan u ah dahaarka saxda ah ee sare ee loo isticmaalo indhaha, fotonikyada, aaladaha tamarta, iyo codsiyada kale ee warshadaha ee horumarsan.
-Maqaalkan waxaa daabacaySoo saaraha qalabka dahaarka faakuumka Faakiyuum Zhenhua
Waqtiga boostada: Maarso-19-2026