Hawsha dahaarka faakuumka, isku-midnimada ayaa had iyo jeer ah caqabad joogto ah oo ay la kulmaan soosaarayaasha qaybaha. Qaybaha qurxinta baabuurta, kala duwanaansho kasta oo ku timaadda dhumucda dahaarka ayaa si toos ah u muujisa leexashada midabka la arki karo ama iftiinka aan iswaafaqsanayn. Qaybaha shaqada ee indhaha sida daboollada iftiinka ee ku wareegsan ama looxyada taabashada, lakabyada aan isku midka ahayn xitaa waxay dhaawici karaan gudbinta iftiinka waxayna hoos u dhigi karaan waayo-aragnimada guud ee muuqaalka.
Dhab ahaantii, muunado isku mid ah ayaa laga yaabaa in lagu gaaro shaybaarka, laakiin inta lagu jiro wax soo saarka ballaaran ee warshadaha, arrimo sida "dhexda-qaloocsan, gees-qaloocsan" ama "kala-duwanaanshaha dufcad-ilaa-dufcad" ayaa inta badan dhaca. Sidaa darteed, isku-midnimadu waxay noqotay dhibaato aan laga fursan karin oo ka jirta warshadaha dahaarka.
I. Maxay Midnimada u Adag tahay in la gaaro?
1. Dahaarka uumiga: Midnimada Gudaha ee Qaybinta Walxaha
Mabda'a dahaarka faakuumka wuxuu ku salaysan yahay hababka jireed ama kiimiko ee uumiga ka dhiga walxaha isha ku jira faakuumka, taasoo u suurtagelinaysa inay si jihaysan ugu wareegto oo ay u ururto filim khafiif ah oo ku yaal dusha sare ee substrate-ka.
Uumi-baxa iska caabbinta waa mid ka mid ah hababka ugu badan ee loo isticmaalo qaybaha qurxinta baabuurta. Farsamadeedu waa mid toos ah: marka isha uumi-baxa (tusaale ahaan, tungsten filament crucible oo ka kooban walxaha dahaadhka) si koronto ah loo kululeeyo, walaxdu si dhakhso ah ayay u uumi baxdaa, iyadoo dibadda ugu faafta si toosan.
Astaamaha tuubkan waa mid cad: aagga substrate-ka ee si toos ah u jeeda isha ayaa hela qulqulka walxaha ugu cufan, taasoo keenta filim qaro weyn iyo heerka kaydinta oo degdeg ah. Taas bedelkeeda, substrate-yada cidhifyada waxaa gaara walxaha ku safraya xaglo qalloocan. Waddada dheer iyo isku dhacyada suurtagalka ah ee derbiyada qolka waxay keenaan luminta walxaha, taasoo yaraynaysa dhigista meelaha cidhifyada. Tani waxay horseeddaa saameynta "dhexda-qalooca, geeska-qalooca" ee la yaqaan - sababta ugu weyn ee dahaarka uumi-baxa ay ula halgamayaan isku-midnimada.
Tusaale ahaan: marka la dahaadho godad dhexe oo 1 mitir ah, gobolka dhexe wuxuu gaari karaa dhumucda 200 nm, halka gobollada geesaha ay gaari karaan oo keliya 130 nm—leexasho ka badan 35%, oo aad uga sarreysa dulqaadka warshadaha ≤5%.
2. Joomatari Adag: Caqabadaha Jireed ee Kala-soocidda Walxaha
Qaybaha qurxinta baabuurta badanaa waa qaybo saddex-geesood ah. Si ka duwan substrate-yada fidsan sida galaaska taleefanka casriga ah ama muraayadaha indhaha, waxay leeyihiin qalooc badan, xaglo, iyo faahfaahin naqshadeed. Kakanaanta joomatariyadani waxay xoojisaa kala duwanaanshaha xagasha dhigista.
Kiis caadi ah waa saamaynta hadhka: sifooyinka qaloocan ee qaybaha qaloocan waxay u dhaqmaan sidii caqabado, iyagoo xannibaya qulqulka walxaha inay gaaraan meelaha godan. Tusaale ahaan, guriga laambadda deegaanka ee qaabka U-qaabaysan, dhinaca qaloocan ee dibadda ayaa si toos ah u hela walxaha dhacaya, iyagoo sameeya dahaadh cufan oo qaro weyn. Taas bedelkeeda, godka gudaha wuxuu ku tiirsan yahay walxaha kala firirsan ama derbiga qolka ka muuqda, kuwaas oo ku yimaada tiro yar iyo tamar yar, taasoo keenta filimaan daloolsan ama khafiif ah.
Xitaa ka sii adag waa faragelinta qaab-dhismeedka yar yar. Qaar ka mid ah guddiyada qurxinta waxay leeyihiin qaabab la cadayday ama la dahaadhay oo leh qoto dheer oo ah 10-20 μm - marka la barbar dhigo dhumucda dahaarka. Inta lagu jiro dhigista, "meelaha ugu sarreeya" waxay ururiyaan lakabyo qaro weyn sababtoo ah ururinta walxaha, halka "dooxaha" ay helaan walxo yar, taasoo keenta dahaadh khafiif ah. Inkasta oo isku-midnimada noocaas ah aysan had iyo jeer indhaha ka muuqan, waxay wiiqaysaa dareenka taabashada (tusaale ahaan, qallafsanaanta deegaanka) iyo cimri dhererka (gobollada khafiifka ah ee u nugul xoqidda iyo diirka).
II. Dahaarka Tallaabooyinka Badan leh: Khatarta Wasakhowga Labaad
Dahaarka qurxinta baabuurta badanaa waxay u baahan yihiin isku-darka lakabka qurxinta + jaakadda ilaalinta. Tusaale ahaan, calaamadaha iftiimaya ayaa marka hore dhigi kara lakab bir ah oo milicsanaya, oo ay ku xigto lakabka ilaalinta SiO₂ si looga hortago xoqidda.
Si kastaba ha ahaatee, dahaarka faakuumka ee caadiga ah ma dhammaystiri karaan labada tallaabo hal wareeg, taasoo u baahan laba qaybood oo kala duwan. Tani waxay keenaysaa wasakhayn labaad. Ka dib dahaarka koowaad, qaybaha waa in laga saaraa oo la gaadhsiiyaa hawada deegaanka ka hor socodka labaad. Inta lagu jiro wareejintan, dusha sare waxay ururin kartaa boodh, qoyaan, ama faraha. Xitaa deegaannada si adag loo xakameeyey, walxaha hawada ku jira ayaa wali degi kara.
Marka lakabka labaad la dhigo, wasakhdaani waxay xannibtaa dhegdheg ama waxay keentaa kala duwanaansho dhumucdeed oo deegaan ah. Tusaale ahaan, boodhka ku yaal lakabka salka birta ah ayaa sababi kara in dahaarka ilaalinta ee xiga uu sameeyo nabarro, taasoo wiiqaysa isku-midnimada iyo yareynta iska caabbinta xirashada.
III. ZHENHUA Vacuum ZCL1417: Xalalka la beegsanayo ee Caqabadaha Midaysan
Si wax looga qabto dhibaatooyinkan aasaasiga ah, Nidaamka Dahaarka Gawaarida ee ZCL1417 ee ka socda ZHENHUA Vacuum wuxuu soo bandhigayaa hal-abuur ku saabsan is-dhexgalka habka, hagaajinta qaab-dhismeedka, iyo naqshadeynta socodka shaqada, waxaana horeyba si weyn u qaatay soosaarayaasha qaybaha baabuurta ee hormuudka ka ah.
1. Is-dhexgalka Hab-raacyo Badan si looga gudbo Xaddidaadaha Uumiga
Nidaamku wuxuu isku daraa DC magnetron sputtering, mid-frequency sputtering (MF), CVD, iyo uumiga iska caabbinta gudaha hal madal. Habkan ilo badan leh wuxuu suurtogal ka dhigayaa qulqulka walxaha ka imanaya xaglo badan, isagoo yareynaya leexashada dhumucda iyo inuu ka sarreeyo heerarka midnimada warshadaha. Macaamiishu waxay si dabacsan u beddeli karaan ama isugu dari karaan hababka si ay u daboolaan baahiyaha joomatari ee adag iyo codsiyada qurxinta ee kala duwan.
2. Qurxinta Hal-wareegga ah + Dahaarka Ilaalinta, Ka saarista Wasakhda Labaad
ZCL1417 wuxuu u oggolaanayaa lakabyada qurxinta iyo ilaalinta in lagu shubo hal wareeg oo faakiyuum ah. Marka qalabka la raro, dahaarka qurxinta birta ah iyo jaakadaha ilaalinta ee xiga ayaa si isdaba joog ah loogu shubaa xaaladaha faakiyuumka, taasoo meesha ka saareysa soo-gaadhista hawada deegaanka iyo ka hortagga wasakheynta boodhka ama qoyaanka.
3. Raad-raac kooban iyo Otomaatig Buuxa
Iyada oo leh raad yar iyo qaab-dhismeed yar, nidaamku wuxuu isku daraa otomaatig caqli badan iyo la socodka habka. Tani waxay yareysaa ku tiirsanaanta shaqada, waxay hubisaa soo noqnoqoshada, waxayna xasilisaa isku dheelitirka dufcad ilaa dufcad.
Baaxadda Codsiga:
Iftiimiyayaasha nalalka madaxa, guryaha nalalka ku wareegsan, calaamadaha iftiimaya iyo kuwa radar-ku-habboon, qaybaha qurxinta gudaha, iyo waxyaabo kaloo badan. Awood u leh inay dhigaan dahaarka birta ah, filimada falcelinta leh, iyo lakabyada nus-daahfuran.
Dhibaatada isku-dhafka dahaarka ee qaybaha qurxinta baabuurta ayaa asal ahaan ka soo baxda saamaynta isku-dhafka ah ee xaddidaadaha habka, faragelinta joomatari, iyo cilladaha socodka shaqada. Nidaamka Dahaarka Gawaarida ee ZHENHUA Vacuum ZCL1417 kaliya ma hagaajiyo hal tallaabo, laakiin wuxuu si nidaamsan u xalliyaa caqabadda - iyada oo loo marayo is-dhexgalka ilo badan, naqshadeynta habka hal-mar ah, iyo xakamaynta habka waqtiga-dhabta ah.
Iyada oo loo beddelayo isku-midnimada barta xanuunka joogtada ah una beddelayso faa'iido wax-soo-saar ballaaran, ZCL1417 waxay bixisaa xal adag oo loogu talagalay wax soo saar deggan oo tayo sare leh oo ah qaybaha qurxinta ee qolka jiifka ee caqliga leh.
—Maqaalkan waxaa daabacay qalabka dahaadhka faakuumka saaraha Zhenhua Vacuum
Waqtiga boostada: Sebtembar-10-2025