ເປັນຫຍັງຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຂອງການເຄືອບໃນຊິ້ນສ່ວນຕົກແຕ່ງລົດຍົນຈຶ່ງເປັນສິ່ງທ້າທາຍຫຼາຍ? ທັດສະນະໃນລະດັບຂະບວນການກ່ຽວກັບອຸປະສັກໃນການຜະລິດ

ໃນຂະບວນການເຄືອບສູນຍາກາດ, ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີແມ່ນສິ່ງທ້າທາຍທີ່ຜູ້ຜະລິດຊິ້ນສ່ວນປະເຊີນຢູ່ສະເໝີ. ສຳລັບຊິ້ນສ່ວນຕົກແຕ່ງລົດຍົນ, ການປ່ຽນແປງຄວາມໜາຂອງເຄືອບໃດໆກໍ່ສະແດງອອກໂດຍກົງວ່າເປັນການບ່ຽງເບນຂອງສີທີ່ເຫັນໄດ້ ຫຼື ຄວາມສະຫວ່າງທີ່ບໍ່ສອດຄ່ອງກັນ. ສຳລັບອົງປະກອບທີ່ເຮັດວຽກທາງດ້ານແສງເຊັ່ນ: ຝາປິດແສງອ້ອມຂ້າງ ຫຼື ແຜງສຳຜັດ, ຊັ້ນທີ່ບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີສາມາດເຮັດໃຫ້ການສົ່ງຜ່ານແສງຫຼຸດລົງ ແລະ ເຮັດໃຫ້ປະສົບການທາງສາຍຕາໂດຍລວມຫຼຸດລົງ.

ໃນຄວາມເປັນຈິງແລ້ວ, ຕົວຢ່າງທີ່ເປັນເອກະພາບອາດຈະສາມາດບັນລຸໄດ້ໃນຫ້ອງທົດລອງ, ແຕ່ໃນລະຫວ່າງການຜະລິດຈຳນວນຫຼາຍໃນໂຮງງານ, ບັນຫາຕ່າງໆເຊັ່ນ "ຄວາມໜາກາງ, ຄວາມບາງຂອບ" ຫຼື "ຄວາມຜິດປົກກະຕິຈາກຊຸດຫາຊຸດ" ມັກເກີດຂຶ້ນເລື້ອຍໆ. ດັ່ງນັ້ນ, ຄວາມສະເໝີພາບຈຶ່ງກາຍເປັນຄວາມຫຍຸ້ງຍາກທີ່ຫຼີກລ່ຽງບໍ່ໄດ້ໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳການເຄືອບ.

I. ເປັນຫຍັງຄວາມເປັນເອກະພາບຈຶ່ງຍາກທີ່ຈະບັນລຸໄດ້?

1. ການເຄືອບລະເຫີຍ: ຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີພາຍໃນຂອງການແຈກຢາຍອະນຸພາກ
ຫຼັກການຂອງການເຄືອບສູນຍາກາດແມ່ນອີງໃສ່ຂະບວນການທາງກາຍະພາບ ຫຼື ເຄມີທີ່ເຮັດໃຫ້ວັດສະດຸຕົ້ນກຳເນີດລະເຫີຍພາຍໃຕ້ສູນຍາກາດ, ເຮັດໃຫ້ມັນສາມາດເຄື່ອນຍ້າຍໄປໃນທິດທາງ ແລະ ກັ່ນຕົວເປັນຟິມບາງໆຢູ່ເທິງໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ.

ການລະເຫີຍແບບຕ້ານທານແມ່ນໜຶ່ງໃນວິທີການທົ່ວໄປທີ່ສຸດທີ່ໃຊ້ສຳລັບຊິ້ນສ່ວນຕົກແຕ່ງລົດຍົນ. ກົນໄກຂອງມັນແມ່ນງ່າຍດາຍ: ເມື່ອແຫຼ່ງລະເຫີຍ (ເຊັ່ນ: ໄສ້ກອງແບບສເຕນສະເຕນທີ່ມີວັດສະດຸເຄືອບ) ຖືກໃຫ້ຄວາມຮ້ອນດ້ວຍໄຟຟ້າ, ວັດສະດຸດັ່ງກ່າວຈະລະເຫີຍຢ່າງໄວວາ, ແຜ່ລາມອອກໄປທາງນອກເປັນຮູບຈວຍ.

ລັກສະນະຂອງພຸມນີ້ແມ່ນຈະແຈ້ງ: ພື້ນທີ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນທີ່ຫັນໜ້າໄປຫາແຫຼ່ງກຳເນີດໂດຍກົງຈະໄດ້ຮັບກະແສອະນຸພາກທີ່ໜາແໜ້ນທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງເຮັດໃຫ້ຟິມໜາຂຶ້ນ ແລະ ອັດຕາການຕົກຕະກອນໄວຂຶ້ນ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຊັ້ນໃຕ້ດິນຢູ່ແຄມແມ່ນສາມາດເຂົ້າເຖິງໄດ້ໂດຍອະນຸພາກທີ່ເດີນທາງໃນມຸມສະຫຼຽງ. ເສັ້ນທາງທີ່ຍາວກວ່າ ແລະ ການປະທະທີ່ອາດເກີດຂຶ້ນກັບຝາຫ້ອງເຮັດໃຫ້ເກີດການສູນເສຍອະນຸພາກ, ຫຼຸດຜ່ອນການຕົກຕະກອນຢູ່ບໍລິເວນຂອບ. ສິ່ງນີ້ນຳໄປສູ່ຜົນກະທົບ "ໜາກາງ, ບາງຂອບ" ທີ່ຮູ້ຈັກກັນດີ - ເຫດຜົນຫຼັກທີ່ເຮັດໃຫ້ຊັ້ນເຄືອບລະເຫີຍມີຄວາມຫຍຸ້ງຍາກໃນຄວາມເປັນເອກະພາບ.

ຕົວຢ່າງ: ເມື່ອເຄືອບຂອບຄອນໂຊນກາງຍາວ 1 ແມັດ, ບໍລິເວນກາງອາດຈະມີຄວາມໜາ 200 nm, ໃນຂະນະທີ່ບໍລິເວນຂອບອາດຈະສູງເຖິງ 130 nm ເທົ່ານັ້ນ—ເຊິ່ງມີຄວາມຜິດປົກກະຕິເກີນ 35%, ເຊິ່ງສູງກວ່າຄວາມທົນທານຂອງອຸດສາຫະກຳ ≤5%.

2. ເລຂາຄະນິດທີ່ສັບສົນ: ອຸປະສັກທາງກາຍະພາບຕໍ່ການຕົກຕະກອນຂອງອະນຸພາກ
ຊິ້ນສ່ວນຕົກແຕ່ງລົດຍົນໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວແມ່ນອົງປະກອບສາມມິຕິ. ບໍ່ເຫມືອນກັບຊັ້ນຮອງພື້ນຮາບພຽງເຊັ່ນ: ແກ້ວໂທລະສັບສະຫຼາດ ຫຼື ເລນ optical, ພວກມັນມີຄວາມໂຄ້ງ, ມຸມ ແລະ ລາຍລະອຽດການອອກແບບຫຼາຍກວ່າ. ຄວາມຊັບຊ້ອນຂອງຮູບຮ່າງເຫຼົ່ານີ້ເຮັດໃຫ້ການປ່ຽນແປງຂອງມຸມການຕົກແຕ່ງເພີ່ມຂຶ້ນ.

ກໍລະນີຄລາສສິກຄືຜົນກະທົບຂອງເງົາ: ລັກສະນະນູນຢູ່ເທິງຊິ້ນສ່ວນໂຄ້ງເຮັດໜ້າທີ່ເປັນສິ່ງກີດຂວາງ, ກີດຂວາງການໄຫຼຂອງອະນຸພາກຈາກການໄປເຖິງພື້ນທີ່ທີ່ຝັງຢູ່. ຕົວຢ່າງ, ໃນໂຄມໄຟຮູບຕົວ U, ດ້ານນອກນູນຈະຮັບອະນຸພາກທີ່ຕົກມາໂດຍກົງ, ປະກອບເປັນຊັ້ນເຄືອບໜາ ແລະ ໜາ. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຮ່ອງພາຍໃນອາໄສອະນຸພາກທີ່ກະແຈກກະຈາຍ ຫຼື ສະທ້ອນຈາກຝາຫ້ອງ, ເຊິ່ງມາຮອດໃນຈຳນວນໜ້ອຍກວ່າ ແລະ ພະລັງງານຕ່ຳກວ່າ, ເຊິ່ງນຳໄປສູ່ຟິມທີ່ມີຮູຂຸມຂົນ ຫຼື ບາງກວ່າ.

ສິ່ງທີ່ທ້າທາຍກວ່ານັ້ນແມ່ນການແຊກແຊງໂຄງສ້າງຈຸນລະພາກ. ແຜງຕົບແຕ່ງບາງອັນມີໂຄງສ້າງທີ່ຖືກແປງ ຫຼື ນູນທີ່ມີຄວາມເລິກ 10–20 μm—ທຽບເທົ່າກັບຄວາມໜາຂອງຊັ້ນເຄືອບ. ໃນລະຫວ່າງການວາງຊັ້ນ, “ຈຸດສູງສຸດ” ຈະສະສົມຊັ້ນທີ່ໜາກວ່າເນື່ອງຈາກການລວບລວມອະນຸພາກ, ໃນຂະນະທີ່ “ຮ່ອມພູ” ໄດ້ຮັບອະນຸພາກໜ້ອຍລົງ, ເຊິ່ງສົ່ງຜົນໃຫ້ຊັ້ນເຄືອບບາງໆ. ເຖິງແມ່ນວ່າຄວາມບໍ່ສະໝໍ່າສະເໝີຂອງຈຸນລະພາກດັ່ງກ່າວບໍ່ສາມາດເບິ່ງເຫັນໄດ້ດ້ວຍຕາສະເໝີໄປ, ແຕ່ມັນສາມາດສົ່ງຜົນກະທົບຕໍ່ຄວາມຮູ້ສຶກສຳຜັດ (ເຊັ່ນ: ຄວາມຫຍາບຄາຍໃນທ້ອງຖິ່ນ) ແລະ ຄວາມທົນທານ (ບໍລິເວນບາງໆທີ່ມີແນວໂນ້ມທີ່ຈະເກີດການຂັດ ແລະ ລອກ).

II. ການເຄືອບຫຼາຍຂັ້ນຕອນ: ຄວາມສ່ຽງຕໍ່ການປົນເປື້ອນຂັ້ນສອງ

ການເຄືອບຕົກແຕ່ງລົດຍົນມັກຈະຕ້ອງການການປະສົມປະສານຂອງຊັ້ນຕົກແຕ່ງ + ຊັ້ນປ້ອງກັນ. ຕົວຢ່າງ, ໂລໂກ້ທີ່ມີໄຟສ່ອງສະຫວ່າງອາດຈະວາງຊັ້ນສະທ້ອນແສງໂລຫະໄວ້ກ່ອນ, ຕາມດ້ວຍຊັ້ນປ້ອງກັນ SiO₂ ເພື່ອຕ້ານການຂັດຖູ.

ເຖິງຢ່າງໃດກໍ່ຕາມ, ເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດແບບທຳມະດາບໍ່ສາມາດເຮັດສຳເລັດທັງສອງຂັ້ນຕອນໃນຮອບວຽນດຽວໄດ້, ເຊິ່ງຈຳເປັນຕ້ອງມີການແລ່ນສອງຫ້ອງແຍກຕ່າງຫາກ. ສິ່ງນີ້ເຮັດໃຫ້ເກີດການປົນເປື້ອນຄັ້ງທີສອງ. ຫຼັງຈາກການເຄືອບຄັ້ງທຳອິດ, ຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆຕ້ອງຖືກຖອດອອກ ແລະ ປ່ອຍໃຫ້ອາກາດອ້ອມຂ້າງກ່ອນການແລ່ນຄັ້ງທີສອງ. ໃນລະຫວ່າງການໂອນຍ້າຍນີ້, ພື້ນຜິວສາມາດສະສົມຝຸ່ນ, ຄວາມຊຸ່ມ, ຫຼື ລາຍນິ້ວມື. ເຖິງແມ່ນວ່າຢູ່ໃນສະພາບແວດລ້ອມທີ່ຄວບຄຸມຢ່າງເຂັ້ມງວດ, ອະນຸພາກທີ່ລອຍຢູ່ໃນອາກາດອາດຈະຍັງຕົກຕະກອນຢູ່.

ເມື່ອຊັ້ນທີສອງຖືກວາງໄວ້, ສິ່ງປົນເປື້ອນເຫຼົ່ານີ້ຈະກີດຂວາງການຍຶດຕິດ ຫຼື ເຮັດໃຫ້ເກີດຄວາມໜາທີ່ຜິດປົກກະຕິ. ຕົວຢ່າງ, ຝຸ່ນເທິງຊັ້ນພື້ນຖານໂລຫະອາດເຮັດໃຫ້ຊັ້ນປ້ອງກັນຕໍ່ມາເກີດເປັນຕຸ່ມນ້ຳ, ເຮັດໃຫ້ຄວາມສະໝໍ່າສະເໝີຫຼຸດລົງ ແລະ ຫຼຸດຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່.

III. ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ ZHENHUA ZCL1417: ວິທີແກ້ໄຂເປົ້າໝາຍສຳລັບສິ່ງທ້າທາຍດ້ານຄວາມເປັນເອກະພາບ

ເພື່ອແກ້ໄຂຈຸດເຈັບປວດພື້ນຖານເຫຼົ່ານີ້, ລະບົບເຄືອບລົດຍົນ ZCL1417 ຈາກສູນຍາກາດ ZHENHUA ໄດ້ນຳສະເໜີນະວັດຕະກໍາໃນການເຊື່ອມໂຍງຂະບວນການ, ການເພີ່ມປະສິດທິພາບໂຄງສ້າງ, ແລະ ການອອກແບບຂະບວນການເຮັດວຽກ, ແລະ ໄດ້ຮັບການຍອມຮັບຢ່າງກວ້າງຂວາງໂດຍຜູ້ຜະລິດຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນຊັ້ນນໍາ.

1. ການເຊື່ອມໂຍງຫຼາຍຂະບວນການເພື່ອເອົາຊະນະຂໍ້ຈຳກັດຂອງການລະເຫີຍ
ລະບົບດັ່ງກ່າວປະສົມປະສານການສີດພົ່ນດ້ວຍໄຟຟ້າ DC magnetron, ການສີດພົ່ນດ້ວຍຄວາມຖີ່ກາງ (MF), CVD, ແລະ ການລະເຫີຍຂອງຄວາມຕ້ານທານພາຍໃນແພລດຟອມດຽວ. ວິທີການຫຼາຍແຫຼ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ສາມາດໄຫຼເຂົ້າຂອງອະນຸພາກຈາກຫຼາຍມຸມ, ຫຼຸດຜ່ອນຄວາມແຕກຕ່າງຂອງຄວາມໜາ ແລະ ເກີນມາດຕະຖານຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງອຸດສາຫະກໍາ. ລູກຄ້າສາມາດປ່ຽນ ຫຼື ລວມຂະບວນການຕ່າງໆໄດ້ຢ່າງຍືດຫຍຸ່ນເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການຂອງຮູບຮ່າງທີ່ສັບສົນ ແລະ ການນຳໃຊ້ການຕົກແຕ່ງທີ່ຫຼາກຫຼາຍ.

2. ການເຄືອບຕົກແຕ່ງຮອບດຽວ + ປ້ອງກັນ, ກຳຈັດສິ່ງປົນເປື້ອນທີ່ສອງ
ZCL1417 ອະນຸຍາດໃຫ້ຊັ້ນຕົກແຕ່ງ ແລະ ຊັ້ນປ້ອງກັນຖືກວາງໄວ້ໃນວົງຈອນສູນຍາກາດດຽວ. ເມື່ອອຸປະກອນຕ່າງໆຖືກໂຫຼດແລ້ວ, ຊັ້ນເຄືອບຕົກແຕ່ງໂລຫະ ແລະ ຊັ້ນປ້ອງກັນຕໍ່ມາຈະຖືກວາງລົງຕາມລຳດັບພາຍໃຕ້ສະພາບສູນຍາກາດ, ເຊິ່ງຊ່ວຍກຳຈັດອາກາດອ້ອມຂ້າງ ແລະ ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນຂອງຝຸ່ນ ຫຼື ຄວາມຊຸ່ມ.

3. ຮອຍຕີນກະທັດຮັດ ແລະ ອັດຕະໂນມັດເຕັມຮູບແບບ
ດ້ວຍພື້ນທີ່ຂະໜາດນ້ອຍ ແລະ ຮູບແບບທີ່ກະທັດຮັດ, ລະບົບດັ່ງກ່າວປະສົມປະສານລະບົບອັດຕະໂນມັດອັດສະລິຍະ ແລະ ການຕິດຕາມກວດກາຂະບວນການ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການເພິ່ງພາອາໄສແຮງງານ, ຮັບປະກັນຄວາມສາມາດໃນການເຮັດຊ້ຳໄດ້, ແລະ ເຮັດໃຫ້ຄວາມສອດຄ່ອງລະຫວ່າງຊຸດການຜະລິດ ແລະ ຊຸດການຜະລິດມີຄວາມໝັ້ນຄົງ.

ຂອບເຂດການນໍາໃຊ້:
ຕົວສະທ້ອນແສງໄຟໜ້າ, ໂຄມໄຟອ້ອມຂ້າງ, ໂລໂກ້ທີ່ມີໄຟສ່ອງສະຫວ່າງ ແລະ ໂລໂກ້ທີ່ເຂົ້າກັນໄດ້ກັບ radar, ຊິ້ນສ່ວນຕົບແຕ່ງພາຍໃນ, ແລະ ອື່ນໆ. ສາມາດເຄືອບໂລຫະ, ຟິມປະຕິກິລິຍາ, ແລະ ຊັ້ນເຄິ່ງໂປ່ງໃສໄດ້.

ບັນຫາຄວາມເປັນເອກະພາບຂອງການເຄືອບໃນຊິ້ນສ່ວນຕົກແຕ່ງລົດຍົນແມ່ນເກີດຂື້ນຈາກຜົນກະທົບລວມຂອງຂໍ້ຈຳກັດຂອງຂະບວນການ, ການແຊກແຊງທາງເລຂາຄະນິດ, ແລະ ຂໍ້ບົກຜ່ອງຂອງຂະບວນການເຮັດວຽກ. ລະບົບການເຄືອບລົດຍົນ ZHENHUA Vacuum ZCL1417 ບໍ່ພຽງແຕ່ເພີ່ມປະສິດທິພາບຂັ້ນຕອນດຽວເທົ່ານັ້ນ, ແຕ່ຍັງແກ້ໄຂບັນຫາທ້າທາຍຢ່າງເປັນລະບົບ - ຜ່ານການເຊື່ອມໂຍງຫຼາຍແຫຼ່ງ, ການອອກແບບຂະບວນການຜ່ານຄັ້ງດຽວ, ແລະ ການຄວບຄຸມຂະບວນການໃນເວລາຈິງ.

ໂດຍການຫັນປ່ຽນຄວາມເປັນເອກະພາບຈາກຈຸດເຈັບປວດທີ່ຍືນຍົງໄປສູ່ຂໍ້ໄດ້ປຽບໃນການຜະລິດເປັນຈຳນວນຫຼວງຫຼາຍ, ZCL1417 ໃຫ້ວິທີແກ້ໄຂທີ່ແຂງແກ່ນສຳລັບການຜະລິດອົງປະກອບຕົກແຕ່ງຫ້ອງນັກບິນທີ່ສະຫຼາດ ແລະ ໝັ້ນຄົງ ແລະ ມີຄຸນນະພາບສູງ.

— ບົດຄວາມນີ້ຖືກເຜີຍແຜ່ໂດຍ ອຸປະກອນເຄືອບສູນຍາກາດ ຜູ້ຜະລິດເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua