Вакуум бүрэх процесст нэгдмэл байдал нь эд анги үйлдвэрлэгчдийн тулгардаг бараг үргэлж байнгын бэрхшээл байдаг. Автомашины гоёл чимэглэлийн эд ангиудын хувьд бүрэх зузааны аливаа өөрчлөлт нь харагдахуйц өнгөний хазайлт эсвэл тогтворгүй гэрэлтэлт хэлбэрээр шууд илэрдэг. Орчны гэрлийн бүрхүүл эсвэл мэдрэгчтэй хавтан зэрэг оптик функциональ эд ангиудын хувьд нэгдмэл бус давхаргууд нь гэрлийн дамжуулалтыг бууруулж, ерөнхий харааны туршлагыг доройтуулж болзошгүй.
Бодит байдал дээр лабораторид жигд дээж авах боломжтой байж болох ч үйлдвэрүүдэд олноор үйлдвэрлэх явцад "төвөөс зузаан, ирмэгээс нимгэн" эсвэл "багцаас багц руу хазайх" зэрэг асуудлууд байнга гардаг. Тиймээс жигд байдал нь бүрэх үйлдвэрлэлийн салбарт зайлшгүй бэрхшээл болж байна.
I. Яагаад нэгдмэл байдлыг хангахад ийм хэцүү байдаг вэ?
1. Ууршилтын бүрхүүл: Бөөмийн тархалтын дотоод жигд бус байдал
Вакуум бүрхүүлийн зарчим нь вакуум дор эх материалыг ууршуулдаг физик эсвэл химийн процесст суурилдаг бөгөөд энэ нь чиглэлд шилжиж, субстратын гадаргуу дээр нимгэн хальс болж конденсацлах боломжийг олгодог.
Эсэргүүцлийн ууршилт нь автомашины гоёл чимэглэлийн эд ангиудад хэрэглэгддэг хамгийн түгээмэл аргуудын нэг юм. Үүний механизм нь энгийн: ууршилтын эх үүсвэр (жишээлбэл, бүрэх материалыг агуулсан вольфрамын судалтай тигель)-ийг цахилгаанаар халаасны дараа материал хурдан ууршиж, конус хэлбэрийн утаагаар гадагш тархдаг.
Энэ гуурсны онцлог нь тодорхой: эх үүсвэртэй шууд харсан субстратын хэсэг нь хамгийн нягт бөөмсийн урсгалыг хүлээн авдаг бөгөөд энэ нь илүү зузаан хальс, хурдан тунадасжилт үүсгэдэг. Үүний эсрэгээр, ирмэг дээрх субстратууд нь ташуу өнцгөөр хөдөлдөг бөөмсөөр хүрдэг. Урт зам болон камерын ханатай мөргөлдөх магадлал нь бөөмсийн алдагдалд хүргэж, ирмэгийн хэсгүүдийн тунадасыг бууруулдаг. Энэ нь сайн мэддэг "төвөөс зузаан, ирмэгээс нимгэн" эффектэд хүргэдэг бөгөөд энэ нь ууршилтын бүрхүүл жигд байдалд бэрхшээлтэй байдаг гол шалтгаан юм.
Жишээлбэл: 1 метр урттай төв консолын обудтай бүрэх үед төвийн хэсэг нь 200 нм зузаантай байж болох бол захын хэсэг нь ердөө 130 нм хүрч болох бөгөөд энэ нь 35%-иас хэтэрсэн хазайлт нь салбарын хүлцэх хэмжээнээс ≤5%-иас хамаагүй өндөр байна.
2. Цогц геометр: Бөөмийн хуримтлалд учрах физик саад тотгорууд
Автомашины гоёл чимэглэлийн эд ангиуд нь ерөнхийдөө гурван хэмжээст эд ангиуд байдаг. Ухаалаг гар утасны шил эсвэл оптик линз зэрэг хавтгай суурь материалаас ялгаатай нь тэдгээр нь илүү муруйлт, өнцөг, дизайны нарийн ширийн зүйлстэй байдаг. Эдгээр геометрийн нарийн төвөгтэй байдал нь хуримтлалын өнцгийн хэлбэлзлийг нэмэгдүүлдэг.
Сонгодог тохиолдол бол сүүдэрлэх нөлөө юм: муруй хэсгүүд дээрх гүдгэр хэлбэрүүд нь саад тотгор болж, бөөмсийн урсгалыг хонхорхой хэсгүүдэд хүрэхээс сэргийлдэг. Жишээлбэл, U хэлбэрийн орчны чийдэнгийн гэрт гадна талын гүдгэр тал нь туссан бөөмсийг шууд хүлээн авч, нягт, зузаан бүрхүүл үүсгэдэг. Үүний эсрэгээр, дотор талын хонхорхой нь тархай бутархай эсвэл камерын хананд туссан бөөмсөөс хамаардаг бөгөөд эдгээр нь бага тоогоор, бага энергиэр ирдэг бөгөөд энэ нь сүвэрхэг эсвэл нимгэн хальс үүсгэдэг.
Бүр илүү хэцүү зүйл бол бичил бүтэцтэй интерференц юм. Зарим өнгөлгөөний хавтангууд нь бүрээсний зузаантай харьцуулахад 10-20 мкм гүнтэй сойз эсвэл товойлгон бүтэцтэй байдаг. Тунадасны үед "оргилууд" нь бөөмс хуримтлагдсанаас болж илүү зузаан давхарга хуримтлагддаг бол "хөндий" нь цөөн бөөмс хүлээн авч, нимгэн бүрхүүл үүсгэдэг. Ийм бичил жигд бус байдал нь нүдэнд үргэлж харагдахгүй ч хүрэлцэх мэдрэмж (жишээлбэл, орон нутгийн барзгар байдал) болон бат бөх чанар (үрэлт, хальслах хандлагатай нимгэн хэсгүүд)-д сөргөөр нөлөөлдөг.
II. Олон шатлалт бүрхүүл: Хоёрдогч бохирдлын эрсдэл
Автомашины гоёл чимэглэлийн бүрхүүл нь ихэвчлэн гоёл чимэглэлийн давхарга + хамгаалалтын бүрхүүлийн хослолыг шаарддаг. Жишээлбэл, гэрэлтүүлсэн лого нь эхлээд металл тусгал давхарга, дараа нь үрэлтэд тэсвэртэй SiO₂ хамгаалалтын давхарга үүсгэж болно.
Гэсэн хэдий ч уламжлалт вакуум бүрэгч нь хоёр үе шатыг нэг мөчлөгт гүйцэтгэж чадахгүй тул хоёр тусдаа камер ажиллуулах шаардлагатай болдог. Энэ нь хоёрдогч бохирдлыг бий болгодог. Эхний бүрээсний дараа эд ангиудыг салгаж, хоёр дахь удаагаа ажиллуулахаас өмнө орчны агаарт гаргах ёстой. Энэхүү дамжуулалтын явцад гадаргуу дээр тоос шороо, чийг эсвэл хурууны хээ хуримтлагдаж болно. Хатуу хяналттай орчинд ч гэсэн агаарт байгаа тоосонцор тунаж үлдэж болно.
Хоёр дахь давхаргыг түрхэхэд эдгээр бохирдуулагч нь наалдацыг хааж эсвэл зузааны орон нутгийн хазайлтыг үүсгэдэг. Жишээлбэл, металл суурь давхарга дээрх тоос нь дараагийн хамгаалалтын бүрхүүлд цэврүү үүсгэж, жигд байдлыг алдагдуулж, элэгдэлд тэсвэртэй байдлыг бууруулдаг.
III. ZHENHUA вакуум ZCL1417: Нэгдмэл байдлын сорилтуудад чиглэсэн шийдлүүд
Эдгээр үндсэн асуудлуудыг шийдвэрлэхийн тулд ZHENHUA Vacuum компанийн ZCL1417 автомашины бүрхүүлийн систем нь процессын интеграци, бүтцийн оновчлол, ажлын урсгалын дизайнд шинэлэг зүйлийг нэвтрүүлж байгаа бөгөөд тэргүүлэгч автомашины эд анги үйлдвэрлэгчид аль хэдийн өргөнөөр нэвтрүүлсэн.
1. Ууршилтын хязгаарлалтыг даван туулах олон процессын интеграци
Энэхүү систем нь нэг платформ дотор тогтмол гүйдлийн соронзон цацалт, дунд давтамжийн (MF) цацалт, CVD болон эсэргүүцлийн ууршилтыг нэгтгэдэг. Энэхүү олон эх үүсвэрийн арга нь бөөмийн урсгалыг олон өнцгөөс гаргах боломжийг олгож, зузааны хазайлтыг багасгаж, салбарын жигд байдлын стандартыг давж гардаг. Үйлчлүүлэгчид нарийн төвөгтэй геометр болон олон төрлийн гоёл чимэглэлийн хэрэглээний шаардлагыг хангахын тулд үйл явцыг уян хатан байдлаар сольж эсвэл нэгтгэж болно.
2. Хоёрдогч бохирдлыг арилгах нэг мөчлөгт гоёл чимэглэлийн + хамгаалалтын бүрхүүл
ZCL1417 нь гоёл чимэглэлийн болон хамгаалалтын давхаргыг нэг вакуум циклээр түрхэх боломжийг олгодог. Бэхэлгээг ачаалсны дараа металл гоёл чимэглэлийн бүрхүүл болон дараагийн хамгаалалтын бүрхүүлийг вакуум нөхцөлд дараалан түрхэж, орчны агаарт өртөхөөс сэргийлж, тоос шороо, чийгийн бохирдлоос сэргийлдэг.
3. Авсаархан ул мөр ба бүрэн автоматжуулалт
Бага талбай, авсаархан зохион байгуулалттай тул систем нь ухаалаг автоматжуулалт болон процессын хяналтыг нэгтгэсэн. Энэ нь хөдөлмөрийн хамаарлыг бууруулж, давтагдах чадварыг хангаж, багц хоорондын тогтвортой байдлыг тогтворжуулдаг.
Хэрэглээний хүрээ:
Гэрлийн тусгал, орчны гэрлийн бүрхүүл, гэрэлтүүлэгтэй болон радартай нийцтэй лого, дотор засал чимэглэлийн эд ангиуд болон бусад. Металл бүрхүүл, урвалд ордог хальс, хагас тунгалаг давхаргыг наах чадвартай.
Автомашины гоёл чимэглэлийн эд ангиудын бүрээсийн жигд байдлын асуудал нь үндсэндээ процессын хязгаарлалт, геометрийн хөндлөнгийн оролцоо, ажлын урсгалын согогийн хосолсон нөлөөллөөс үүдэлтэй. ZHENHUA вакуум ZCL1417 автомашины бүрээсийн систем нь зөвхөн нэг алхамыг оновчтой болгохоос гадна олон эх үүсвэртэй интеграци, нэг дамжуулалтын процессын дизайн, бодит цагийн процессын хяналтаар дамжуулан уг асуудлыг системтэйгээр шийдвэрлэдэг.
ZCL1417 нь байнгын өвдөлтийн цэгээс жигд байдлыг олноор үйлдвэрлэх давуу тал болгон хувиргаснаар ухаалаг бүхээгийн гоёл чимэглэлийн эд ангиудыг тогтвортой, өндөр чанартай үйлдвэрлэх бат бөх шийдлийг бий болгодог.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Zhenhua тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 9-р сарын 10