A. Heerka candhuufta sare. Tusaale ahaan, marka la dhufto SiO2, heerka dhigista wuxuu noqon karaa ilaa 200nm/min, badiyaa ilaa 10 ~ 100nm/daqiiqo. Iyo heerka samaynta filimku wuxuu si toos ah u dhigmaa awoodda soo noqnoqda ee sarreeya. B. Isku-xidhka u dhexeeya filimka iyo substrate-ka ayaa ka weyn vacuum vap-ka
Mashiinka dahaarka Vacuum ee nidaamka bamgareynta ayaa leh shuruudaha aasaasiga ah ee soo socda: (1) Nidaamka faakuumka dahaarka waa inuu lahaadaa heer bamgareyn ku filan oo weyn, kaas oo aan kaliya si degdeg ah u soo saarin gaasaska laga sii daayo substrate-ka iyo walxaha la uumimay iyo qaybaha ku jira vacuum ch ...
Mid ka mid ah faa'iidooyinka ugu muhiimsan ee mashiinnada daahan vacuum PVD yar dabacsan waa kala duwanaanshahooda. Mashiinadan waxaa loogu talagalay in lagu daboolo cabbirro iyo qaabab kala duwan oo substrate ah, taas oo ka dhigaysa mid ku habboon hababka wax soo saarka ee cabbirka yar ama caadiga ah. Intaa waxaa dheer, cabbirkeeda is haysta iyo confi dabacsan
Warshadaha wax soo saarka ee soo koraya, qalabka goynta ayaa door muhiim ah ka ciyaara qaabeynta alaabada aan isticmaalno maalin kasta. Laga soo bilaabo goynta saxda ah ee warshadaha hawada hawada ilaa naqshadaha adag ee goobta caafimaadka, baahida loo qabo qalab goynta tayada sare leh ayaa sii socota. Si loo daboolo baahidan, anaga...
Marka ay bilaabato dhigista atamka xuubabka, ion bombardment waxay leedahay saamaynta soo socota ee xuubka / substrate interface. (1) Isku dhafka jirka. Sababtoo ah duritaan tamar sare leh, atamyada kaydsan iyo duritaanka soo noqnoqda ee atamka dusha sare iyo ifafaalaha shilalka cascade, iyo...
Tuurtu waa dhacdo ay qaybaha tamarta (sida caadiga ah ions of gases) ku dhuftaan dusha adag (hoos loo yaqaan walxaha la beegsanayo), taasoo keenaysa atamka (ama molecules) oogada walaxda la beegsanayo inay ka baxsadaan. Dhacdadan waxa daaha ka qaaday Grove 1842 markaas oo...
Astaamaha dahaarka xajinta magnetron (3) tamar hoose Sababtoo ah korantada cathode-ka hooseeya ee lagu dabaqo bartilmaameedka, balaasmadu waxay ku xiran tahay goobta magnetic ee booska u dhow cathode, sidaas darteed waxay joojinaysaa qaybaha tamarta sare ee dhinaca dhinaca substrate-ka ee dadku toogtay. The...
Marka la barbar dhigo tikniyoolajiyadda dahaarka kale, daahan magnetron sputtering waxaa lagu gartaa sifooyinka soo socda: xuduudaha shaqada leeyihiin kala duwanaansho firfircoon oo kala duwan ee xawaaraha dhigaalka daahan iyo dhumucdiisuna waxay noqon kartaa si fudud loo xakameeyo, oo ma jiro design ...
Tignoolajiyada meel dhigista ee la kaalmaynayey ion beam waa duritaanka ion beam iyo tignoolajiyada daahan uumiga dhigaalka oo ay weheliso tignoolajiyada farsamaynta ee dusha sare ee ion. Inta lagu jiro habka wax ka beddelka dusha sare ee alaabta ion ee la isku duray, ha ahaato agabka semiconductor ama agabka injineernimada, waa...