In matekinoroji ekuisa vacuum zvakaita sePhysical Vapor Deposition (PVD) uye Chemical Vapor Deposition (CVD), imba yekuputira vacuum inopfuura kungovharwa nekanika - dhizaini yayo inokanganisa zvakananga hunhu hwakakosha hwefirimu, kusanganisira kufanana kweukobvu, simba rekunamatira, kudzora kusvibiswa kwezvikamu, uye mwero wekuisa. Kunzwisisika kwekugadzirwa kweimba ndeimwe yezvinhu zvinonyanya kukosha pakushanda kwemidziyo uye kugona kwayo kuputira.
Nhamba 1. Chamber Geometry Inorayira Kuyerera kweGasi uye Kupararira kwePlasma
Mumaitiro akaita seMagnetron Sputtering neElectron Beam Evaporation, nzvimbo yekuyerera kwegasi remukati uye kugoverwa kweplasma mukati mekamuri zvine chekuita zvakananga nemafambiro uye mamiriro esimba emhando dzezvinhu zviri kuisirwa. Kamuri yakagadziriswa inofanira kugonesa kupinda kwegasi rakaenzana uye kuburitsa mweya zvinobudirira, zvichibvisa nzvimbo dzakafa dzinogona kutungamira kunzvimbo dzine kumanikidzwa kwakanyanya kana kumira kwegasi - zvese izvi zvinokanganisa kufanana kwependi.
Uyezve, chimiro chemukamuri (semuenzaniso, cylindrical kana rectangular) uye hukama hwenzvimbo pakati pechinangwa nesubstrates zvinokanganisa kupararira kweplasma density, nokudaro zvichikanganisa density yefirimu uye simba rekunamatira. Kune masisitimu akagadzirirwa batch coating yesubstrates dzakawanda, kamuri ine radially symmetric pamwe chete neplanetary rotation inoshanda zvikuru mukuwedzera kufanana kwedeposition.
Nhamba 2 Kutarisirwa kweThermal Kunokanganisa Kugadzikana kweFirimu
Kuputika kwezvimedu zvine simba guru, kubudiswa kweplasma, uye kupisa kwakanangana nechinhu chimwe chete chinhu chakakosha mumaitiro ekubvisa vacuum. Pasina kudzora kupisa kwakanaka, zvinhu izvi zvinopisa zvinogona kukonzera kushushikana kusingawanzoitiki mukati mechimiro chefirimu kana kukonzera kupisa kwakanyanya kwepasi, zvichizopedzisira zvaderedza mashandiro efirimu nekunamatira kwayo.
Makamuri emazuva ano evacuum anowanzo shongedzwa nemadziro anotonhodzwa nemvura, kudzivirirwa kwekupisa, kana kuti machira ekudzivirira kupisa kuti arambe akagadzikana uye mamiriro ekushanda akarongeka. Kune zvinhu zvinonzwa kupisa — zvakaita sepurasitiki, PC, kana PET — dhizaini yekamuri inofanirawo kuderedza nzira dzekupisa dzinoshandiswa nemwaranzi kudzivirira kushanduka kana kutadza kupfeka nekuda kwenzvimbo dzinopisa dzekupisa dziri munzvimbo iyoyo.
Nhamba 3 Kuchena Kwemakamuri Kunokanganisa Zvakanangana Nehunhu Hwekuputira
Kudzora kusvibiswa kwezvikamu chinhu chakakosha pakugadzirwa kwemidziyo yepamusoro-soro ye vacuum coating. Nzvimbo dzemukati dzemakamuri dzine makona asina kusimba, kupwanya kwe welding, kana kuperera kusina kunaka kwenzvimbo dzinowanzo unganidza zvinhu zvinosvibisa, zvichiita kuti pave nezvikanganiso zvakaita sema pinholes, particle inclusions, kana delamination.
Kuti izvi zviitike, makamuri emazuva ano evacuum anowanzo gadzirwa nepamusoro-soro kana kuti pakagadzirwa nemagetsi, makona akatenderera, uye maburi akatetepa eweld. Masisitimu emhando yepamusoro anogonawo kubatanidza masisitimu ekuchenesa plasma aripo kana ekubikisa kuti akwanise kukurumidza kugadzirisa makamuri pakati pemabheti.
Nhamba 4 Zviyero zveChamber zvakabatana neKubudirira uye Kubudirira
Nekuwedzera kwekudiwa kwezvishandiso zvepasi pevhu zvakakura — zvakaita seHUD displays kana CMS mirror components — uye masisitimu emukati memakamuri akawanda, dhizaini yekamuri re vacuum iri kushanduka ichienda kuhukuru hwakakura, kugadzikana kwakanyanya kwevacuum, uye kurongeka kwenzvimbo dzakawanda. Vhoriyamu yekamuri yakaringana zvakanaka uye dhizaini yepombi yakagadziriswa zvinogona kuvandudza zvakanyanya kumhanya kwekupomba kwevacuum uye kugadzikana, nokudaro zvichiwedzera kugona kwebhachi uye kufanana kwefirimu.
Kamuri rekushandisa vacuum harisi kungova "mudziyo" chete - rinoita basa guru mukuchengetedza vacuum, mafambiro ekuisa zvinhu, kutonga kupisa, kudzora kuchena, uye kugadzirwa kwemidziyo. Magadzirirwo emakamuri akagadzirwa anofanirwa kugadzirwa nemazvo uye kusimbiswa mumatanho akasiyana-siyana kuti asangane nezvinodiwa zvemaitiro akasiyana ekuputira uye mashandisirwo ezvigadzirwa.
Kune vagadziri vemidziyo yekuputira vacuum, hunyanzvi hwavo mukugadzira makamuri hunoratidza zvakananga kugona kwavo kuita zvinhu uye hunhu hwemidziyo.
Nguva yekutumira: Chikunguru-16-2025