ويڪيوم چيمبر ڊيزائن ڪوٽنگ جي ڪارڪردگي کي ڪيئن متاثر ڪري ٿو

In ويڪيوم جمع ڪرڻ جون ٽيڪنالاجيون جيئن ته جسماني وانپ جمع (PVD) ۽ ڪيميائي وانپ جمع (CVD)، ويڪيوم چيمبر هڪ ميڪيڪل انڪلوزر کان گهڻو وڌيڪ آهي - ان جي ساخت جي ڊيزائن سڌو سنئون نازڪ فلم جي خاصيتن کي متاثر ڪري ٿي، جنهن ۾ ٿلهي جي هڪجهڙائي، چپکڻ جي طاقت، ذرات جي آلودگي ڪنٽرول، ۽ جمع ڪرڻ جي شرح شامل آهن. چيمبر ڊيزائن جي عقليت سامان جي ڪارڪردگي ۽ ڪوٽنگ جي پيداوار جي بنيادي تعين ڪندڙن مان هڪ آهي.

نمبر 1. چيمبر جي جاميٽري گئس جي وهڪري ۽ پلازما جي ورڇ کي ترتيب ڏئي ٿي

ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۽ اليڪٽران بيم ايواپوريشن جهڙن عملن ۾، اندروني گئس جي وهڪري جي ميدان ۽ چيمبر اندر پلازما جي ورڇ جو سڌو سنئون اثر جمع ٿيندڙ نسلن جي رفتار ۽ توانائي جي حالت تي پوندو آهي. هڪ بهتر ڪيل چيمبر کي يونيفارم گيس انليٽ ۽ ڪارآمد ايگزاسٽ کي فعال ڪرڻ گهرجي، ڊيڊ زونز کي ختم ڪرڻ گهرجي جيڪي مقامي هاءِ پريشر علائقن يا گئس جي جمود جو سبب بڻجي سگهن ٿا - اهي ٻئي ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي کي متاثر ڪن ٿا.

وڌيڪ، چيمبر جي جاميٽري ترتيب (مثال طور، سلنڈر يا مستطيل) ۽ ٽارگيٽ ۽ سبسٽريٽس جي وچ ۾ مقامي تعلق پلازما کثافت جي ورڇ کي متاثر ڪري ٿو، ان ڪري فلم جي کثافت ۽ چپکڻ جي طاقت کي متاثر ڪري ٿو. گھڻن سبسٽريٽس جي بيچ ڪوٽنگ لاءِ ٺهيل سسٽم لاءِ، هڪ ريڊيلي سميٽرڪ چيمبر گرينٽري گردش سان گڏ جمع یکسانيت کي وڌائڻ ۾ تمام گهڻو اثرائتو آهي.

نمبر 2 حرارتي انتظام فلم جي استحڪام کي متاثر ڪري ٿو

تيز توانائي واري ذرڙي جي بمباري، پلازما خارج ٿيڻ، ۽ ٽارگيٽ هيٽنگ ويڪيوم جمع ڪرڻ جي عملن لاءِ اندروني آهن. اثرائتي حرارتي ڪنٽرول کان سواءِ، اهي گرمي جا ذريعا فلم جي جوڙجڪ اندر غير معمولي دٻاءُ جو سبب بڻجي سگهن ٿا يا سبسٽريٽ جي وڌيڪ گرم ٿيڻ جو سبب بڻجي سگهن ٿا، آخرڪار فلم جي ڪارڪردگي ۽ چپکڻ کي خراب ڪن ٿا.

جديد ويڪيوم چيمبر عام طور تي پاڻي سان ٿڌي ڀتين، حرارتي شيلڊنگ، يا موصليت جي تہن سان ليس هوندا آهن ته جيئن حرارتي استحڪام ۽ مسلسل عمل جي حالتن کي برقرار رکيو وڃي. حرارتي طور تي حساس ذيلي ذخيرن لاءِ - جهڙوڪ پلاسٽڪ، پي سي، يا پي اي ٽي - چيمبر ڊيزائن کي مقامي حرارتي هٽ اسپاٽ جي ڪري خرابي يا ڪوٽنگ جي ناڪامي کي روڪڻ لاءِ تابڪاري گرمي جي رستن کي پڻ گھٽ ڪرڻ گهرجي.

نمبر 3 چيمبر جي صفائي سڌي طرح ڪوٽنگ جي معيار کي متاثر ڪري ٿي.

ذرڙن جي آلودگي جو ڪنٽرول اعليٰ درجي جي ويڪيوم ڪوٽنگ سامان جي ڊيزائن جو هڪ اهم پهلو آهي. اندروني چيمبر جون مٿاڇريون جن ۾ مئل ڪنڊون، ويلڊنگ اسپيٽر، يا خراب مٿاڇري ختم ٿئي ٿي، اهي آلودگي کي گڏ ڪرڻ جو رجحان رکن ٿيون، جيڪي پن هولز، ذرڙن جي شموليت، يا ڊيليمينيشن جهڙن خرابين جا ذريعا بڻجي وڃن ٿيون.

ان کي حل ڪرڻ لاءِ، جديد ويڪيوم چيمبر عام طور تي اليڪٽروپولش ٿيل يا ميڪانياتي طور تي پالش ٿيل مٿاڇري، گول ڪنڊن، ۽ گھٽ ۾ گھٽ ويلڊ پروٽرشن سان ٺاهيا ويندا آهن. هاءِ اسپيڪ سسٽم شايد بيچ جي وچ ۾ تيز چيمبر ڪنڊيشننگ کي فعال ڪرڻ لاءِ ان-سيٽو پلازما صفائي يا ٿرمل بيڪنگ سسٽم کي پڻ ضم ڪري سگھن ٿا.

نمبر 4 چيمبر جا طول و عرض ٿرو پُٽ ۽ پيداوار سان ڳنڍيل آهن.

وڏي ايراضي واري ذيلي ذخيري جي وڌندڙ گهرج سان - جهڙوڪ HUD ڊسپلي يا CMS آئيني جا حصا - ۽ ملٽي چيمبر ان لائن سسٽم، ويڪيوم چيمبر ڊيزائن وڏين طول و عرض، اعليٰ ويڪيوم استحڪام، ۽ ملٽي اسٽيشن ترتيب جي طرف ترقي ڪري رهيو آهي. هڪ چڱي طرح متوازن چيمبر حجم ۽ بهتر پمپ پورٽ لي آئوٽ ويڪيوم پمپنگ جي رفتار ۽ استحڪام کي خاص طور تي بهتر بڻائي سگهي ٿو، انهي ڪري بيچ ٿرو پُٽ ۽ فلم جي یکسانيت کي وڌائي ٿو.

هڪ ويڪيوم چيمبر صرف هڪ "ڪنٽينر" کان گهڻو وڌيڪ آهي - اهو ويڪيوم سالميت، جمع ڪرڻ جي حرڪت، حرارتي ضابطي، صفائي جي ڪنٽرول، ۽ سامان جي پيداوار ۾ اهم ڪردار ادا ڪري ٿو. مختلف ڪوٽنگ عملن ۽ پراڊڪٽ ايپليڪيشنن جي مخصوص گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ ٺهيل چيمبر ڊيزائن کي ڪيترن ئي ورهاڱي ۾ صحيح طور تي انجنيئر ۽ تصديق ٿيل هجڻ گهرجي.

ويڪيوم ڪوٽنگ سامان ٺاهيندڙن لاءِ، چيمبر ڊيزائن ۾ مهارت جي سطح انهن جي عمل جي صلاحيت ۽ سامان جي معيار جو سڌو سنئون عڪس آهي.