In teknolojiyên danîna valahiyê wek Depozîsyona Buxara Fizîkî (PVD) û Depozîsyona Buxara Kîmyayî (CVD), odeya valahiyê ji dorpêçek mekanîkî pir wêdetir e - sêwirana wê ya avahîsaziyê rasterast bandorê li taybetmendiyên krîtîk ên fîlmê dike, di nav de yekrengiya qalindahiyê, hêza zeliqandinê, kontrola qirêjbûna perçeyan û rêjeya depozîsyonê. Rasyonelîteya sêwirana odeyê yek ji diyarkerên bingehîn ên performansa alavan û hilberîna pêçanê ye.
Jimare 1. Geometrîya Odeya Herikîna Gazê û Belavkirina Plazmayê Diyar Dike
Di pêvajoyên wekî Sputterkirina Magnetronê û Buharkirina Tîrêjên Elektronê de, qada herikîna gazê ya navxweyî û belavbûna plazmayê di hundurê odeyê de bandorek rasterast li ser rê û rewşa enerjiyê ya cureyên rijandinê dikin. Odeyeke çêtirînkirî divê têketina gazê ya yekreng û derxistina gazê ya bi bandor gengaz bike, deverên mirî yên ku dikarin bibin sedema herêmên zexta bilind ên herêmî an jî sekinandina gazê ji holê rake - ku her du jî bandorek neyînî li ser yekrengiya pêçanê dikin.
Herwiha, şêweya geometrîk a odeyê (mînak, silindirî an çargoşeyî) û têkiliya fezayî ya di navbera hedef û substratan de bandorê li ser belavkirina dendika plazmayê dike, bi vî awayî bandorê li dendika fîlmê û hêza pêvekirinê dike. Ji bo pergalên ku ji bo pêçandina komî ya gelek substratan hatine çêkirin, odeyek radyal-sîmetrîk a ku bi zivirîna gerstêrkî re tê hevgirtin di zêdekirina yekrengiya danînê de pir bi bandor e.
Jimare 2 Rêveberiya Germahî Bandorê li ser Aramiya Fîlmê Dike
Bombebarankirina perçeyên bi enerjiya bilind, dakêşanên plazmayê, û germkirina hedefê di pêvajoyên danîna valahiyê de xwerû ne. Bêyî kontrola germî ya bi bandor, ev çavkaniyên germê dikarin di nav avahiya fîlmê de bibin sedema streseke neasayî an jî bibin sedema germbûna zêde ya substratê, ku di dawiyê de performansa fîlmê û girêdana wê xirab dike.
Odeyên vakûmê yên nûjen bi gelemperî bi dîwarên bi avê sarkirî, parastina germî, an tebeqeyên îzolekirinê ve têne sazkirin da ku aramiya germî û şert û mercên pêvajoyê yên domdar biparêzin. Ji bo substratên hesas ên germî - wekî plastîk, PC, an PET - sêwirana odeyê divê rêyên germê yên tîrêjê jî kêm bike da ku pêşî li deformasyon an têkçûna pêçanê ji ber germên germî yên herêmî bigire.
Paqijiya Jûreya No.3 Rasterast Bandorê li ser Kalîteya Rûpûşkirinê Dike
Kontrolkirina qirêjbûna perçeyan aliyek girîng ê sêwirana alavên boyaxkirina valahiya asta bilind e. Rûyên odeyên hundurîn ên bi goşeyên mirî, rijandina weldingê, an qedandina rûyê nebaş meyla komkirina gemaran dikin, û dibin çavkaniyên kêmasiyên wekî qulên piçûk, têkelbûna perçeyan, an jî veqetandina parçeyan.
Ji bo çareserkirina vê yekê, odeyên vakûmê yên nûjen bi gelemperî bi rûberên elektropolîşkirî an jî mekanîkî polîşkirî, quncikên giroverkirî û derketinên kêmkirî yên qalibkirî têne çêkirin. Sîstemên bi taybetmendiyên bilind dikarin paqijkirina plazmayê ya di cîh de an jî pergalên pijandina germî jî entegre bikin da ku şertkirina bilez a odeyê di navbera koman de gengaz bikin.
Pîvanên Odeya Jimare 4 bi Derfet û Berhemdariyê ve girêdayî ne
Bi zêdebûna daxwaza ji bo substratên rûbera mezin - wekî dîmenderên HUD an pêkhateyên neynika CMS - û pergalên rêza pir-odeyî, sêwirana odeya vakûmê ber bi pîvanên mezintir, aramiya valahiya bilind, û veavakirina pir-stasyonî ve diçe. Qebareya odeya baş-hevseng û sêwirana porta pompê ya çêtirkirî dikare leza û aramiya pompkirina valahiya bi girîngî baştir bike, bi vî rengî rêjeya komê û yekrengiya fîlmê zêde bike.
Odeya valahiyê ji "konteynirekê" pir wêdetir e - ew di yekparçeyiya valahiyê, dînamîkên danînê, rêkxistina germî, kontrola paqijiyê û hilberîna alavan de roleke girîng dilîze. Sêwiranên odeyên taybet divê bi awayekî rast werin endezyarîkirin û li ser gelek dubarekirinan werin pejirandin da ku hewcedariyên taybetî yên pêvajoyên cûda yên pêçandinê û serîlêdanên hilberê bicîh bînin.
Ji bo hilberînerên alavên boyaxkirina valahiyê, asta pisporiyê di sêwirana odeyê de rasterast nîşan dide kapasîteya pêvajoyê û kalîteya alavan.
Dema şandinê: 16ê Tîrmehê-2025