V vakuumskem stanju se obdelovanec postavi na katodo nizkotlačnega sijajnega praznjenja in vanj vbrizga ustrezen plin. Pri določeni temperaturi se na površini obdelovanca s postopkom ionizacijske polimerizacije, ki združuje kemijsko reakcijo in plazmo, nanese prevleka, pri čemer se plinaste snovi absorbirajo na površini obdelovanca in reagirajo med seboj, na koncu pa se na površini obdelovanca tvori trdna plast.
Značilnost:
1. Nizkotemperaturno oblikovanje filma, temperatura ima majhen vpliv na obdelovanec, s čimer se izognemo grobemu zrnu pri visokotemperaturnem oblikovanju filma, plast filma pa se ne odlepi zlahka.
2. Lahko se prevleče z debelo plastjo, ki ima enakomerno sestavo, dober zaščitni učinek, kompaktnost, majhne notranje napetosti in ni enostaven za nastanek mikrorazpok.
3. Plazemsko delo ima čistilni učinek, ki poveča oprijem filma.
Oprema se uporablja predvsem za nanašanje visoko odporne SiOx pregrade na PET, PA, PP in druge folijske materiale. Široko se uporablja v embalaži za medicinske/farmacevtske izdelke, elektronske komponente in živila, pa tudi v embalaži za pijače, mastna živila in užitna olja. Folija ima odlične pregradne lastnosti, prilagodljivost okolju, visoko prepustnost za mikrovalovne pečice in prosojnost ter je skoraj ne vpliva na vlažnost in temperaturne spremembe okolja. Rešuje problem, da lahko tradicionalni embalažni materiali vplivajo na zdravje.
| Dodatni modeli | Velikost opreme (širina) |
| RBW1250 | 1250 (mm) |