Dengan kemajuan berterusan matlamat "karbon berganda" China, industri fotovoltaik (PV) sedang mengalami pertumbuhan yang belum pernah terjadi sebelumnya. Sebagai proses utama untuk meningkatkan kecekapan sel solar dan meningkatkan prestasi peranti, teknologi salutan vakum memainkan peranan yang semakin penting merentasi pelbagai peringkat pembuatan PV, memacu penaiktarafan dan inovasi industri.
Salutan Vakum: "Proses Tidak Kelihatan" Di Sebalik Peranti PV
Salutan vakum merujuk kepada teknik untuk memendapkan filem nipis ke permukaan substrat di bawah keadaan vakum, menggunakan kaedah fizikal atau kimia—terutamanya PVD (Pemendapan Wap Fizikal) dan CVD (Pemendapan Wap Kimia). Berbanding dengan proses basah tradisional, salutan vakum menawarkan keseragaman filem yang unggul, lekatan yang kuat, kawalan ketebalan yang tepat dan pencemaran yang minimum, menjadikannya langkah penting dalam penghasilan peranti fotovoltaik berprestasi tinggi.
Aplikasi Utama Salutan Vakum dalam Fotovoltaik
1. Salutan Anti-Reflektif (AR) untuk Sel Silikon Kristal
Penggunaan salutan anti-pantulan pada permukaan sel silikon kristal adalah penting untuk meningkatkan penyerapan cahaya. Bahan biasa seperti silikon nitrida (SiNx) biasanya dimendapkan menggunakan Pemendapan Wap Kimia Dipertingkatkan Plasma (PECVD), yang berkesan mengurangkan kehilangan pantulan permukaan dan meningkatkan kecekapan sel keseluruhan.
2. Filem Oksida Konduktif Lutsinar (TCO)
Dalam sel solar filem nipis, lapisan TCO seperti ITO (Indium Tin Oxide) dan AZO (Zink Oksida yang didop Aluminium) berfungsi sebagai elektrod hadapan yang kritikal. Ini biasanya dimendapkan melalui percikan magnetron, proses PVD yang memastikan transmisi tinggi, kerintangan rendah dan ketahanan alam sekitar yang sangat baik.
3. Lapisan Reflektif dan Penghalang Belakang
Struktur helaian belakang selalunya menggabungkan lapisan pemantul (contohnya, Ag, Al) dan lapisan penghalang (contohnya, SiOx, Al2O3), yang biasanya juga digunakan melalui salutan vakum. Lapisan pemantul meningkatkan perangkap cahaya dalaman, manakala lapisan penghalang meningkatkan kestabilan jangka panjang dan ketahanan terhadap kelembapan dan tekanan haba.
4. Pemendapan Filem Nipis dalam Sel Suria Perovskit
Sel solar perovskit yang baru muncul melibatkan berbilang lapisan—seperti lapisan pengangkutan, lapisan antara muka dan salutan enkapsulasi—setiap satu memerlukan pemendapan berketepatan tinggi dan kerosakan rendah. Salutan vakum menunjukkan potensi yang kukuh dalam domain ini, terutamanya untuk mencapai filem kawasan besar yang seragam yang penting untuk skalabiliti komersial.
Trend Industri dan Permintaan Peralatan
Seiring dengan perkembangan teknologi PV ke arah heterojunction (HJT) dan sel tandem perovskit/silikon, permintaan untuk susunan filem yang lebih kompleks dan kestabilan filem yang lebih baik semakin meningkat dengan pesat. Sebagai tindak balas, pengeluar peralatan memperkenalkan sistem canggih yang menampilkan daya pemprosesan, automasi dan kecekapan tenaga yang lebih tinggi—seperti sistem percikan magnetron sebaris kawasan besar dan sistem salutan vakum roll-to-roll—untuk memenuhi keperluan pengeluaran besar-besaran barisan pembuatan PV berskala GW.
Teknologi Salutan Memperkasakan Masa Depan Solar
Salutan vakum bukan sahaja merupakan kaedah yang terbukti untuk meningkatkan prestasi modul fotovoltaik tetapi juga merupakan pemboleh teras bagi struktur sel berkecekapan tinggi generasi akan datang. Daripada silikon kristal konvensional kepada penyelesaian perovskit yang inovatif, daripada pengoptimuman bahan kepada integrasi proses penuh, teknologi salutan semakin berkait rapat dengan industri solar—membuka jalan ke arah masa depan tenaga rendah karbon, hijau dan berkecekapan tinggi.
-Artikel ini dikeluarkan olehpengeluar mesin salutan vakumVakum Zhenhua.
Masa siaran: 19 Jun 2025