Līdz ar Ķīnas "divkāršā oglekļa" mērķu nepārtrauktu virzību, fotoelektrisko (FV) nozare piedzīvo nepieredzētu izaugsmi. Kā galvenais process saules bateriju efektivitātes uzlabošanai un ierīču veiktspējas uzlabošanai, vakuuma pārklāšanas tehnoloģijai ir arvien svarīgāka loma vairākos FV ražošanas posmos, veicinot rūpniecisko modernizāciju un inovācijas.
Vakuuma pārklāšana: “Neredzamais process” PV ierīču pamatā
Vakuuma pārklāšana ir metode, kurā uz substrāta virsmas vakuuma apstākļos tiek uzklātas plānas plēves, izmantojot fizikālas vai ķīmiskas metodes — galvenokārt PVD (fizikālo tvaiku pārklāšanu) un CVD (ķīmisko tvaiku pārklāšanu). Salīdzinot ar tradicionālajiem mitrajiem procesiem, vakuuma pārklāšana nodrošina izcilu plēves vienmērīgumu, spēcīgu saķeri, precīzu biezuma kontroli un minimālu piesārņojumu, padarot to par būtisku posmu augstas veiktspējas fotoelektrisko ierīču ražošanā.
Vakuuma pārklājuma galvenie pielietojumi fotoelektriskajā tehnikā
1. Kristāliskā silīcija elementu pretatstarojošie (AR) pārklājumi
Kristāliskā silīcija elementu virsmas antirefleksīvu pārklājumu uzklāšana ir ļoti svarīga, lai uzlabotu gaismas absorbciju. Izplatīti materiāli, piemēram, silīcija nitrīds (SiNx), parasti tiek uzklāti, izmantojot plazmas pastiprinātu ķīmisko tvaiku pārklāšanu (PECVD), kas efektīvi samazina virsmas atstarošanas zudumus un palielina elementu kopējo efektivitāti.
2. Caurspīdīgas vadoša oksīda (TCO) plēves
Plānās plēves saules baterijās TCO slāņi, piemēram, ITO (indija alvas oksīds) un AZO (ar alumīniju leģēts cinka oksīds), kalpo kā kritiski priekšējie elektrodi. Tie parasti tiek uzklāti, izmantojot magnetrona izsmidzināšanu — PVD procesu, kas nodrošina augstu caurlaidību, zemu pretestību un izcilu vides izturību.
3. Atstarojošie un barjeras slāņi mugurai
Aizmugurējās loksnes struktūras bieži ietver atstarojošus slāņus (piemēram, Ag, Al) un barjeras slāņus (piemēram, SiOx, Al2O3), kurus parasti uzklāj, izmantojot vakuuma pārklājumu. Atstarojošie slāņi uzlabo iekšējo gaismas uztveršanu, savukārt barjeras slāņi uzlabo ilgtermiņa stabilitāti un izturību pret mitrumu un termisko spriegumu.
4. Plānas plēves nogulsnēšana perovskīta saules baterijās
Jaunās perovskīta saules baterijas ietver vairākus slāņus, piemēram, transporta slāņus, saskarnes slāņus un iekapsulēšanas pārklājumus, katram no kuriem nepieciešama augstas precizitātes un mazbojājoša uzklāšana. Vakuuma pārklāšanai šajā jomā ir liels potenciāls, jo īpaši, lai panāktu vienmērīgas liela laukuma plēves, kas ir kritiski svarīgas komerciālai mērogojamībai.
Nozares tendences un iekārtu pieprasījums
Tā kā PV tehnoloģijas attīstās heterosavienojumu (HJT) un perovskīta/silīcija tandēma šūnu virzienā, strauji pieaug pieprasījums pēc sarežģītākām plēvju kārtām un lielākas plēves stabilitātes. Reaģējot uz to, iekārtu ražotāji ievieš modernas sistēmas ar lielāku caurlaidspēju, automatizāciju un energoefektivitāti, piemēram, lielas platības iebūvētas magnetrona izsmidzināšanas sistēmas un vakuuma pārklāšanas sistēmas no viena ruļļa uz otru, lai apmierinātu GW mēroga PV ražošanas līniju masveida ražošanas vajadzības.
Pārklājuma tehnoloģija nodrošina saules enerģijas nākotni
Vakuuma pārklāšana ir ne tikai pārbaudīta metode fotoelektrisko moduļu veiktspējas uzlabošanai, bet arī nākamās paaudzes augstas efektivitātes šūnu struktūru galvenais veicinātājs. No parastā kristāliskā silīcija līdz inovatīviem perovskīta risinājumiem, no materiālu optimizācijas līdz pilnīgai procesa integrācijai, pārklājumu tehnoloģija kļūst cieši saistīta ar saules enerģijas nozari, bruģējot ceļu uz zemu oglekļa emisiju, zaļu un augstas efektivitātes enerģijas nākotni.
-Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsDženhua vakuums.
Publicēšanas laiks: 2025. gada 19. jūnijs