Қытайдың «қос көміртекті» мақсаттарының үздіксіз ілгерілеуімен фотоэлектрлік (ФЭ) өнеркәсібі бұрын-соңды болмаған өсімді бастан кешіруде. Күн батареяларының тиімділігін арттыру және құрылғылардың жұмысын жақсартудың негізгі процесі ретінде вакуумдық жабын технологиясы ФЭ өндірісінің бірнеше кезеңдерінде барған сайын маңызды рөл атқарып, өнеркәсіптік жаңғырту мен инновацияны ынталандыруда.
Вакуумдық жабын: фотоэлектрлік құрылғылардың артындағы «көрінбейтін процесс»
Вакуумдық жабын дегеніміз - физикалық немесе химиялық әдістерді - негізінен PVD (физикалық бу тұндыру) және CVD (химиялық бу тұндыру) қолдана отырып, вакуум жағдайында субстрат бетіне жұқа қабықшаларды жағу әдісі. Дәстүрлі ылғалды процестермен салыстырғанда, вакуумдық жабын қабықшаның біркелкілігін, күшті адгезияны, дәл қалыңдықты бақылауды және минималды ластануды қамтамасыз етеді, бұл оны жоғары өнімді фотоэлектрлік құрылғыларды өндірудегі маңызды қадам етеді.
Фотоэлектрикадағы вакуумдық жабынның негізгі қолданылуы
1. Кристалдық кремний ұяшықтарына арналған шағылыстыруға қарсы (AR) жабындар
Кристалды кремний ұяшықтарының бетіне шағылыстыруға қарсы жабындарды жағу жарықтың сіңірілуін жақсарту үшін өте маңызды. Кремний нитриді (SiNx) сияқты кең таралған материалдар әдетте плазмалық күшейтілген химиялық бу тұндыру (PECVD) арқылы тұндырылады, бұл беттік шағылысу шығындарын тиімді түрде азайтады және ұяшықтың жалпы тиімділігін арттырады.
2. Мөлдір өткізгіш оксид (TCO) пленкалары
Жұқа қабықшалы күн батареяларында ITO (Индий қалайы оксиді) және AZO (Алюминиймен легирленген мырыш оксиді) сияқты TCO қабаттары маңызды алдыңғы электродтар ретінде қызмет етеді. Олар әдетте жоғары өткізгіштікті, төмен кедергіні және тамаша қоршаған ортаға төзімділікті қамтамасыз ететін PVD процесі болып табылатын магнетронды тозаңдату арқылы тұндырылады.
3. Артқы шағылыстырғыш және тосқауыл қабаттары
Артқы қабат құрылымдары көбінесе шағылыстыратын қабаттарды (мысалы, Ag, Al) және тосқауыл қабаттарын (мысалы, SiOx, Al2O3) қамтиды, олар әдетте вакуумдық жабын арқылы да қолданылады. Шағылыстыратын қабаттар ішкі жарықты ұстап қалуды жақсартады, ал тосқауыл қабаттары ұзақ мерзімді тұрақтылықты және ылғал мен термиялық кернеуге төзімділікті жақсартады.
4. Перовскит күн батареяларындағы жұқа қабықшалы тұндыру
Жаңадан пайда болып жатқан перовскиттік күн батареялары тасымалдау қабаттары, интерфейс қабаттары және капсуляциялық жабындар сияқты бірнеше қабаттан тұрады, олардың әрқайсысы жоғары дәлдіктегі, аз зақымданатын тұндыруды қажет етеді. Вакуумдық жабын бұл салада, әсіресе коммерциялық масштабталу үшін маңызды біркелкі үлкен аумақты пленкаларға қол жеткізу үшін үлкен әлеуетті көрсетеді.
Салалық үрдістер және жабдыққа деген сұраныс
Фотоэлектрлік технологиялар гетероөткізгіштікке (HJT) және перовскит/кремний тандемдік жасушаларына қарай дамыған сайын, күрделі пленка стектеріне және пленка тұрақтылығының жоғарылауына деген сұраныс тез артып келеді. Осыған байланысты жабдық өндірушілері GW масштабындағы фотоэлектрлік өндіріс желілерінің жаппай өндіріс қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін жоғары өткізу қабілеті, автоматтандыру және энергия тиімділігі бар озық жүйелерді, мысалы, үлкен аумақты желілік магнетронды шашырату жүйелерін және орамнан орамға вакуумдық жабын жүйелерін енгізуде.
Жабу технологиясы күн энергиясының болашағын қамтамасыз етеді
Вакуумдық жабын жасау фотоэлектрлік модульдің жұмысын жақсартудың дәлелденген әдісі ғана емес, сонымен қатар келесі буынның жоғары тиімді ұяшық құрылымдарының негізгі қозғаушы күші болып табылады. Дәстүрлі кристалды кремнийден бастап инновациялық перовскит ерітінділеріне дейін, материалдарды оңтайландырудан бастап толық процесті интеграциялауға дейін жабын жасау технологиясы күн энергиясы өнеркәсібімен терең байланысты болып, төмен көміртекті, жасыл және жоғары тиімді энергетикалық болашаққа жол ашуда.
- Бұл мақала жарияландывакуумдық жабын машинасын өндірушіЧжэньхуа шаңсорғышы.
Жарияланған уақыты: 19 маусым 2025 ж.