Варистор, термистор, керамик конденсаторыг гэр ахуйн цахилгаан хэрэгсэл, хэрэглээний электроник, цахилгаан тоног төхөөрөмж, шинэ эрчим хүчний тээврийн хэрэгсэл, харилцаа холбооны тоног төхөөрөмж, үйлдвэрлэлийн хяналтын системд өргөн ашигладаг бөгөөд эдгээр нь голчлон хэлхээний хамгаалалт, температур мэдрэгч, эрчим хүч хадгалах, шүүх зэрэг функцийг гүйцэтгэдэг.
Электрон керамикийн функциональ шинж чанарыг голчлон тэдгээрийн материалын найрлага, хольцын систем, шатаах процессоор тодорхойлдог. Цайрын исэл (ZnO) керамик нь варисторын шинж чанартай тул варистор үйлдвэрлэхэд ашигладаг бөгөөд түр зуурын хэт хүчдэл үүсэх үед хэт их гүйдлийг өөрчилдөг. Зарим исэл керамик болон барийн титанат дээр суурилсан материалыг термистор үйлдвэрлэхэд ашиглаж болох бол барийн титанат, кальцийн титанат зэрэг диэлектрик керамикийг керамик конденсаторт өргөн ашигладаг.
Хэдийгээр эдгээр материалууд нь хэлбэржүүлж, хайлуулсны дараа харгалзах варистор, термистор эсвэл диэлектрик шинж чанарыг олж авдаг боловч тэдгээр нь үйл ажиллагааны керамик биет хэвээр байгаа бөгөөд цахилгаан хэлхээнд шууд нэгтгэгдэх боломжгүй байна. Хэвлэмэл хэлхээний самбар дээр суурилуулж болох электрон бүрэлдэхүүн хэсэг болохын тулд дээд ба доод гадаргуу дээрээ мөнгөн электрод үүсгэх шаардлагатай. Тиймээс мөнгөн электрод үүсэх нь электрон керамик эд анги үйлдвэрлэхэд чухал үйл явц юм.
1. Электрон керамикууд яагаад мөнгөн электрод бүрэх шаардлагатай вэ?
Электрон керамикийн мөнгөн электродын бүрэлт нь керамик суурийн дээд ба доод гадаргуу дээр дамжуулагч электрод үүсгэхийг шаарддаг бөгөөд энэ нь хүчдэлийн хэрэглээ, гүйдлийн дамжуулалт, хар тугалга бэхлэхэд тогтвортой металл интерфейсийг бий болгодог. Электрод үүссэний дараа керамик биетүүдийг варистор, термистор эсвэл керамик конденсатор болгон угсрахаас өмнө хар тугалга холбох, капсулжуулах, цахилгаан туршилт хийдэг.
Электрон керамик электродууд нь ихэвчлэн олон давхаргат металлжуулалтын бүтцийг ашигладаг. Ti эсвэл NiCr-ийг бүрхүүл ба керамик суурь хоорондын гадаргуугийн холбоог сайжруулахын тулд наалдамхай давхарга болгон ашиглаж болох бол Cu эсвэл Ag-ийг цахилгаан дамжуулах чадвар болон гагнуурын шаардлагыг хангахын тулд дээд дамжуулагч давхарга болгон ашиглаж болно.
Ихэнх хэрэглээнд электрон керамикийн зөвхөн дээд ба доод гадаргууг металлжуулсан байдаг бол хажуугийн гадаргуу нь цахилгаан тусгаарлагчтай хэвээр байх ёстой. Жигд бус хальсны зузаан, зүү нүх, эсвэл орон нутгийн бүрхүүлийн дутагдал нь тогтворгүй холбоо барих эсэргүүцэл, гагнуурын чанар муу, цахилгаан гүйцэтгэлийн хазайлт үүсгэж болзошгүй. Хажуугийн гадаргуу дээрх бүрхүүл нь дээд ба доод электродуудыг цахилгаанаар холбож болох бол наалдамхай бат бэх хангалтгүй байх нь хальсны гажилт үүсэхэд хүргэдэг. Тиймээс электрон керамикийн мөнгөн электродын бүрхүүл нь хальсны зузааны жигд байдал, хальсны нягтрал, наалдамхай бат бэх, тунадасны талбайн нарийн хяналт хоёрын хооронд тэнцвэрийг хангах ёстой.
2. Уламжлалт мөнгөний металлжуулалтын материал ба процессын өртгийн бэрхшээлүүд
Зарим электрон керамик бүтээгдэхүүнүүд мөнгөн электрод үүсгэхийн тулд мөнгөн зуурмаг шигтгээ хэвлэх, дараа нь галлах буюу нойтон химийн мөнгөн бүрэлтийг ашигладаг. Ердийн мөнгөн давхаргын зузаан нь ойролцоогоор 20 μм байдаг боловч бодит зузааныг тодорхой бүтээгдэхүүн болон процессын шаардлагаар тодорхойлдог. Мөнгөн зуурмаг шигтгээ хэвлэх, галлах нь ерөнхийдөө гадаргууг цэвэрлэх, шигтгээ хэвлэх, тэгшлэх, хатаах, галлах, шалгах зэрэг үйлдлүүдийг хамардаг. Нойтон химийн мөнгөн бүрэлт нь ерөнхийдөө урьдчилан боловсруулах, мэдрэгжүүлэх, идэвхжүүлэх, химийн мөнгөн бүрэлт, зайлах, хатаах, шалгах үйлдлүүдийг багтаадаг.
2026 оноос хойш мөнгөний үнэ мэдэгдэхүйц өсч, өндөр түвшинд хэвээр байгаа нь электрон керамик электрод үйлдвэрлэлд мөнгөний материалын өртгийн нөлөөллийг улам бүр нэмэгдүүлж байна. Уламжлалт мөнгөн зуурмаг хэвлэх, шатаах эсвэл нойтон мөнгөөр бүрэх процессоор гаргаж авсан харьцангуй зузаан мөнгөн давхаргууд нь их хэмжээний мөнгөний хэрэглээг бий болгож болзошгүй юм. Өндөр хэмжээний үйлдвэрлэлд энэ нь бүрэлдэхүүн хэсэг тус бүрийн материалын өртгийг шууд нэмэгдүүлдэг.
Үүнээс гадна, мөнгөн зуурмаг хэвлэхэд шаардлагатай хатаах болон өндөр температурт галлах үе шатууд, мөн нойтон мөнгөн бүрэлтэд оролцдог урьдчилан боловсруулах, мэдрэгжүүлэх болон идэвхжүүлэх, зайлах, хатаах үе шатууд нь эрчим хүчний хэрэглээ, үйлдвэрлэлийн хугацаа, үйл явцын хяналтын зардлыг улам нэмэгдүүлдэг.
3. Киноны гүйцэтгэл болон өртгийн хяналтыг тэнцвэржүүлэхийн тулд вакуум соронзон цацалт хийх
Вакуум магнетрон цацалт гэдэг нь өндөр энергитэй хэсгүүд вакуум дор металл байг бөмбөгдөж, байны атомуудыг цацаж, керамик гадаргуу дээр хуримтлуулж, жигд, нягт металл хальс үүсгэдэг PVD процесс юм.
Бүтээгдэхүүний тодорхой шаардлагын дагуу электрод нь Ti эсвэл NiCr наалдамхай давхарга болон Cu эсвэл Ag дамжуулагч давхаргаас бүрдэх олон давхаргат бүтцийг ашиглаж болох бөгөөд нийт хальсны зузаан нь ойролцоогоор 6-7 μм байна. Ойролцоогоор 20 μм зузаантай ердийн мөнгөн давхаргатай харьцуулахад энэ арга нь шаардлагагүй мөнгөний зузаан болон үнэт металлын хэрэглээг бууруулж, улмаар их хэмжээний үйлдвэрлэлд материалын зардлыг бууруулж чадна.
Вакуум бүрэх процессыг цэвэрлэх, ачих, вакуум тунадасжуулах, шалгах үйл явц болгон хялбаршуулж, холбогч материалын шаталт, өндөр температурт галлах, олон тооны нойтон химийн боловсруулалт зэрэг үйл явцын үе шатуудыг багасгаж болно. Нарийн хальсны зузааны хяналт болон тусгай масклах хэрэгслүүдтэй хослуулан энэхүү процесс нь хажуугийн гадаргууг цахилгаан тусгаарлагчтай байлгахын зэрэгцээ дээд ба доод гадаргуу дээрх тунадасжсан хальсны нягтралыг сайжруулж чадна.
4. Zhenhua тоос сорогчийн электрон керамикийн мөнгөн металлжуулалтын шийдэл
Zhenhua Vacuum-ийн электрон керамик мөнгөний металлжуулалтын үйлдвэрлэлийн шугамыг үйлчлүүлэгчийн процессын шаардлагын дагуу Ti, NiCr, Cu, Ag болон бусад бүрэх материалаар тохируулж болно. Нэг вакуум циклийн хүрээнд керамик эд ангийн дээд ба доод гадаргуу дээр олон металл давхаргыг хуримтлуулж, варистор, термистор, керамик конденсатор болон бусад электрон керамик эд ангиудыг электродоор металлжуулах өндөр хүчин чадалтай вакуум бүрэх шийдлийг бий болгодог.
Тоног төхөөрөмжийн давуу талууд
1. Дэвшилтэт процессын технологи
Энэхүү систем нь электрон керамик электродыг металлжуулахад вакуум магнетрон цацах технологийг ашигладаг. Холбогдох технологиуд нь өмчийн шинэ бүтээлийн патентаар хамгаалагдсан бөгөөд энэ нь электродыг нарийн тунадасжуулах, багц хоорондын нягтралыг сайжруулах боломжийг олгодог.
2. Гүйцэтгэл ба өртгийн давуу талууд
Олон давхаргат хальсны архитектур болон хальсны зузааныг нарийн хянах замаар уг процесс нь наалдамхай бат бэх, цахилгаан дамжуулах чанар, гагнуурын шаардлагыг хангаж, мөнгөний хэрэглээг бууруулж, үйлдвэрлэлийн алхмуудыг хялбарчилж, улмаар их хэмжээний үйлдвэрлэлийн үйлдвэрлэлийн зардлыг бууруулж чадна.
3. Инженерийн өргөн туршлага
Вакуум бүрэх үйлдвэрлэлийн салбарт 30 гаруй жилийн туршлагатай Zhenhua Vacuum нь үйл явцын хөгжүүлэлт, дээжийн баталгаажуулалтаас эхлээд туршилтын үйлдвэрлэл, олноор үйлдвэрлэх хүртэлх бүх үйл явцын туршид техникийн дэмжлэг үзүүлэх чадвартай мэргэжлийн үйл явцын лаборатори, инженерийн багийг байгуулсан.
4. Захиалгат шийдлүүд ба нууцлал
Тоног төхөөрөмж болон үйл явцын шийдлүүдийг хэрэглэгчийн бүтээгдэхүүний тодорхойлолт, үйлдвэрлэлийн хүчин чадал, олон давхаргат бүрхүүлийн шаардлагад нийцүүлэн өөрчлөх боломжтой. Zhenhua Vacuum нь мөн хэрэглэгчийн оюуны өмч болон техникийн баримт бичгийг чандлан хамгаалдаг.
Аппликейшнүүд
Тоног төхөөрөмж нь Ti, NiCr, Cu, Ag болон бусад металл хальсыг хуримтлуулж чаддаг тул варистор, термистор, керамик конденсатор зэрэг электрон керамик эд ангиудыг электродоор металлжуулахад тохиромжтой. Энэхүү технологийг керамик суурь болон керамик LED багц зэрэг хэрэглээнд өргөтгөж болно.
5. Дүгнэлт
Мөнгөний үнэ байнга өндөр байгаа болон электрон эд анги үйлдвэрлэхэд тогтвортой байдал, найдвартай байдлын шаардлага улам бүр чангарч байгаа нөхцөлд вакуум магнетрон цацалт нь электрон керамикийн үр дүнтэй металлжуулалтын шийдлийг бий болгодог. Киноны зузааныг багасгах, жигд тунадасжуулах, зузааныг нарийн хянах зэрэг давуу талуудтай тул энэхүү процесс нь бүрэх гүйцэтгэл, үйлдвэрлэлийн үр ашиг, материалын өртгийг тэнцвэржүүлэх практик аргыг санал болгодог.
Zhenhua Vacuum компани нь электрон керамик мөнгөний металлжуулалтын шаардлагын дагуу тоног төхөөрөмж, бүрэх процесс, автоматжуулалтын системийг оновчтой болгосоор байх бөгөөд судалгаа, хөгжүүлэлтийн баталгаажуулалт, туршилтын үйлдвэрлэлээс эхлээд томоохон хэмжээний үйлдвэрлэл хүртэл үйлдвэрлэлийн бүхий л мөчлөгийн туршид үйлчлүүлэгчдэд техникийн дэмжлэг үзүүлэх болно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 8-р сарын 14