Орчин үеийн үйлдвэрлэлийн системд бүтээгдэхүүний нарийвчлал, тоног төхөөрөмжийн үр ашиг, эд ангийн ашиглалтын хугацаа нь гадаргуугийн инженерчлэлийн дэвшлээс улам бүр хамааралтай болж байна. Гадаргуугийн боловсруулалтын чухал арга болох хатуу бүрэх технологийг зүсэх хэрэгсэл, хэв, автомашины гол эд анги, 3C бүтээгдэхүүн зэрэг салбарт өргөнөөр нэвтрүүлсэн. Энэ нь бат бөх чанар, найдвартай байдал, нийт гүйцэтгэлийг сайжруулах гол хүчин зүйл болдог.
№1 Техникийн тодорхойлолт ба функциональ байршил
"Хатуу бүрхүүл" гэдэг нь ерөнхийдөө Физик уурын хуримтлал (PVD) эсвэл Химийн уурын хуримтлал (CVD) аргаар суурь дээр хуримтлагдсан функциональ нимгэн хальсыг хэлнэ. Эдгээр бүрхүүл нь ихэвчлэн 1-5 μм зузаантай, өндөр бичил хатуулагтай (>2000 HV), бага үрэлтийн коэффициенттэй (<0.3), маш сайн дулааны тогтвортой байдалтай, хүчтэй гадаргуугийн наалдацтай байдаг бөгөөд энэ нь суурь материалын ашиглалтын хугацаа болон гүйцэтгэлийн хязгаарыг мэдэгдэхүйц уртасгадаг.
Хатуу бүрхүүлийг зөвхөн гадаргуугийн "бүрхүүл" болгон ашиглахын оронд оновчтой давхаргын бүтэц, сонгосон материал, захиалгат суурь бүрхүүлийн наалдамхай механизмаар инженерчилдэг. Энэ нь бүрхүүлийг элэгдэлд тэсвэртэй, дулааны тогтвортой байдал, зэврэлтээс хамгаалахын зэрэгцээ нарийн төвөгтэй ажиллагааны нөхцөлд тэсвэртэй болгодог.
Хатуу бүрхүүлийн №2 ажиллах зарчим
Хатуу бүрхүүлийг голчлон хоёр үндсэн аргаар хуримтлуулдаг: Физик уурын хуримтлал (PVD) ба Химийн уурын хуримтлал (CVD).
1. Физик ууршилтын тунадасжилт (PVD)
PVD нь вакуум дээр суурилсан процесс бөгөөд бүрэх материалыг ууршуулах, цацах эсвэл ионжуулах замаар суурь гадаргуу дээр нимгэн хальс үүсгэдэг. Энэ процесс нь ихэвчлэн дараахь зүйлийг агуулдаг.
Материалын ууршилт эсвэл цацалт
Уурын фазын тээвэрлэлт: Атом/ионууд вакуум орчинд шилжинэ
Кино үүсэх: Субстрат дээр өтгөн бүрхүүлийн конденсаци ба өсөлт
Нийтлэг PVD техникүүдэд дараахь зүйлс орно.
Дулааны ууршилт
Магнетрон цацалт
Нуман ионы бүрхүүл
2. Химийн ууршилт (ХУТТ)
CVD нь өндөр температурт хийн прекурсоруудыг нэвтрүүлж, суурь гадаргуу дээр химийн урвалд орж, хатуу бүрхүүл үүсгэдэг. Энэ арга нь TiC, TiN, болон SiC зэрэг дулаанд тэсвэртэй бүрхүүлд тохиромжтой.
Гол шинж чанарууд:
Субстратад хүчтэй наалддаг
Харьцангуй зузаан бүрхүүл үүсгэх чадвар
Дулаанд тэсвэртэй суурь шаарддаг өндөр боловсруулалтын температур
3 дугаартай хэрэглээний хувилбарууд
Өндөр ачаалалтай, өндөр давтамжтай ажиллагаатай үйлдвэрлэлийн орчинд эд ангиуд үрэлт, зэврэлт, дулааны цочролд өртдөг. Хатуу бүрхүүл нь өндөр хатуулагтай, бага үрэлттэй, дулааны хувьд тогтвортой хамгаалалтын давхарга үүсгэдэг бөгөөд энэ нь эд ангийн гүйцэтгэл болон ашиглалтын хугацааг мэдэгдэхүйц нэмэгдүүлдэг.
Зүсэх хэрэгсэл: TiAlN болон AlCrN зэрэг бүрхүүлүүд нь дулааны эсэргүүцэл болон элэгдлийн гүйцэтгэлийг ихээхэн сайжруулж, багажны ашиглалтын хугацааг 2-5 дахин уртасгаж, багажны өөрчлөлтийг багасгаж, боловсруулалтын тогтвортой байдлыг сайжруулдаг.
Хэв ба цоолтуур: TiCrAlN болон AlCrN бүрхүүл нь элэгдэл, цооролт, дулааны ядаргааны хагарлыг бууруулж, хэвний ашиглалтын хугацаа, эд ангийн чанарыг сайжруулж, ажиллахгүй байх хугацааг багасгадаг.
Автомашины эд ангиуд: Цорго, поршений зүү, хавхлагын өргөгч зэрэг эд ангиуд дээр DLC (Алмазан төст нүүрстөрөгч) бүрхүүл тавих нь үрэлт болон элэгдлийн түвшинг бууруулж, солих хугацааг уртасгаж, түлшний үр ашгийг сайжруулдаг.
3C Хэрэглээний Электроникс: Ухаалаг гар утасны гэр болон камерын хүрээ дээрх TiN, CrN болон бусад гоёл чимэглэлийн хатуу бүрхүүлүүд нь зурагдахаас хамгаалах, зэврэлтээс хамгаалах үйлчилгээтэй бөгөөд хэрэглэгчийн туршлагыг сайжруулахын тулд металл өнгөлгөөг хадгалдаг.
Салбараар нь програмын тойм
| Аж үйлдвэр | Аппликейшнүүд | Нийтлэг бүрхүүлийн төрөл | Гүйцэтгэлийн сайжруулалт |
| Зүсэх хэрэгсэл | Эргүүлэх хэрэгсэл, фрезер, өрөм, цорго | TiAlN, AlCrN, TiSiN | Элэгдэлд тэсвэртэй байдал болон халуунд тэсвэртэй байдал сайжирсан; 2-5 багажны ашиглалтын хугацаа |
| Хэвний үйлдвэрлэл | Хэвийг тамгалах, шахах, зурах | TiCrAlN, AlCrN, CrN | Цочрол үүсэхээс сэргийлдэг, дулааны ядралд тэсвэртэй, илүү нарийвчлалтай |
| Автомашины эд ангиуд | Поршений зүү, цорго, хавхлагын хөтөч | DLC, CrN, Ta-C | Үрэлт болон элэгдэл багасч, бат бөх чанар сайжирч, түлшний хэмнэлт нэмэгдэнэ |
| Хэвний үйлдвэрлэл | Хэвийг тамгалах, шахах, зурах | TiCrAlN, AlCrN, CrN | Цочрол үүсэхээс сэргийлдэг, дулааны ядралд тэсвэртэй, илүү нарийвчлалтай |
| Автомашины эд ангиуд | Поршений зүү, цорго, хавхлагын хөтөч | DLC, CrN, Ta-C | Үрэлт болон элэгдэл багасч, бат бөх чанар сайжирч, түлшний хэмнэлт нэмэгдэнэ |
| Хүйтэн хэлбэржүүлэх хэрэгсэл | Хүйтэн толгойн цохилт, цохилт | AlSiN, AlCrN, CrN | Дулааны тогтвортой байдал болон гадаргуугийн бат бөх чанарыг сайжруулсан |
№5 Zhenhua тоос сорогчийн хатуу бүрхүүлийн тунадасны шийдлүүд: Идэвхжүүлэх
Өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэл
Салбарууд дахь өндөр хүчин чадалтай бүрээсний эрэлт хэрэгцээг хангахын тулд Zhenhua Vacuum нь хэв, зүсэх хэрэгсэл, автомашины эд ангиудад нарийн үйлдвэрлэлд тохиромжтой, өндөр үр ашигтай, олон процессын нийцтэй байдлыг харуулсан дэвшилтэт хатуу бүрээсний шийдлүүдийг санал болгодог.
Гол давуу талууд:
Макро хэсгүүдийг багасгах үр ашигтай нуман плазмын шүүлтүүр
Үр ашиг болон бат бөх чанарыг хослуулсан өндөр хүчин чадалтай Ta-C бүрхүүлүүд
Хэт өндөр хатуулаг (63 ГПа хүртэл), үрэлтийн бага коэффициент болон зэврэлтээс онцгой тэсвэртэй
Холбогдох бүрхүүлийн төрлүүд:
Энэхүү систем нь хэв, зүсэх хэрэгсэл, цоолтуур, автомашины эд анги, поршен зэрэг өндөр температурт тэсвэртэй, хэт хатуу бүрхүүлийг хуримтлуулахыг дэмждэг.
Тоног төхөөрөмжийн зөвлөмж:
(Хүсэлтийн дагуу системийн хэмжээсийг өөрчлөх боломжтой.)
1.MA0605 Хатуу хальсан бүрхүүлтэй PVD бүрэх машин
2.HDA1200 Хатуу хальсан бүрхүүлийн машин
3.HDA1112 Зүсэх хэрэгсэл элэгдэлд тэсвэртэй бүрэх машин
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэн вакуум бүрэх машинүйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч.
Нийтэлсэн цаг: 2025 оны 5-р сарын 26