ຍິນດີຕ້ອນຮັບສູ່ບໍລິສັດ Guangdong Zhenhua Technology Co., Ltd.
ປ້າຍໂຄສະນາດ່ຽວ

ພາບລວມຂອງເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບແຂງ: ຫຼັກການຂະບວນການ ແລະ ການນຳໃຊ້

ທີ່ມາຂອງບົດຄວາມ: ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua
ອ່ານ: 10
ເຜີຍແຜ່: 25-05-26

ໃນລະບົບການຜະລິດທີ່ທັນສະໄໝ, ຄວາມແມ່ນຍຳຂອງຜະລິດຕະພັນ, ປະສິດທິພາບຂອງອຸປະກອນ, ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງສ່ວນປະກອບຕ່າງໆ ແມ່ນຂຶ້ນກັບຄວາມກ້າວໜ້າໃນວິສະວະກຳພື້ນຜິວ. ໃນຖານະເປັນວິທີການທີ່ສຳຄັນຂອງການປິ່ນປົວພື້ນຜິວ, ເຕັກໂນໂລຊີການເຄືອບແຂງໄດ້ຖືກນຳໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆເຊັ່ນ: ເຄື່ອງມືຕັດ, ແມ່ພິມ, ສ່ວນປະກອບຫຼັກຂອງລົດຍົນ, ແລະ ຜະລິດຕະພັນ 3C. ມັນເປັນຕົວຊ່ວຍທີ່ສຳຄັນໃນການເສີມຂະຫຍາຍຄວາມທົນທານ, ຄວາມໜ້າເຊື່ອຖື, ແລະ ປະສິດທິພາບໂດຍລວມ.

ຄຳນິຍາມດ້ານເຕັກນິກອັນດັບ 1 ແລະ ການວາງຕຳແໜ່ງໜ້າທີ່

"ການເຄືອບແຂງ" ໂດຍທົ່ວໄປໝາຍເຖິງຟິມບາງໆທີ່ເຮັດວຽກໄດ້ ເຊິ່ງວາງໄວ້ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນຜ່ານວິທີການ Physical Vapor Deposition (PVD) ຫຼື Chemical Vapor Deposition (CVD). ການເຄືອບເຫຼົ່ານີ້ມັກຈະມີຄວາມໜາຕັ້ງແຕ່ 1 ຫາ 5 μm, ມີຄວາມແຂງຈຸລະພາກສູງ (>2000 HV), ສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕ່ຳ (<0.3), ສະຖຽນລະພາບທາງຄວາມຮ້ອນທີ່ດີເລີດ, ແລະ ການຍຶດຕິດທີ່ແຂງແຮງຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ — ເຊິ່ງຊ່ວຍຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານ ແລະ ຂໍ້ຈຳກັດດ້ານປະສິດທິພາບຂອງວັດສະດຸຊັ້ນຮອງພື້ນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ.

ແທນທີ່ຈະເຮັດໜ້າທີ່ເປັນພຽງ "ການປົກຫຸ້ມໜ້າດິນ", ການເຄືອບແຂງແມ່ນຖືກອອກແບບດ້ວຍໂຄງສ້າງຊັ້ນທີ່ດີທີ່ສຸດ, ວັດສະດຸທີ່ເລືອກ, ແລະກົນໄກການຍຶດຕິດການເຄືອບພື້ນຖານທີ່ເໝາະສົມ. ສິ່ງນີ້ຊ່ວຍໃຫ້ການເຄືອບສາມາດທົນທານຕໍ່ສະພາບການໃຊ້ງານທີ່ສັບສົນ ໃນຂະນະດຽວກັນກໍ່ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່, ຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ, ແລະການປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ.

ຫຼັກການເຮັດວຽກຂອງການເຄືອບແຂງເລກທີ 2

ການເຄືອບແຂງສ່ວນໃຫຍ່ແມ່ນຖືກວາງລົງໂດຍໃຊ້ສອງເຕັກນິກຫຼັກຄື: ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD) ແລະ ການຕົກຕະກອນໄອທາງເຄມີ (CVD).

1. ການຕົກຕະກອນໄອທາງກາຍະພາບ (PVD)

PVD ເປັນຂະບວນການທີ່ອີງໃສ່ສູນຍາກາດທີ່ວັດສະດຸເຄືອບແມ່ນການລະເຫີຍ, ການສະເປຣດເຕີ, ຫຼື ການໄອອອນໄນເຊຊັນ ແລະ ການວາງຟິມບາງໆໄວ້ເທິງໜ້າຜິວຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ. ຂະບວນການດັ່ງກ່າວມັກຈະກ່ຽວຂ້ອງກັບ:

ການລະເຫີຍ ຫຼື ການສີດພົ່ນຂອງວັດສະດຸ

ການຂົນສົ່ງໄລຍະໄອນ້ຳ: ອະຕອມ/ໄອອອນເຄື່ອນຍ້າຍໃນສະພາບແວດລ້ອມສູນຍາກາດ

ການສ້າງຟິມ: ການລວມຕົວ ແລະ ການເຕີບໃຫຍ່ຂອງຊັ້ນເຄືອບໜາແໜ້ນຢູ່ເທິງຊັ້ນຮອງພື້ນ

ເຕັກນິກ PVD ທົ່ວໄປປະກອບມີ:

ການລະເຫີຍຄວາມຮ້ອນ

ການສະເປເຕີຣິງແມກເນຕຣອນ

ການເຄືອບໄອອອນ Arc

 

2. ການຕົກຕະກອນໄອນ້ຳທາງເຄມີ (CVD)

CVD ກ່ຽວຂ້ອງກັບການນຳເອົາສານຕັ້ງຕົ້ນທີ່ເປັນອາຍແກັສໃນອຸນຫະພູມສູງມາປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີໃສ່ໜ້າດິນຂອງຊັ້ນຮອງພື້ນ, ປະກອບເປັນຊັ້ນເຄືອບແຂງ. ວິທີການນີ້ແມ່ນເໝາະສົມສຳລັບການເຄືອບທີ່ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນເຊັ່ນ: TiC, TiN, ແລະ SiC.

ລັກສະນະຫຼັກ:

ການຍຶດຕິດທີ່ເຂັ້ມແຂງກັບພື້ນຜິວ

ຄວາມສາມາດໃນການສ້າງຊັ້ນເຄືອບທີ່ໜາຂ້ອນຂ້າງ

ອຸນຫະພູມການປະມວນຜົນສູງທີ່ຕ້ອງການວັດສະດຸທີ່ທົນທານຕໍ່ຄວາມຮ້ອນ

 

ສະຖານະການການນຳໃຊ້ເລກທີ 3

ໃນສະພາບແວດລ້ອມອຸດສາຫະກໍາທີ່ກ່ຽວຂ້ອງກັບການໂຫຼດສູງ ແລະ ການດໍາເນີນງານທີ່ມີຄວາມຖີ່ສູງ, ອົງປະກອບຕ່າງໆຈະຖືກກະທົບກະເທືອນ, ການກັດກ່ອນ, ແລະ ຜົນກະທົບຈາກຄວາມຮ້ອນ. ການເຄືອບແຂງປະກອບເປັນຊັ້ນປ້ອງກັນທີ່ມີຄວາມແຂງສູງ, ມີແຮງສຽດທານຕໍ່າ, ແລະ ມີຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ເຊິ່ງຊ່ວຍເພີ່ມປະສິດທິພາບ ແລະ ອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງຊິ້ນສ່ວນໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ:

ເຄື່ອງມືຕັດ: ການເຄືອບເຊັ່ນ: TiAlN ແລະ AlCrN ຊ່ວຍປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານຄວາມຮ້ອນ ແລະ ປະສິດທິພາບການສວມໃສ່ໄດ້ຢ່າງຫຼວງຫຼາຍ, ຍືດອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງເຄື່ອງມືໄດ້ 2 ຫາ 5 ເທົ່າ, ຫຼຸດຜ່ອນການປ່ຽນແປງເຄື່ອງມື ແລະ ປັບປຸງຄວາມສະໝ່ຳສະເໝີຂອງເຄື່ອງຈັກ.

ແມ່ພິມ ແລະ ເຂັມເຈາະ: ການເຄືອບ TiCrAlN ແລະ AlCrN ຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນການສວມໃສ່, ການເປັນດ່າງ, ແລະ ການແຕກຂອງຄວາມອິດເມື່ອຍຈາກຄວາມຮ້ອນ—ຊ່ວຍເພີ່ມອາຍຸການໃຊ້ງານຂອງແມ່ພິມ, ຄຸນນະພາບຂອງຊິ້ນສ່ວນ, ແລະ ຫຼຸດຜ່ອນເວລາທີ່ຢຸດເຮັດວຽກ.

ຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນ: ການເຄືອບ DLC (ຄາບອນຄ້າຍຄືເພັດ) ໃນຊິ້ນສ່ວນຕ່າງໆເຊັ່ນ: ກະບອກສູບ, ໝຸດສູບ, ແລະ ຕົວຍົກວາວຊ່ວຍຫຼຸດຜ່ອນອັດຕາການສຽດທານ ແລະ ການສວມໃສ່, ຂະຫຍາຍໄລຍະຫ່າງການທົດແທນ, ແລະ ປັບປຸງປະສິດທິພາບນໍ້າມັນເຊື້ອໄຟ.

3C ເຄື່ອງໃຊ້ໄຟຟ້າສຳລັບຜູ້ບໍລິໂພກ: TiN, CrN, ແລະ ເຄືອບແຂງຕົກແຕ່ງອື່ນໆ ເທິງຕົວເຄື່ອງໂທລະສັບສະຫຼາດ ແລະ ຂອບກ້ອງຖ່າຍຮູບ ໃຫ້ຄວາມຕ້ານທານຮອຍຂີດຂ່ວນ ແລະ ການປ້ອງກັນການກັດກ່ອນ ໃນຂະນະທີ່ຮັກສາຜິວໜ້າທີ່ເປັນໂລຫະເພື່ອປະສົບການຂອງຜູ້ໃຊ້ທີ່ດີຂຶ້ນ.

 

ພາບລວມຂອງແອັບພລິເຄຊັນຕາມອຸດສາຫະກຳ

ອຸດສາຫະກຳ

ແອັບພລິເຄຊັນ

ປະເພດການເຄືອບທົ່ວໄປ

ການປັບປຸງປະສິດທິພາບ

ເຄື່ອງມືຕັດ

ເຄື່ອງມືກິ້ງ, ເຄື່ອງຕັດ, ເຄື່ອງສະວ່ານ, ເຄື່ອງກ໊ອກ

TiAlN, AlCrN, TiSiN

ປັບປຸງຄວາມຕ້ານທານການສວມໃສ່ ແລະ ຄວາມແຂງກະດ້າງຄວາມຮ້ອນ; ອາຍຸການໃຊ້ງານ 2–5 ປີ

ອຸດສາຫະກຳຫລໍ່ລື່ນ

ແມ່ພິມປະທັບ, ການສີດ, ແລະ ການແຕ້ມຮູບ

TiCrAlN, AlCrN, CrN

ຕ້ານການອັກເສບ, ຕ້ານທານຄວາມເມື່ອຍລ້າຈາກຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ດີກວ່າ

ອາໄຫຼ່ລົດຍົນ

ໝຸດລູກສູບ, ກະບອກສູບ, ຄູ່ມືວາວ

DLC, CrN, Ta-C

ແຮງສຽດທານ ແລະ ການສວມໃສ່ຕ່ຳລົງ, ຄວາມທົນທານເພີ່ມຂຶ້ນ, ປະຫຍັດນໍ້າມັນເຊື້ອໄຟ

ອຸດສາຫະກຳຫລໍ່ລື່ນ

ແມ່ພິມປະທັບ, ການສີດ, ແລະ ການແຕ້ມຮູບ

TiCrAlN, AlCrN, CrN

ຕ້ານການອັກເສບ, ຕ້ານທານຄວາມເມື່ອຍລ້າຈາກຄວາມຮ້ອນ, ຄວາມແມ່ນຍໍາທີ່ດີກວ່າ

ອາໄຫຼ່ລົດຍົນ

ໝຸດລູກສູບ, ກະບອກສູບ, ຄູ່ມືວາວ

DLC, CrN, Ta-C

ແຮງສຽດທານ ແລະ ການສວມໃສ່ຕ່ຳລົງ, ຄວາມທົນທານເພີ່ມຂຶ້ນ, ປະຫຍັດນໍ້າມັນເຊື້ອໄຟ

ເຄື່ອງມືຂຶ້ນຮູບເຢັນ

ແມ່ພິມຫົວເຢັນ, ເຈາະ

AlSiN, AlCrN, CrN

ປັບປຸງຄວາມໝັ້ນຄົງທາງຄວາມຮ້ອນ ແລະ ຄວາມແຂງແຮງຂອງພື້ນຜິວ

 

ວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບແຂງຂອງສູນຍາກາດ Zhenhua ໝາຍເລກ 5: ການເປີດໃຊ້ງານ

ການຜະລິດທີ່ມີປະສິດທິພາບສູງ

ເພື່ອຕອບສະໜອງຄວາມຕ້ອງການທີ່ເພີ່ມຂຶ້ນສຳລັບການເຄືອບປະສິດທິພາບສູງໃນທົ່ວອຸດສາຫະກຳຕ່າງໆ, ບໍລິສັດ Zhenhua Vacuum ໃຫ້ບໍລິການວິທີແກ້ໄຂການເຄືອບແຂງທີ່ກ້າວໜ້າເຊິ່ງມີປະສິດທິພາບການເຄືອບສູງ ແລະ ຄວາມເຂົ້າກັນໄດ້ຫຼາຍຂະບວນການ — ເໝາະສຳລັບການຜະລິດແບບແມ່ນຍຳໃນແມ່ພິມ, ເຄື່ອງມືຕັດ ແລະ ຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນ.

 

ຂໍ້ໄດ້ປຽບຫຼັກ:

ການກັ່ນຕອງ plasma arc ທີ່ມີປະສິດທິພາບສຳລັບການຫຼຸດຜ່ອນ macroparticle

ການເຄືອບ Ta-C ປະສິດທິພາບສູງປະສົມປະສານປະສິດທິພາບແລະຄວາມທົນທານ

ຄວາມແຂງກະດ້າງສູງຫຼາຍ (ສູງເຖິງ 63 GPa), ຄ່າສຳປະສິດແຮງສຽດທານຕໍ່າ ແລະ ຕ້ານທານການກັດກ່ອນທີ່ໂດດເດັ່ນ

 

ປະເພດການເຄືອບທີ່ໃຊ້ໄດ້:

ລະບົບດັ່ງກ່າວຮອງຮັບການວາງຊັ້ນເຄືອບທີ່ມີອຸນຫະພູມສູງ ແລະ ແຂງຫຼາຍ ລວມທັງ AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, ແລະ ອື່ນໆ - ຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງໃນແມ່ພິມ, ເຄື່ອງມືຕັດ, ເຄື່ອງເຈາະ, ຊິ້ນສ່ວນລົດຍົນ ແລະ ລູກສູບ.

ຄໍາແນະນໍາກ່ຽວກັບອຸປະກອນ:

(ຂະໜາດລະບົບທີ່ກຳນົດເອງມີໃຫ້ຕາມການຮ້ອງຂໍ.)

1.MA0605 ເຄື່ອງເຄືອບຟິມແຂງ PVD

微信图片_20250513154152

2.ເຄື່ອງເຄືອບຟິມແຂງ HDA1200

微信图片_20250513154157

3.ເຄື່ອງມືຕັດ HDA1112 ເຄື່ອງເຄືອບເຄືອບທົນທານຕໍ່ການສວມໃສ່

微信图片_20250513154201

- ບົດຄວາມນີ້ເຜີຍແຜ່ໂດຍ ເຄື່ອງເຄືອບສູນຍາກາດຜູ້ຜະລິດ ເຄື່ອງດູດຝຸ່ນ Zhenhua.

 


ເວລາໂພສ: ພຶດສະພາ-26-2025