N'ime sistemụ mmepụta nke oge a, nhazi ngwaahịa, arụmọrụ akụrụngwa, na ndụ ọrụ akụkụ na-adaberekarị na ọganihu na injinia elu. Dịka ụzọ dị mkpa maka ọgwụgwọ elu, a na-anabata teknụzụ mkpuchi siri ike n'ọtụtụ ụlọ ọrụ dịka ngwaọrụ ịkpụ, ebu, ihe ndị dị mkpa maka ụgbọala, na ngwaahịa 3C. Ọ na-eje ozi dị ka ihe dị mkpa maka ịkwalite ogologo oge, ntụkwasị obi, na arụmọrụ zuru oke.
Nkọwa Teknụzụ nke 1 na Ọnọdụ Ọrụ
"Mkpuchi siri ike" na-ezo aka na ihe mkpuchi dị gịrịgịrị arụ ọrụ nke a na-etinye n'elu ihe mkpuchi site na usoro Physical Vapor Deposition (PVD) ma ọ bụ Chemical Vapor Deposition (CVD). Mkpuchi ndị a na-enwekarị ọkpụrụkpụ site na 1 ruo 5 μm, yana nnukwu ike microhardness (>2000 HV), obere coefficient nke esemokwu (<0.3), ezigbo nkwụsi ike okpomọkụ, na njikọ siri ike nke ihu - nke na-agbatị ndụ ọrụ na oke arụmọrụ nke ihe mkpuchi ahụ nke ukwuu.
Kama ime ihe dịka "mkpuchi elu," a na-eji usoro oyi akwa kachasị mma, ihe ndị a họọrọ, na usoro njikọta ihe mkpuchi substrate ahaziri ahazi. Nke a na-eme ka mkpuchi ahụ nwee ike iguzogide ọnọdụ ọrụ dị mgbagwoju anya ma na-enye nguzogide iyi, nkwụsi ike okpomọkụ, na nchebe nchara n'otu oge ahụ.
Nke 2 Ụkpụrụ Ọrụ nke Mkpuchi Ike
A na-eji usoro abụọ bụ́ isi etinye mkpuchi siri ike: Ndepụta Uzuoku Ahụ (PVD) na Ndepụta Uzuoku Kemịkalụ (CVD).
1. Mbelata Uzuoku Anụ Ahụ (PVD)
PVD bụ usoro e ji ihe mkpuchi mee ebe ihe mkpuchi ahụ bụ ịpụpụ mmiri, ịgbapụ mmiri, ma ọ bụ ionization ma tinye obere ihe mkpuchi n'elu ihe mkpuchi ahụ. Usoro a na-agụnyekarị:
Mmebi ihe ma ọ bụ mgbasa
Njem nke usoro vapor: Atọm/ion na-akwaga n'ebe ikuku na-adịghị
Nhazi ihe nkiri: Mkpụkọ na uto nke mkpuchi dị oke n'elu ihe mkpuchi ahụ
Usoro PVD a na-ahụkarị gụnyere:
Mmiri okpomọkụ
Ịkpọpụta Magnetron
Mkpuchi Arc Ion
2. Mwepụ Uzuoku Kemịkalụ (CVD)
CVD gụnyere itinye ihe ndị na-ebute gas n'oge okpomọkụ dị elu iji meghachi omume na kemịkalụ n'elu ihe ndị dị n'elu ala, na-emepụta mkpuchi siri ike. Usoro a dabara adaba maka mkpuchi ndị na-adịgide adịgide na okpomọkụ dịka TiC, TiN, na SiC.
Isi njirimara:
Nrapado siri ike na substrate
Ike ịmepụta mkpuchi dị oke arọ
Okpomọkụ nhazi dị elu nke chọrọ ihe ndị na-eguzogide okpomọkụ
Nke 3 Ihe Omume Ngwa
N'ebe ọrụ mmepụta ihe nke nwere nnukwu ibu na ọrụ ugboro ugboro, ihe ndị mejupụtara ya na-enwe nsogbu, ire ere, na ujo okpomọkụ. Mkpuchi siri ike na-emepụta akwa nchekwa siri ike, obere esemokwu, na nke na-adịgide adịgide nke na-eme ka arụmọrụ akụkụ na ndụ dịkwuo mma nke ukwuu:
Ngwaọrụ Ịcha: Mkpuchi dịka TiAlN na AlCrN na-eme ka iguzogide okpomọkụ na arụmọrụ iyi dịkwuo mma, na-agbatị ndụ ngwaọrụ site na ugboro 2 ruo 5, na-ebelata mgbanwe ngwaọrụ, ma na-eme ka nhazi igwe dịkwuo mma.
Ebu na Mkpọchi: Mkpuchi TiCrAlN na AlCrN na-ebelata iyi, iwe, na mgbawa ike ọgwụgwụ okpomọkụ - na-eme ka ndụ ọrụ ebu ka mma, mma akụkụ, ma belata oge ọrụ.
Ihe Ndị Dị n'Aka Ụgbọala: Mkpuchi DLC (Dịka Kabọn) na ihe ndị dị ka tappets, piston pin, na valvụ na-ebelata ọsọ esemokwu na iyi, na-agbatị oge nnọchi, ma na-eme ka arụmọrụ mmanụ dịkwuo mma.
Ngwa Eletrọniki Ndị Ahịa 3C: TiN, CrN, na ihe mkpuchi siri ike ndị ọzọ dị na ụlọ ekwentị na bezels igwefoto na-enye nchebe ọkọ na nchedo nchara ebe ha na-ejigide mmecha ọla maka ahụmịhe onye ọrụ ka mma.
Nchịkọta Ngwa site na Ụlọ Ọrụ
| Ụlọ ọrụ mmepụta ihe | Ngwa | Ụdị Mkpuchi A Na-ahụkarị | Mmezi Arụmọrụ |
| Ngwaọrụ Ịcha | Ngwaọrụ ntụgharị, igwe e ji egwe ihe, igwe ihe eji eme ihe, na ọkpọkọ mmiri | TiAlN, AlCrN, TiSiN | Mmeziwanye iguzogide iyi na ike ọkụ; ndụ ngwaọrụ 2-5 |
| Ụlọ Ọrụ Ịkpụzi | Ịcha ihe, ịgba ọgwụ, na ịse ihe | TiCrAlN, AlCrN, CrN | Mgbochi ọgbụgbọ, ike ọgwụgwụ okpomọkụ, nkenke ka mma |
| Akụkụ Ụgbọala | Piston pins, tappets, na nduzi valvụ | DLC, CrN, Ta-C | Mgbagwoju anya na iyi dị ala, ike na-adịgide adịgide, nchekwa mmanụ ọkụ |
| Ụlọ Ọrụ Ịkpụzi | Ịcha ihe, ịgba ọgwụ, na ịse ihe | TiCrAlN, AlCrN, CrN | Mgbochi ọgbụgbọ, ike ọgwụgwụ okpomọkụ, nkenke ka mma |
| Akụkụ Ụgbọala | Piston pins, tappets, na nduzi valvụ | DLC, CrN, Ta-C | Mgbagwoju anya na iyi dị ala, ike na-adịgide adịgide, nchekwa mmanụ ọkụ |
| Ngwaọrụ Ịkpụ Oyi | Oyi isi na-egbu egbu, na-akụ ọkpọ | AlSiN, AlCrN, CrN | Mmezi okpomọkụ na ike elu emelitere |
NKE 5 Ngwọta Mkpuchi Mkpuchi siri ike nke Zhenhua Vacuum: Na-enyere aka
Mmepụta Arụmọrụ Dị Elu
Iji gboo mkpa na-arị elu maka mkpuchi dị elu n'ofe ụlọ ọrụ dị iche iche, Zhenhua Vacuum na-enye ngwọta nchekwa mkpuchi siri ike dị elu nke nwere arụmọrụ dị elu na ndakọrịta usoro dị iche iche - nke kacha mma maka imepụta ihe ziri ezi na ebu, ngwaọrụ ịkpụ, na akụkụ ụgbọala.
Uru dị mkpa:
Nzacha plasma arc dị irè maka mbelata macroparticle
Mkpuchi Ta-C dị elu nke na-ejikọta arụmọrụ na ogologo oge
Ike siri ike nke ukwuu (ruo 63 GPa), obere ihe mgbochi esemokwu, na nguzogide nchara pụrụ iche
Ụdị mkpuchi dị mkpa:
Sistemụ a na-akwado itinye ihe mkpuchi dị elu, nke siri ike nke ukwuu, gụnyere AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN, tinyere ndị ọzọ—a na-ejikarị ya eme ihe n'akpụkpọ, ngwaọrụ ịkpụ ihe, ọkpọ, akụkụ ụgbọala, na piston.
Nkwado Ngwaọrụ:
(Nha sistemụ ahaziri ahazi dị ma ọ bụrụ na achọrọ ya.)
1.MA0605 Igwe mkpuchi ihe nkiri siri ike nke PVD
2.Igwe mkpuchi ihe nkiri siri ike nke HDA1200
3.Igwe mkpuchi mkpuchi HDA1112 nke na-eguzogide ihe mkpuchi na-egbu egbu maka ngwaọrụ ịkpụcha
–E bipụtara akụkọ a site n'aka onye igwe mkpuchi ikukuonye nrụpụta Zhenhua Vacuum.
Oge ozi: Mee-26-2025



