תכנון מקור אידוי ושימוש בבעיה

בתהליך אידוי ואקום ויונים בוואקום, חומר הממברנה יהיה בטמפרטורה גבוהה של 1000 ~ 2000 מעלות צלזיוס, כך שהמכשיר מתאדה כמקור אידוי. מקורות אידוי מסוגים שונים, ועקרונות אידוי של מקור שיער שום של חומרי ממברנה שונים זה מזה. עם זאת, מבחינת מאפייני היישום, בתכנון או ביישום, יש לשקול את הנקודות הבאות:

① מקור האידוי צריך לעמוד בקצב אידוי גבוה של חומר הממברנה, ויכול לאחסן כמות מספקת של חומר ממברנה;

② מקור האידוי צריך להיות בעל חיי שירות טובים וארוכים יותר;

③ יש להשתמש במקור אידוי במגוון רחב של אידוי מתכות או סגסוגות (כגון Al, Ti, Fe, Co, Cr) וכן תרכובות (למשל SiO, SiO2, Zns וכו');

④ מקור אידוי צריך לשאוף להיות פשוט במבנה, קל לייצור, קל לשימוש ותחזוקה, וזול לתפעול.

–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה