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Conception et utilisation de la source d'évaporation

Source de l'article : Zhenhua Vacuum
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Publié le 24-02-23

Lors des procédés d'évaporation sous vide et d'ionisation sous vide, le matériau membranaire est soumis à une température élevée de 1 000 à 2 000 °C, permettant ainsi la vaporisation Yanfa du dispositif, appelée source d'évaporation. Il existe plusieurs types de sources d'évaporation, et la vaporisation des matériaux membranaires repose sur des principes différents. Cependant, en termes de caractéristiques d'application, lors de la conception ou de l'application, les aspects suivants doivent être pris en compte :

大图

1. La source d'évaporation doit répondre à l'évaporation du matériau de la membrane avec un taux d'évaporation élevé et peut stocker un nombre suffisant de matériau de la membrane ;

2. La source d’évaporation devrait avoir une durée de vie meilleure et plus longue ;

③ La source d'évaporation doit être utilisée dans une large gamme d'évaporation de métaux ou d'alliages (tels que Al, Ti, Fe. Co. Cr) ainsi que de composés (par exemple SiO, SiO2, Zns, etc.) ;

④ La source d'évaporation doit s'efforcer d'être simple dans sa structure, facile à fabriquer, facile à utiliser et à entretenir, et peu coûteuse à exploiter.

–Cet article est publié parfabricant de machines de revêtement sous videGuangdong Zhenhua


Date de publication : 23 février 2024