Hutsean, jarri pieza presio baxuko distira-deskargaren katodoan eta injektatu gas egokia. Tenperatura jakin batean, estaldura bat lortzen da piezaren gainazalean ionizazio-polimerizazio prozesua erabiliz, erreakzio kimikoa eta plasma konbinatuz, eta substantzia gaseosoak piezaren gainazalean xurgatzen dira eta elkarren artean erreakzionatzen dute, eta azkenik film solido bat sortu eta piezaren gainazalean metatzen da.
Ezaugarria:
1. Tenperatura baxuko film-eraketa, tenperaturak eragin txikia du piezan, tenperatura altuko film-eraketaren ale lodia saihestuz, eta film-geruza ez da erraz erortzen.
2. Film lodi batekin estali daiteke, konposizio uniformea, hesi-efektu ona, trinkotasuna, barne-tentsio txikia eta mikro-arrailak sortzea ez da erraza.
3. Plasma lanak garbiketa efektua du, eta horrek filmaren atxikimendua handitzen du.
Ekipamendua batez ere SiOx erresistentzia handiko hesi gisa PET, PA, PP eta beste film material batzuetan estaltzeko erabiltzen da. Oso erabilia izan da produktu mediko/farmazeutikoen ontzietan, osagai elektronikoetan eta elikagaien ontzietan, baita edarien, elikagai koipetsuen eta olio jangarrien ontzietan ere. Filmak hesi-propietate bikaina, ingurumenarekiko egokitzapena, mikrouhinen iragazkortasun handia eta gardentasuna ditu, eta ia ez zaio eragiten ingurumen-hezetasunaren eta tenperatura-aldaketen eraginik. Ontziratzeko materialek osasunean izan ditzaketen ondorioen arazoa konpontzen du.
| Aukerako modeloak | Ekipamenduaren tamaina (zabalera) |
| RBW1250 | 1250 (mm) |