Vaakumis asetatakse toorik madalrõhu hõõglahenduse katoodile ja süstitakse sobivat gaasi. Teatud temperatuuril saadakse tooriku pinnale ionisatsioonipolümerisatsiooniprotsessi abil, mis ühendab keemilise reaktsiooni ja plasma, kate, samal ajal kui gaasilised ained absorbeeruvad tooriku pinnale ja reageerivad omavahel, mille tulemusel moodustub tahke kile, mis sadestub tooriku pinnale.
Iseloomulik:
1. Madala temperatuuriga kile moodustamine, temperatuuril on toorikule vähe mõju, vältides kõrge temperatuuriga kile moodustamise jämedat tera ja kilekihti ei ole kerge maha kukkuda.
2. Seda saab katta paksu kilega, millel on ühtlane koostis, hea barjääriefekt, kompaktsus, väike sisemine pinge ja mikropragude teke pole lihtne.
3. Plasmatöötlusel on puhastav toime, mis suurendab kile nakkuvust.
Seadet kasutatakse peamiselt SiOx kõrge vastupidavusega barjääri katmiseks PET-, PA-, PP- ja muudele kilematerjalidele. Seda on laialdaselt kasutatud meditsiini-/farmaatsiatoodete pakendites, elektroonikakomponentide ja toiduainete pakendites, samuti jookide, rasvaste toitude ja toiduõlide pakendites. Kilel on suurepärased barjääriomadused, keskkonnasõbralikkus, kõrge mikrolaine läbilaskvus ja läbipaistvus ning keskkonna niiskuse ja temperatuuri muutused seda vaevu mõjutavad. See lahendab probleemi, et traditsioonilised pakkematerjalid võivad tervisele kahjulikud olla.
| Valikulised mudelid | Seadme suurus (laius) |
| RBW1250 | 1250 (mm) |