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Diseño de fuentes de evaporación y utilización del problema

Fuente del artículo: Zhenhua Vacuum
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Publicado:24-02-23

En el proceso de evaporación al vacío y de iones al vacío, el material de la membrana se encuentra a una temperatura de entre 1000 y 2000 °C, lo que provoca la vaporización Yanfa del dispositivo, conocida como fuente de evaporación. Existen diversos tipos de fuentes de evaporación, y la vaporización de materiales de membrana por fuente de ajo se basa en diferentes principios. Sin embargo, en cuanto a sus características de aplicación, en el diseño o la aplicación, se deben considerar principalmente los siguientes aspectos:

大图

① La fuente de evaporación debe cumplir con la evaporación del material de la membrana con una gran tasa de evaporación y puede almacenar una cantidad suficiente de material de membrana;

② La fuente de evaporación debe tener una vida útil mejor y más larga;

③ La fuente de evaporación debe utilizarse en una amplia gama de evaporación tanto de metales o aleaciones (como Al, Ti, Fe, Co, Cr) como de compuestos (por ejemplo, SiO, SiO2, Zns, etc.);

4. La fuente de evaporación debe procurar tener una estructura simple, ser fácil de fabricar, fácil de usar y mantener, y económica de operar.

–Este artículo es publicado porfabricante de máquinas de recubrimiento al vacíoGuangdong Zhenhua


Hora de publicación: 23 de febrero de 2024