Angesichts der rasant steigenden Marktnachfrage nach verbesserten Eigenschaften wie Verschleißfestigkeit, Schmierfähigkeit und Korrosionsbeständigkeit von Hartstoffbeschichtungen hat sich die kathodische Lichtbogen-Magnetfiltrations-Ionenbeschichtungsanlage zu einem wichtigen Technologieträger entwickelt. Die Anlage nutzt den weit verbreiteten und effektiven 90°-Kreisfilter mit Magnetabscheider, der große Partikel zuverlässig entfernt und so die Vorteile der kathodischen Lichtbogen-Ionenbeschichtungstechnologie voll ausschöpft. Besonders bei der Herstellung von DLC-Superhartstoffbeschichtungen, insbesondere von Ta-C-Beschichtungen mit ihren hervorragenden physikalischen und chemischen Eigenschaften wie hoher Härte, niedrigem Reibungskoeffizienten, Wärmeleitfähigkeit, Isolationsfähigkeit, UV-Absorption, Strahlungsbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit, sind die Vorteile dieser Technologie besonders ausgeprägt. Die durchschnittliche Härte von Ta-C-Beschichtungen kann bis zu 63 GPa erreichen.
Mit dem Gerät lassen sich Hybrid-Diamant-ähnliche Kohlenstoffbeschichtungen wie Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN aufbringen, die für Mikrobohren, Fräser, Gewindebohrer, stangenförmige Fräser, Autoteile, medizinische Geräte und andere Bereiche geeignet sind.
Ergebnisse der Laser-Raman-Spektroskopie, Raman-Spektrum der Cr-Übergangsschicht auf der Oberfläche von Schnellarbeitsstahl:

Probe 20210122, Gaußsche Anpassung der Raman-Testergebnisse (ID/IG=0,224, sp3-Gehalt ist hoch genug):

Laut den Ergebnissen der Härteprüfung mit dem Nano-Indentation-Instrument beträgt die durchschnittliche Härte der Probe 20210122 62,7 GPa:

| MFA0605 |
| φ600*H500(mm) |