எம்எஃப்ஏ0605

கடின பூச்சுகளின் தேய்மான எதிர்ப்பு, உயவு, அரிப்பு எதிர்ப்பு மற்றும் பிற பண்புகளை மேம்படுத்துவதற்கான சந்தை தேவையின் விரைவான வளர்ச்சியுடன், கத்தோடிக் ஆர்க் காந்த வடிகட்டுதல் அயன் பூச்சு உபகரணங்கள் ஒரு சிறப்பம்சமாக மாறியுள்ளன. இந்த உபகரணங்கள் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மற்றும் பயனுள்ள 90 டிகிரி முழங்கை வட்டப் பிரிவு காந்த வடிகட்டி சாதனத்தை ஏற்றுக்கொள்கின்றன, இது பெரிய துகள்களை திறம்பட அகற்ற முடியும், இதனால் கத்தோடிக் ஆர்க் அயன் பூச்சு தொழில்நுட்பத்தின் நன்மைகளுக்கு முழு பங்களிப்பை அளிக்கிறது. DLC சூப்பர்ஹார்ட் பூச்சுகளைத் தயாரிக்கும் துறையில், குறிப்பாக அதிக கடினத்தன்மை, குறைந்த உராய்வு குணகம், வெப்ப கடத்தல், காப்பு, UV உறிஞ்சுதல், கதிர்வீச்சு சேத எதிர்ப்பு, அரிப்பு எதிர்ப்பு போன்ற பல சிறந்த இயற்பியல் மற்றும் வேதியியல் பண்புகளைக் கொண்ட Ta-C பூச்சுகளைத் தயாரிக்கும் துறையில், நன்மைகள் குறிப்பாக குறிப்பிடத்தக்கவை. Ta-C பூச்சுகளின் சராசரி கடினத்தன்மை சுமார் 63GPa வரை அடையலாம்.
இந்த உபகரணத்தில் Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN போன்ற கலப்பின வைரம் போன்ற கார்பன் பூச்சுகளை டெபாசிட் செய்யலாம், இது மைக்ரோ டிரில்லிங், மில்லிங் கட்டர்கள், குழாய்கள், தடி வடிவ கட்டர்கள், ஆட்டோ பாகங்கள், மருத்துவ சாதனங்கள் மற்றும் பிற துறைகளுக்கு ஏற்றது.
லேசர் ராமன் நிறமாலை சோதனை முடிவுகள், அதிவேக எஃகு மேற்பரப்பில் Cr மாற்றம் அடுக்கின் ராமன் நிறமாலை:

மாதிரி 20210122, ராமன் சோதனை முடிவுகளின் காஸியன் பொருத்துதல் (ID/IG=0.224, sp3 உள்ளடக்கம் போதுமான அளவு அதிகமாக உள்ளது):

நானோ உள்தள்ளல் கருவியின் கடினத்தன்மை சோதனை முடிவுகளின்படி, மாதிரி 20210122 இன் சராசரி கடினத்தன்மை 62.7GPa ஆகும்: