MFA0605

Với sự tăng trưởng nhanh chóng của nhu cầu thị trường về việc cải thiện khả năng chống mài mòn, bôi trơn, chống ăn mòn và các đặc tính khác của lớp phủ cứng, thiết bị phủ ion lọc từ hồ quang catốt đã trở thành một điểm nhấn. Thiết bị này sử dụng thiết bị lọc từ hình khuỷu 90 độ tiết diện tròn thông dụng và hiệu quả nhất, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt lớn, từ đó phát huy tối đa ưu điểm của công nghệ phủ ion hồ quang catốt. Trong lĩnh vực chế tạo lớp phủ siêu cứng DLC, đặc biệt là trong lĩnh vực chế tạo lớp phủ Ta-C với nhiều đặc tính vật lý và hóa học tuyệt vời, chẳng hạn như độ cứng cao, hệ số ma sát thấp, dẫn nhiệt, cách điện, hấp thụ tia UV, khả năng chống hư hại do bức xạ, chống ăn mòn, v.v., ưu điểm của lớp phủ Ta-C đặc biệt đáng kể. Độ cứng trung bình của lớp phủ Ta-C có thể đạt tới khoảng 63GPa.
Thiết bị này có thể phủ các lớp phủ cacbon giống kim cương lai như Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, phù hợp cho khoan siêu nhỏ, dao phay, mũi taro, dao cắt dạng thanh, phụ tùng ô tô, thiết bị y tế và các lĩnh vực khác.
Kết quả kiểm tra phổ Raman bằng laser, phổ Raman của lớp chuyển tiếp Cr trên bề mặt thép tốc độ cao:

Mẫu 20210122, khớp Gaussian với kết quả kiểm tra Raman (ID/IG=0,224, hàm lượng sp3 đủ cao):

Theo kết quả kiểm tra độ cứng bằng thiết bị đo độ cứng nano, độ cứng trung bình của mẫu 20210122 là 62,7 GPa: