Бо афзоиши босуръати талаботи бозор барои беҳтар кардани муқовимат ба фарсудашавӣ, молиданӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва дигар хосиятҳои рӯйпӯшҳои сахт, таҷҳизоти рӯйпӯши ионҳои филтратсияи катодикии катодӣ табдил ёфт. Таҷҳизот дастгоҳи филтри магнитии даврашаклии 90 дараҷа маъмултарин ва самаранокро қабул мекунад, ки метавонад зарраҳои калонро самаранок тоза кунад, то бартариҳои технологияи пӯшиши катодикии камонро пурра бозӣ кунад. Дар соҳаи тайёр кардани рӯйпӯшҳои хеле сахти DLC, махсусан дар соҳаи тайёр кардани рӯйпӯшҳои Ta-C бо бисёр хосиятҳои хуби физикӣ ва химиявӣ, аз қабили сахтии баланд, коэффисиенти паст, гармӣ, изолятсия, азхудкунии ултрабунафш, муқовимат ба зарари радиатсионӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва ғайра, афзалиятҳо махсусан назаррасанд. Сахтии миёнаи қабатҳои Ta-C метавонад тақрибан ба 63GPa мерасад.
Таҷҳизот метавонад пӯшишҳои карбонии гибридии ба алмос монандро ба монанди Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN гузорад, ки барои пармакунии микро, фрезерҳо, кранҳо, буришҳои асошакл, қисмҳои автомобилӣ, дастгоҳҳои тиббӣ ва дигар соҳаҳо мувофиқ аст.
Натиҷаҳои санҷиши спектри лазерии Раман, спектри Рамани қабати гузариши Cr дар рӯи пӯлоди баландсуръат:
Намунаи 20210122, мувофиқати Gaussian натиҷаҳои санҷиши Раман (ID/IG = 0.224, мундариҷаи sp3 кофӣ баланд аст):
Мувофиқи натиҷаҳои санҷиши сахтии асбоби Nano indentation, сахтии миёнаи намунаи 20210122 62,7GPa аст:
MFA0605 |
φ600*H500(мм) |