MFA0605

Бо афзоиши босуръати талабот ба беҳтар кардани муқовимати фарсудашавӣ, равғанкунӣ, муқовимат ба зангзанӣ ва дигар хосиятҳои рӯйпӯшҳои сахт, таҷҳизоти рӯйпӯши ионии филтратсияи магнитии камони катодӣ ба як нуқтаи муҳим табдил ёфтааст. Таҷҳизот дастгоҳи филтри магнитии қисмати даврии оринҷи 90-дараҷаи маъмултарин ва самаранокро истифода мебарад, ки метавонад зарраҳои калонро самаранок тоза кунад, то бартариҳои технологияи рӯйпӯши ионии камони катодиро пурра истифода барад. Дар соҳаи тайёр кардани рӯйпӯшҳои суперсахт DLC, махсусан дар соҳаи тайёр кардани рӯйпӯшҳои Ta-C бо бисёр хосиятҳои аълои физикӣ ва химиявӣ, ба монанди сахтии баланд, коэффитсиенти соиш, гузариши гармӣ, изолятсия, ҷабби ултрабунафш, муқовимат ба зарари радиатсия, муқовимат ба зангзанӣ ва ғайра, бартариятҳо махсусан назаррасанд. Сахтии миёнаи рӯйпӯшҳои Ta-C метавонад то тақрибан 63 ГПа расад.
Таҷҳизот метавонад рӯйпӯшҳои карбонии гибридии алмосмонанд ба монанди Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN-ро ҷойгир кунад, ки барои пармакунии хурд, бурандаҳои фрезерӣ, кранҳо, бурандаҳои шакли чӯбӣ, қисмҳои автомобилӣ, дастгоҳҳои тиббӣ ва дигар соҳаҳо мувофиқ аст.
Натиҷаҳои озмоиши спектри Рамани лазерӣ, спектри Рамани қабати гузариши Cr дар сатҳи пӯлоди баландсуръат:

Намунаи 20210122, Мутобиқсозии Гауссии натиҷаҳои санҷиши Раман (ID/IG=0.224, миқдори sp3 ба қадри кофӣ баланд аст):

Мувофиқи натиҷаҳои санҷиши сахтии асбоби Nano indentation, сахтии миёнаи намунаи 20210122 62.7 ГПа аст: