MFA0605

Με την ταχεία ανάπτυξη της ζήτησης της αγοράς για τη βελτίωση της αντοχής στη φθορά, της λίπανσης, της αντοχής στη διάβρωση και άλλων ιδιοτήτων των σκληρών επιστρώσεων, ο εξοπλισμός επίστρωσης ιόντων με μαγνητική διήθηση καθοδικού τόξου έχει γίνει κορυφαίο σημείο.Ο εξοπλισμός υιοθετεί την πιο συχνά χρησιμοποιούμενη και αποτελεσματική συσκευή μαγνητικού φίλτρου κυκλικής διατομής 90 μοιρών, η οποία μπορεί να αφαιρέσει αποτελεσματικά μεγάλα σωματίδια, έτσι ώστε να δώσει πλήρη εφαρμογή στα πλεονεκτήματα της τεχνολογίας επίστρωσης ιόντων καθοδικού τόξου.Στον τομέα της παρασκευής υπερσκληρών επιστρώσεων DLC, ειδικά στον τομέα της παρασκευής επικαλύψεων Ta-C με πολλές εξαιρετικές φυσικές και χημικές ιδιότητες, όπως υψηλή σκληρότητα, χαμηλός συντελεστής τριβής, αγωγιμότητα θερμότητας, μόνωση, απορρόφηση υπεριώδους ακτινοβολίας, αντοχή στη φθορά από ακτινοβολία, αντοχή στη διάβρωση κ.λπ., τα πλεονεκτήματα είναι ιδιαίτερα σημαντικά.Η μέση σκληρότητα των επικαλύψεων Ta-C μπορεί να φτάσει μέχρι περίπου τα 63GPa.
Ο εξοπλισμός μπορεί να εναποθέσει υβριδικές επικαλύψεις άνθρακα που μοιάζουν με διαμάντια, όπως Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, που είναι κατάλληλο για μικρογεώτρηση, φρέζες, βρύσες, ραβδοειδείς κοπτήρες, ανταλλακτικά αυτοκινήτων, ιατρικές συσκευές και άλλα χωράφια.
Τα αποτελέσματα της δοκιμής φάσματος Raman λέιζερ, το φάσμα Raman του στρώματος μετάβασης Cr στην επιφάνεια του χάλυβα υψηλής ταχύτητας:

Δείγμα 20210122, Gaussian fitting των αποτελεσμάτων δοκιμής Raman (ID/IG=0,224, το περιεχόμενο sp3 είναι αρκετά υψηλό):

Σύμφωνα με τα αποτελέσματα της δοκιμής σκληρότητας του οργάνου εσοχής Nano, η μέση σκληρότητα του δείγματος 20210122 είναι 62,7 GPa: