MFA0605

Хатуу бүрхүүлийн элэгдэлд тэсвэртэй байдал, тосолгооны эсэргүүцэл, зэврэлтээс хамгаалах чадвар болон бусад шинж чанарыг сайжруулах зах зээлийн эрэлт хэрэгцээ хурдацтай өсч байгаатай холбогдуулан катодын нуман соронзон шүүлтүүрийн ион бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж онцлох зүйл болж байна. Төхөөрөмж нь хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг, үр дүнтэй 90 градусын тохойн дугуй хэлбэртэй соронзон шүүлтүүрийн төхөөрөмжийг ашигладаг бөгөөд энэ нь том тоосонцорыг үр дүнтэй арилгаж, катодын нуман ион бүрхүүлийн технологийн давуу талыг бүрэн ашиглах боломжтой. DLC хэт хатуу бүрхүүл бэлтгэх салбарт, ялангуяа өндөр хатуулаг, бага үрэлтийн коэффициент, дулаан дамжуулалт, дулаалга, хэт ягаан туяаны шингээлт, цацрагийн гэмтлийн эсэргүүцэл, зэврэлтээс хамгаалах чадвар гэх мэт олон маш сайн физик, химийн шинж чанартай Ta-C бүрхүүл бэлтгэх салбарт давуу талууд нь онцгой ач холбогдолтой юм. Ta-C бүрхүүлийн дундаж хатуулаг нь ойролцоогоор 63 ГПа хүрч болно.
Тоног төхөөрөмж нь Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN зэрэг эрлийз алмазан төст нүүрстөрөгчийн бүрхүүлийг түрхэж болох бөгөөд энэ нь бичил өрөмдлөг, фрезерийн зүсэгч, цорго, саваа хэлбэртэй зүсэгч, автомашины сэлбэг хэрэгсэл, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад салбарт тохиромжтой.
Лазерын Раманы спектрийн туршилтын үр дүн, өндөр хурдтай гангийн гадаргуу дээрх Cr шилжилтийн давхаргын Раманы спектр:

20210122 дээж, Раманы туршилтын үр дүнгийн Гауссын тохируулга (ID/IG=0.224, sp3 агууламж хангалттай өндөр):

Нано indentation багажны хатуулгийн туршилтын үр дүнгээс харахад 20210122 дээжийн дундаж хатуулаг нь 62.7 ГПа байна: