MFA0605

Хатуу бүрхүүлийн элэгдэлд тэсвэртэй, тосолгооны материал, зэврэлтэнд тэсвэртэй байдал болон бусад шинж чанарыг сайжруулах зах зээлийн эрэлт хэрэгцээ хурдацтай өсч байгаа тул катод нуман соронзон шүүлтүүрийн ион бүрэх төхөөрөмж нь онцлох зүйл болжээ.Тоног төхөөрөмж нь хамгийн өргөн хэрэглэгддэг, үр дүнтэй 90 градусын тохой дугуй хэлбэртэй соронзон шүүлтүүр төхөөрөмжийг ашигладаг бөгөөд энэ нь том тоосонцорыг үр дүнтэй арилгаж, катодын нуман ион бүрэх технологийн давуу талыг бүрэн дүүрэн ашиглах боломжийг олгодог.DLC супер хатуу бүрээс бэлтгэх чиглэлээр, ялангуяа өндөр хатуулаг, үрэлтийн бага коэффициент, дулаан дамжуулалт, тусгаарлагч, хэт ягаан туяа шингээх, цацрагийн эвдрэлд тэсвэртэй, зэврэлтэнд тэсвэртэй гэх мэт физик, химийн олон шинж чанартай Ta-C бүрээсийг бэлтгэх чиглэлээр гэх мэт давуу тал нь онцгой ач холбогдолтой юм.Ta-C бүрхүүлийн дундаж хатуулаг нь ойролцоогоор 63GPa хүрдэг.
Энэхүү төхөөрөмж нь бичил өрөмдлөг, тээрэмдэх таслагч, цорго, саваа хэлбэртэй зүсэгч, автомашины эд анги, эмнэлгийн хэрэгсэл болон бусад ажилд тохиромжтой Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN зэрэг эрлийз алмаз шиг нүүрстөрөгчийн бүрээсийг хуримтлуулах боломжтой. талбайнууд.
Лазер Раман спектрийн туршилтын үр дүн, өндөр хурдны гангийн гадаргуу дээрх Cr шилжилтийн давхаргын Раман спектр:

Загвар 20210122, Раманы туршилтын үр дүнгийн Гауссын тохируулга (ID/IG=0.224, sp3 агууламж хангалттай өндөр):

Нано доголын хэрэгслийн хатуулгийн туршилтын үр дүнгээс үзэхэд 20210122 дээжийн дундаж хатуулаг нь 62.7GPa байна: