Große horizontale Produktionslinie für Magnetron-Sputterbeschichtungen
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PRODUKTBESCHREIBUNG
Die große horizontale Magnetron-Sputter-Beschichtungsanlage ist eine große, kontinuierliche Planar-Magnetron-Sputter-Produktionsanlage. Sie ist modular aufgebaut und ermöglicht so zukünftige Erweiterungen und Modernisierungen. Ausgestattet mit mehreren Gruppen großer Magnetronkathoden ermöglicht sie die Kombination mehrerer Membranstrukturen. Die vollautomatische Steuerung und das hochstabile Übertragungssystem, das nahtlos mit dem Manipulator verbunden werden kann, ermöglichen einen kontinuierlichen und stabilen Fließbandbetrieb. Hohe Produktionsgeschwindigkeit und große Produktionskapazität.
Die Beschichtungslinie eignet sich zum Beschichten von ITO, AZO, TCO und anderen transparenten leitfähigen Filmen sowie der elementaren Metalle Ti, Ag, Cu, Al, Cr, Ni und anderen Materialien. Sie wird hauptsächlich für Smart-Home-Panels, Displays, Touchscreens, Fahrzeugglas, Photovoltaikmodule und andere Produkte verwendet.
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