في حالة الفراغ، تُوضع قطعة العمل على كاثود تفريغ التوهج منخفض الضغط، ويُحقن الغاز المناسب. عند درجة حرارة معينة، يُغطى سطح قطعة العمل بطبقة من الطلاء باستخدام عملية بلمرة التأين التي تجمع بين التفاعل الكيميائي والبلازما، بينما تُمتص المواد الغازية على سطح قطعة العمل وتتفاعل مع بعضها البعض، ويتشكل في النهاية غشاء صلب ويرسب على سطح قطعة العمل.
المميزات:
1. تشكيل الفيلم بدرجة حرارة منخفضة، حيث يكون لدرجة الحرارة تأثير ضئيل على قطعة العمل، مما يتجنب الحبوب الخشنة لتشكيل الفيلم بدرجة حرارة عالية، كما أن طبقة الفيلم ليست سهلة السقوط.
2. يمكن طلائها بغشاء سميك، ذو تركيبة موحدة، وتأثير حاجز جيد، واكتناز، وإجهاد داخلي صغير، وليس من السهل إنتاج شقوق دقيقة.
3. يتمتع عمل البلازما بتأثير تنظيفي، مما يزيد من التصاق الفيلم.
تُستخدم هذه المعدات بشكل رئيسي في طلاء حاجز SiOx عالي المقاومة على مواد PET وPA وPP وغيرها من مواد الأغشية. وقد استُخدمت على نطاق واسع في تغليف المنتجات الطبية والصيدلانية، والمكونات الإلكترونية، وتغليف المواد الغذائية، بالإضافة إلى عبوات المشروبات والأطعمة الدهنية والزيوت الصالحة للأكل. يتميز الغشاء بخصائص حاجزة ممتازة، وتكيف مع الظروف البيئية، ونفاذية عالية للموجات الدقيقة، وشفافية عالية، كما أنه لا يتأثر بالرطوبة البيئية وتغيرات درجة الحرارة. ويحل هذا الغشاء مشكلة الآثار الصحية المحتملة لمواد التغليف التقليدية.
| نماذج اختيارية | حجم المعدات (العرض) |
| آر بي دبليو 1250 | 1250 (مم) |