في عملية التبخير الفراغي والأيون الفراغي، تكون مادة الغشاء في درجة حرارة عالية تتراوح بين 1000 و2000 درجة مئوية، مما يُمكّن من تبخير جهاز Yanfa، المعروف باسم مصدر التبخير. تختلف أنواع مصادر التبخير، ومبادئ تبخير مواد الغشاء بشعر الثوم. ومع ذلك، عند تصميم أو تطبيق مواد الغشاء، يجب مراعاة الجوانب التالية بشكل رئيسي:
① يجب أن يلبي مصدر التبخر معدل تبخر مادة الغشاء بمعدل كبير، ويمكنه تخزين عدد كافٍ من مادة الغشاء؛
② يجب أن يتمتع مصدر التبخر بعمر خدمة أفضل وأطول؛
③ يجب استخدام مصدر التبخر في مجموعة واسعة من عمليات تبخر المعادن أو السبائك (مثل Al و Ti و Fe و Co و Cr) وكذلك المركبات (مثل SiO و SiO2 و Zns وما إلى ذلك)؛
④ ينبغي أن يسعى مصدر التبخر إلى أن يكون بسيطًا في البنية، وسهل التصنيع، وسهل الاستخدام والصيانة، وغير مكلف في التشغيل.
-تم نشر هذه المقالة بواسطةمُصنِّع آلات طلاء الفراغقوانغدونغ تشنهوا
وقت النشر: ٢٣ فبراير ٢٠٢٤