Ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum ti di iṣẹ́ pàtàkì ní onírúurú ilé iṣẹ́ láti ẹ̀rọ itanna sí àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra. Ọ̀nà ìfọ́mọ́ra yìí ń jẹ́ kí àwọn fíìmù tín-tín wà lórí onírúurú ohun èlò, èyí tí ó ń mú kí àwọn ohun èlò àti ojú iṣẹ́ sunwọ̀n sí i. Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum ní ọ̀pọ̀lọpọ̀ ohun èlò tí ó sì ní agbára ńlá láti yí ọ̀pọ̀lọpọ̀ àwọn pápá iṣẹ́ padà. Nínú ìwé ìròyìn yìí, a ṣe àwárí ìlọsíwájú tí a ṣe ní pápá yìí àti jíròrò àwọn àǹfààní ọjọ́ iwájú rẹ̀.
Ọ̀kan lára àwọn àǹfààní pàtàkì ti ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum ni agbára rẹ̀ láti mú iṣẹ́ àwọn ẹ̀rọ itanna sunwọ̀n síi. Nípa fífi àwọn fíìmù tín-tín ti àwọn ohun èlò pàtó sí orí àwọn ohun èlò itanna, àwọn olùpèsè lè mú kí agbára ìṣiṣẹ́ wọn sunwọ̀n síi, agbára ìdènà àti agbára wọn sunwọ̀n síi. Èyí ṣe àǹfààní pàtàkì fún iṣẹ́ àwọn semiconductors, àwọn sẹ́ẹ̀lì oòrùn àti àwọn ìfihàn flat panel níbi tí ìṣe déédé gíga àti iṣẹ́ ṣe pàtàkì. Àwọn ọ̀nà ìfọ́mọ́ra vacuum lè fi àwọn fíìmù wọ̀nyí sí ipò gíga, kí ó lè rí i dájú pé iṣẹ́ ẹ̀rọ náà dára jùlọ.
Ni afikun, fifa omi kuro tun ni awọn ohun elo pataki ni aaye ti awọn opitika. Nipa lilo imọ-ẹrọ yii lati fi awọn fiimu tinrin bo awọn ẹya opitika, awọn aṣelọpọ le ṣakoso iyipada, gbigba ati gbigbe ina. Eyi ṣii ọna fun idagbasoke awọn awọ opitika ti o ti ni ilọsiwaju ti a lo ninu awọn nẹtiwọọki ibaraẹnisọrọ, awọn lẹnsi kamẹra ati awọn awọ ti ko ni afihan fun awọn gilaasi oju. Agbara ti imọ-ẹrọ fifa omi kuro gba laaye iṣelọpọ awọn awọ wọnyi pẹlu sisanra deede ati akopọ fun awọn ohun-ini opitika ti o ga julọ.
Ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum ti rí àwọn ìlọsíwájú pàtàkì ní àwọn ọdún àìpẹ́ yìí. Ọ̀kan lára irú ìlọsíwájú bẹ́ẹ̀ ni ìdàgbàsókè magnetron sputtering, èyí tí ó ń lo àwọn pápá magnetic láti mú kí iṣẹ́ ìfipamọ́ náà sunwọ̀n síi àti dídára. Nípa lílo magnetrons, àwọn olùṣelọpọ lè ṣe àṣeyọrí ìwọ̀n sputtering gíga, dín ìbàjẹ́ pàtákì kù àti mú kí fíìmù dìpọ̀ síi. Ìṣẹ̀dá tuntun yìí ti ṣe àfikún púpọ̀ sí gbígba ìmọ̀ ẹ̀rọ sputtering vacuum káàkiri ní onírúurú ilé iṣẹ́.
Síwájú sí i, ìṣọ̀kan àwọn ètò ìdámọ̀ àti ìṣàkóso ti yí ìyípadà padà sí ìlànà ìfọ́mọ́ra afẹ́fẹ́. Àwọn ètò ìfọ́mọ́ra afẹ́fẹ́ òde òní ní àwọn sensọ̀ tó ti ní ìlọsíwájú, àwọn àbójútó àti àwọn ọ̀nà ìdáhùn tí ó gba ìṣàkóso àti ìṣirò àkókò gidi láàyè. Èyí kìí ṣe pé ó ń mú kí ìgbẹ́kẹ̀lé àti àtúnṣe ìlànà ìfipamọ́ pọ̀ sí i nìkan ni, ṣùgbọ́n ó tún ń dín ìfọ́mọ́ra ohun èlò àti àkókò ìsinmi kù. Wíwá ọgbọ́n àtọwọ́dá àti ẹ̀kọ́ ẹ̀rọ ti mú kí àwọn ìlọsíwájú wọ̀nyí yára sí i, ó sì ń jẹ́ kí ìtọ́jú àsọtẹ́lẹ̀ àti ìṣàkóso ìlànà ọlọ́gbọ́n ṣeé ṣe.
Ní wíwo ọjọ́ iwájú, àwọn ìfojúsùn fún ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra aláìléwu ti tàn yanranyanran. Pẹ̀lú bí ìbéèrè fún àwọn ẹ̀rọ itanna tó ń ṣiṣẹ́ dáadáa àti àwọn ètò opitika tó ti ní ìlọsíwájú ṣe ń pọ̀ sí i, a nílò àwọn ìṣẹ̀dá tuntun ní ẹ̀ka yìí. Àwọn olùwádìí ń ṣe àwárí àwọn ohun èlò àti ọ̀nà tuntun láti fẹ̀ síi àwọn ọ̀nà ìfọ́mọ́ra aláìléwu. Fún àpẹẹrẹ, lílo àwọn gáàsì aṣekára nígbà ìfipamọ́ lè mú àwọn fíìmù aláwọ̀ tín-tín ti àwọn èròjà pẹ̀lú àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀ jáde, èyí sì ń ṣí àwọn àǹfààní tuntun sílẹ̀ ní àwọn ẹ̀ka bíi catalysis àti storage energy.
Ní ìparí, ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum ti di ohun tó ń yí àwọn nǹkan padà ní onírúurú ilé iṣẹ́. Agbára rẹ̀ láti fi àwọn fíìmù tín-tín síta pẹ̀lú ìpele àti ìṣàkóso ti yí ìyípadà padà nínú iṣẹ́ ẹ̀rọ itanna àti àwọn ohun èlò ìfọ́mọ́ra. Pẹ̀lú àwọn ìlọsíwájú bíi magnetron sputtering àti adaṣiṣẹ, ìmọ̀ ẹ̀rọ náà ti di èyí tó gbéṣẹ́ jù àti èyí tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé. Ní wíwo ọjọ́ iwájú, ọjọ́ iwájú vacuum sputtering ní agbára ńlá bí àwọn olùwádìí ṣe ń tẹ̀síwájú láti ṣe àwárí àwọn ohun èlò àti ìmọ̀ ẹ̀rọ tuntun. Bí àwọn ilé iṣẹ́ ṣe ń gbìyànjú láti wá àwọn ojútùú tó ga jùlọ àti tó ṣeé gbẹ́kẹ̀lé, dájúdájú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìfọ́mọ́ra vacuum yóò kó ipa pàtàkì nínú ṣíṣe ọjọ́ iwájú.
——A gbé àpilẹ̀kọ yìí jáde láti ọwọ́ àwọn olùgbékalẹ̀ rẹ̀ẹrọ fifọ ideri igbaleGuangdong Zhenhua
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Kẹjọ-25-2023