Нечкә пленка куллану үсеш алган саен, бер каплау катламы оптик эшчәнлек, электр үткәрүчәнлеге, тузуга чыдамлык, коррозиягә чыдамлык, әйләнә-тирә мохит тотрыклылыгы, өслек энергиясе һәм декоратив тышкы кыяфәтнең берләштерелгән таләпләрен канәгатьләндерү өчен еш кына җитми. Күп кенә алдынгы продуктларда кирәкле эшчәнлеккә күп катламлы пленка катламы аша ирешелә, анда һәр катлам билгеле бер функция башкара һәм аның өстендәге һәм астындагы катламнар белән үзара бәйләнештә була.
Гадәти структураларга адгезия катламы, металлик яки диэлектрик функциональ катлам, оптик көйләү катламы, диффузия киртәсе, каты саклагыч катлам һәм түбән өслек энергиясе булган өслек катламы керергә мөмкин. Оптик кушымталарда, үткәрүчәнлекне, чагылышны, төсне һәм спектраль җавапны контрольдә тоту өчен югары һәм түбән сыну индексы булган материалларны чиратлаштырып кулланырга мөмкин. Электрон һәм фотоэлектрик кушымталарда үтә күренмәле үткәргеч оксидларны, металл электродларны, буфер катламнарын һәм киртә катламнарын эзлекле рәвештә урнаштырырга кирәк булырга мөмкин. Автомобиль һәм кулланучы электроникасы кушымталарында металллаштырылган катламнарны саклагыч капламалар, үткәргеч булмаган вакуум металлизация катламнары, алмазсыман углерод капламалары яки бармак эзләренә каршы катламнар белән берләштерергә мөмкин.
Бу күп катламлы системаларның эшләве һәр аерым материалны уңышлы урнаштыру мөмкинлегенә генә бәйле түгел. Бу бөтен вакуум каплау системасының вакуум шартларын, урнаштыру чыганакларын, эшкәртү газларын, субстрат хәрәкәтен, температураны, көчәнеш көчәнешен, пленка калынлыгын күзәтүне һәм катлам күчү вакытын тулы каплау циклы дәвамында координацияли алуына бәйле.
Шуңа күрә күп катламлы функциональ пленка урнаштыруны берничә бер катламлы процессның гади кабатлануы дип аңларга ярамый. Бу - җиһазларны төгәл координацияләүгә нигезләнгән система дәрәҗәсендәге җитештерү бурычы.
Пленка өеме өзлексез процесс буларак каралырга тиеш
Күп катламлы каплауда бер катламның тәмамлануы шулай ук икенче катламның башлангыч шарты булып тора. Өслек составы, тигезсезлек, температура, калдык көчәнеш, адсорбцияләнгән газ, плазмага дучар булу һәм чик пычрануы - болар барысы да киләсе катламның барлыкка килүенә һәм үсешенә тәэсир итә ала.
Үзенең аерым калынлыгына яки состав максатына туры килгән катлам, пленканың тулы катламы өчен проблемалар тудырырга мөмкин. Тыгыз функциональ катламны урнаштыру вакытында артык ион бомбага тоту кысу көчәнешен арттырырга мөмкин. Ике катлам арасында озак көтү вакыты калдык газларның өслеккә адсорбцияләнүенә мөмкинлек бирергә мөмкин. Реактив газларны дөрес кулланмау үзара пычрануга яки тотрыксыз кушылмалар барлыкка килүгә китерергә мөмкин. Субстратны артык җылыту бер катламның тыгызлыгын арттырырга, шул ук вакытта субстратның җылылык чыдамлыгын арттырырга яки элек урнаштырылган катламнарны бозарга мөмкин.
Шуңа күрә контроль системасы пленка катламын бәйсез урнаштыру адымнары җыелмасы буларак түгел, ә бер өзлексез процесс буларак идарә итәргә тиеш. Һәр катламның ачык билгеләнгән керү шартлары, урнаштыру шартлары, тәмамлану критерийлары һәм күчү шартлары булырга тиеш.
Киләсе катлам башланганчы, җиһазларга камера басымы, калдык газ дәрәҗәсе, субстрат температурасы, максатчан статус, газ составы, электр белән тәэмин итү торышы һәм субстрат позициясе билгеләнгән процесс тәрәзәсенә җиткәнен расларга кирәк булырга мөмкин. Бу шартлы башкару логикасы катламнарны билгеләнгән вакыт эзлеклелеге буенча гына алыштыруга караганда ышанычлырак.
Катлаулы стеклар өчен, процесс рецептларында шулай ук плазма чистарту, ионнарны активлаштыру, газны чистарту, чыганакны экранлаштыру, затворны алыштыру, көчне арттыру, субстратны суыту яки контрольдә тотылган көтү кебек катламара операцияләр булырга тиеш. Бу күчеш операцияләре каплау процессының мөһим өлешләре булып тора, чөнки алар интерфейс адгезиясенә, химик составка, тупаслык таралуына һәм калдык көчәнешкә турыдан-туры тәэсир итә.
Вакуум-система координациясе гомуми процесс нигезен билгели
Күп катламлы структурадагы барлык катламнар да бер үк вакуум мохитен уртаклаша, ләкин төрле материаллар һәм утырту процесслары төрле эш басымын, газ составын, насос тизлеген һәм пычрануны контрольдә тоту стратегияләрен таләп итә ала.
Вакуум системасы, утырту башланганчы, җитәрлек дәрәҗәдә чиста һәм тотрыклы нигез басымын тәэмин итәргә тиеш. Су пары, кислород, углеводородлар һәм калдык процесс газлары пленканың сафлыгына, адгезиясенә, оптик абсорбциясенә, электр каршылыгына һәм интерфейс тотрыклылыгына тәэсир итә ала. Дымга яки кислородка сизгер катламнар өчен, калдык газ составындагы кечкенә үзгәреш тә катламның соңгы үзлекләрен үзгәртергә мөмкин.
Шулай да, камерадагы мөмкин кадәр түбән басым һәрвакыт бердәнбер максат түгел. Чүпләү вакытында система газ керүе һәм нәтиҗәле суырту тизлеге арасында дөрес динамик балансны сакларга тиеш. Басым контроле клапаны, вакуум насослары, масса агымы контроллерлары, газ бүлү системасы һәм камера үткәрүчәнлеге һәр катламда тотрыклы процесс басымын саклап калу өчен бергә эшләргә тиеш.
Процесс металл сиптерүдән реактив сиптерүгә, яки аргон плазмасын чистартудан кислород яки азот ярдәмендә утыртуга күчкәндә, камера атмосферасын шунда ук алыштырып булмый. Идарә итү системасы газның тору вакытын, стена адсорбциясен, максат реакциясен һәм насос системасының җавап үзенчәлекләрен исәпкә алырга тиеш. Начар контрольдә тотылган күчү киләсе катламның башы тотрыксыз газ составы астында утыруга китерергә мөмкин.
Бу мәсьәлә, бигрәк тә, реактив магнетрон сиптерүдә бик мөһим. Реактив сиптерү системалары реактив газ агымы, максат өслеге торышы, разряд көчәнеше, утыру тизлеге һәм пленка стехиометриясе арасында сызыклы булмаган бәйләнеш күрсәтергә мөмкин. Металл һәм агуланган максат халәтләре арасындагы күчеш янында эшләү тиешле кире элемтә контроле булмаганда тотрыксыз булырга мөмкин. Шуңа күрә процессны тотрыклыландыру өчен өлешчә басым мониторингы, плазма-эмиссия мониторингы, максат-көчәнеш кире элемтәсе һәм югары җаваплы масса агымын көйләү берләштерелергә мөмкин.
Күп камералы яки линия эчендәге каплау системаларында вакуум координациясе шулай ук янәшә урнашкан процесс зоналары арасындагы басым изоляциясен дә үз эченә ала. Йөкләү-блокировка камералары, буфер камералары, күчерү камералары, ярык клапаннары, дифференциаль насос секцияләре һәм газ аеру конструкцияләре үзара пычрануны киметә һәм төрле катламнарның бәйсез атмосфера астында урнашуына мөмкинлек бирә ала.
Рулоннан рулонга һәм өзлексез линия эчендәге системалар өчен, күрше каплау зоналарында төрле металлик, диэлектрик яки реактив процесслар булырга мөмкин. Бер процесс участогының икенчесенә тәэсир итүен булдырмас өчен, газны аеру, контрольдә тотылган насослау, субстрат температурасын идарә итү һәм урын эчендә үлчәү бергә эшләргә тиеш.
Чыганаклар, электр белән тәэмин итү һәм газ белән тәэмин итү бердәм система буларак эшләргә тиеш
Күп катламлы функциональ пленкалар бер үк җиһаз платформасында берничә урнаштыру технологиясен таләп итәргә мөмкин. Кулланылышка карап, система даими ток сибү, импульслы даими ток сибү, урта ешлыклы сибү, радиоешлыклы сибү, HiPIMS, термик парга әйләндерү, электрон-нур парга әйләндерү, ион ярдәмендә урнаштыру, PECVD яки киңлек ALDны берләштерә ала.
Һәр чыганакның үз ялкынлану үзенчәлекләре, көч реакциясе, утыру тизлеге, җылылык йөкләмәсе, плазма бүленеше һәм материал куллану схемасы бар. Тотрыклы күп катламлы җитештерү күпме чыганак урнаштырылганлыгына гына түгел, ә бу чыганакларның ничек координацияләнүенә бәйле.
Максат продуктны урнаштыру өчен кулланылганчы, системага капкач ябык булганда алдан сиптерү яки максатны кондицияләү кирәк булырга мөмкин. Бу өслек пычрануын бетерә һәм максат көчәнешен, разряд тогын һәм урнаштыру тизлеген тотрыклыландыра. Бер материалдан икенчесенә күчкәндә, чыганак калканы, капкач позициясе, газ составы, көч рампасы һәм субстрат позициясе дөрес тәртиптә башкарылырга тиеш.
Электр белән тәэмин итү җайланмаларын һәрвакыт нульдән соңгы билгеләнгән ноктага турыдан-туры күчерергә ярамый. Контрольләнгән көчәйтү һәм киметү эзлеклелеге аномаль разрядны, кисәкчәләр барлыкка килүен, җылылык шокын һәм дуга вакыйгаларын киметергә мөмкин. Реактив процесслар өчен, максатны тотрыксыз эш өлкәсенә тиз күчермәс өчен, көч көйләү шулай ук газ агымы һәм насослау реакциясе белән координацияләнергә тиеш.
Гибрид урнаштыру системасында координация тагын да мөһимрәк була. Мәсәлән, металл катлам даими ток магнетрон сиптерүе белән урнаштырылырга мөмкин, ә диэлектрик катлам импульслы даими ток, урта ешлык яки RF кузгатуын таләп итә. Соңрак PECVD ярдәмендә саклагыч полимерга охшаган катлам урнаштырылырга мөмкин. Процесс контроллеры бер рецепт эчендә төрле көч архитектураларын, туры килүче челтәрләрне, газ җибәрү каналларын, плазма кабыну шартларын һәм куркынычсызлык блоклауларын идарә итәргә тиеш.
Җиһазлар шулай ук көтелмәгән чыганак үзара тәэсирен булдырмаска тиеш. Бер үк вакытта эшли торган катодлар плазма тыгызлыгына, камера потенциалына, реактив газ куллануга һәм җирле субстрат җылытуына тәэсир итә ала. Бергәләп утырту өчен берничә чыганак кулланылса, составны контрольдә тоту аларның аерым утырту тизлекләре арасындагы тотрыклы нисбәткә бәйле. Моның өчен бәйсез көч кире элемтәсе, калибрланган утырту тизлеге модельләре яки ябык цикл составын күзәтү кирәк булырга мөмкин.
Газ бүлү проекты да шулай ук мөһим. Газның гомуми агымы гына пленканың бер төрлелеген яки стехиометриясен билгеләми. Газ керү урыннарының, насос портларының, катодларның, субстрат йөртүчеләрнең һәм камера калканнарының урнашуы җирле газ концентрациясен һәм плазма мохитен билгели. Шуңа күрә җиһазларны контрольдә тоту стратегиясе механик проект тәмамланганнан соң өстәлмичә, камера структурасы һәм чыганак схемасы белән бергә эшләнергә тиеш.
Субстрат хәрәкәте бердәмлекне, катлам калынлыгын һәм җылылык йөкләмәсен координатлый
Субстрат-хәрәкәт системасы күп катламлы утырманың үзәк өлеше булып тора, чөнки ул һәр өслек өлкәсенең утырма агымына, плазмага, җылылыкка һәм реактив газ мохитенә ничек дучар булуын билгели.
Партияле каплау җиһазларында, яссы, кәкре яки өч үлчәмле эш кисәкләрендә каплауның бер төрлелеген яхшырту өчен, субстрат әйләнеше, әйләнү, планета хәрәкәте, тирбәнеш яки күп күчәрле хәрәкәт кулланылырга мөмкин. Өзлексез системаларда, транспорт тизлеге һәм процесс зоналары арасындагы синхронлаштыру турыдан-туры утырту вакытын һәм тупланган катлам калынлыгын билгели.
Хәрәкәт стратегиясен һәр катлам өчен аерым эшләп булмый. Металл катлам өчен яраклы тизлек яки траектория төрле утырма бүленеше булган диэлектрик катлам өчен оптималь булмаска мөмкин. Шулай ук, планета әйләнү коэффициентының даими булуы катлаулы өч үлчәмле өлешләрдә төрле плазма экспозициясе тарихларын булдырган вакытта яхшы уртача калынлык бердәмлеген тәэмин итә ала.
Контроллер субстрат позициясен чыганак көче, каплау халәте, газ агымы һәм катламның оч ноктасы белән координацияләргә тиеш. Каплау субстрат йөртүчесе билгеләнгән каплау зонасына кергәч һәм тотрыклы хәрәкәт халәтенә җиткәч кенә башланырга тиеш. Катлам тәмамлангач, локаль каплауны булдырмас өчен, чыганак көчен яки каплау позициясен билгеле бер почмак позициясендә үзгәртергә кирәк булырга мөмкин.
Планета әйләнеше һәм субстратның контрольдә тотыла торган хәрәкәте, калынлык бүленешен һәм субстрат өслеге буенча кабатланучанлыкны яхшырту өчен, төгәл оптик каплау җиһазларында киң кулланыла.
Зур мәйданлы пыяла, ярымүткәргеч пластиналар, сыгылмалы субстратлар һәм өзлексез веб-материаллар өчен хәрәкәт тотрыклылыгы пленка калынлыгын контрольдә тоту циклының бер өлеше булып тора. Ташу тизлегендәге, барабан температурасындагы, веб-киеренкелектәге, йөртүче арасындагы яки тукталыш позициясендәге үзгәрешләр калынлык тайпылышларына, төс аермаларына, катламның тигез булмавына яки оптик эшчәнлекнең тотрыксызлыгына китерергә мөмкин.
Җылылык белән идарә итү шулай ук субстрат хәрәкәте белән синхронлаштырылырга тиеш. Парга әйләнү чыганакларыннан нурланыш, ион бомбага тоту, плазма җылыту һәм конденсация энергиясе озак вакытлы күп катламлы процесс вакытында субстрат температурасының прогрессив рәвештә артуына китерергә мөмкин. Әгәр җиһазлар җыелган процесс җылылыгын исәпкә алмыйча, җылыткыч чыгаруны гына контрольдә тотса, чын субстрат температурасы рецепт буенча билгеләнгән ноктадан сизелерлек аерылып торырга мөмкин.
Шуңа күрә система җылытуны, суытуды, субстрат хәрәкәтен, утырту көчен һәм көтү вакытларын бөтен катламның җылылык бюджетына туры китереп координацияләргә тиеш. Җылылыкка сизгер субстратлар яки температурага сизгер пленка структуралары өчен температура белән контрольдә тотыла торган барабаннар, арткы яктан суыту, йөртүче суыту, этаплы җылыту профильләре һәм катламара суыту этаплары кирәк булырга мөмкин.
Урындагы мониторинг проектланган стекны урнаштырылган стек белән тоташтыра
Күп катламлы пленка дизайны һәр катламның теоретик калынлыгын, сыну күрсәткечен, составын һәм эзлеклелеген билгели. Җитештерү шартлары үзгәргәндә җиһазлар бу дизайнны чын каплау өеменә әйләндерергә тиеш.
Максат эрозиягә, парга әйләнү чыганагы геометриясе үзгәрүгә, камера калканнарында каплау туплануга яки реактив газ шартлары үзгәрүгә карап, утыру тизлеге үзгәрергә мөмкин. Шуңа күрә, һәр катламны билгеләнгән вакыт кулланып кына контрольдә тоту теоретик һәм чын катлам арасындагы аерманы әкренләп арттырырга мөмкин.
Кварц кристалл микробаланслары гадәттә утыру тизлеген һәм тупланган физик калынлыкны күзәтү өчен кулланыла. Күп катламлы оптик каплаулар өчен туры оптик күзәтү үсә торган пленканың оптик җавабы турында өстәмә мәгълүмат бирә ала. Системага карап, үткәрүчәнлек, чагылыш яки киң полосалы спектр җавабын урында үлчәргә мөмкин.
Оптик күзәтү аеруча кыйммәтле, чөнки оптик стекның соңгы эшчәнлеге геометрик калынлыкка гына түгел, ә оптик калынлыкка бәйле. Система һәр катламны үлчәнгән оптик җавапка карап тәмамлый ала, һәм алга киткән стратегияләрдә, киләсе катламнарның калынлыгын көйләп, кечкенә тайпылышларны компенсацияли ала.
Заманча оптик күзәтү системалары күп катламлы үсешне турыдан-туры әйләнүче субстрат тотучыларында үлчи ала һәм аерым катламнар өчен оч ноктасын контрольдә тота ала.
Үткәргечле, ярымүткәргечле һәм энергия белән бәйле капламалар өчен, in situ мониторингына спектроскопик эллипсометрия, плазма-эмиссия спектроскопиясе, калдык газ анализы, катлам каршылыгын үлчәү яки башка процесс өчен махсус сенсорлар керергә мөмкин. Мониторинг ысулы процесс үзгәрешләренә иң сизгер булган функциональ характеристикага туры китереп сайланырга тиеш.
Ышанычлы күзәтү системасы өчен сенсор урнаштырудан күбрәк нәрсә кирәк. Сенсор позициясе, кораллар коэффициенты, оптик юл, сигнал фильтрлау, калибрлау ешлыгы, запуск вакыты һәм мәгълүмат синхронизациясе - болар барысы да үлчәү төгәллегенә тәэсир итә. Контроллер катлам үсеше аркасында килеп чыккан гадәти сигнал үзгәрешләрен плазма тирбәнеше, сенсор каплавы, чыганак тотрыксызлыгы яки субстрат хәрәкәте аркасында килеп чыккан гадәти булмаган үзгәрешләрдән аерырга тиеш.
Иң нәтиҗәле контроль стратегиясе гадәттә алга җибәрү һәм кире элемтә логикасын берләштерә. Алга җибәрү белән контрольдә тоту башлангыч параметр көйләүләрен билгеләү өчен калибрланган процесс модельләрен, максатчан тормыш компенсациясен һәм билгеле камера шартларын куллана. Аннары кире элемтә белән контрольдә тоту урнаштыру вакытында тайпылышларны төзәтү өчен реаль вакыт үлчәүләрен куллана.
Интерфейс белән идарә итү аерым катламнарның функциональ стек булып китү-китмәвен билгели
Ике катлам арасындагы чик еш кына теләсә кайсы катламның күләм үзлекләренә караганда мөһимрәк. Ябышу, үзара диффузия, оксидлашу, тупаслык, рәшәткә туры килмәү, пычрану һәм көчәнеш күчерү - болар барысы да чиктә була.
Әгәр алдагы катламның өслеге пычранган яки химик яктан тотрыксыз булса, киләсе катлам начар нуклеация яки көчсез бәйләнеш күрсәтергә мөмкин. Әгәр энергетик ион бомбардированиесе бик көчле булса, ул тыгызлыкны арттырырга мөмкин, ләкин шулай ук бәрелүгә, чик катнашмасына, кимчелекләр барлыкка килүенә яки артык кысу көчәнешенә китерергә мөмкин. Әгәр ул бик көчсез булса, капламада мәсамәле яки баганасыман структура барлыкка килергә мөмкин.
Шуңа күрә җиһазлар субстратның тайпылышын, ион чыганагы көчен, плазма тыгызлыгын, субстрат температурасын һәм күчү вакытын катламга хас контрольдә тотарга тиеш. Бу параметрлар күп катламлы процесс дәвамында үзгәрешсез калырга тиеш түгел.
Ябыштыру катламы көчле өслек активлаштыруын һәм чагыштырмача югары ион ярдәме таләп итәргә мөмкин. Сизгер оптик катлам абсорбцияне һәм интерфейс катнашмасын киметү өчен түбәнрәк ион энергиясен таләп итәргә мөмкин. Каты саклагыч катлам җитәрлек тыгызлык һәм катылык алу өчен плазма тыгызлыгын яки тайпылышны арттырырга тиеш булырга мөмкин. Түбән өслек энергияле өслек катламы түбәнрәк субстрат температурасын һәм алдан килгәннәрне җентекләп контрольдә тотуны таләп итәргә мөмкин.
Катламнар арасындагы тупаслык шулай ук катлам аша да таралырга мөмкин. Өслек кимчелекләре яки төеннәр үсә башлагач, аннан соңгы катламнар аларны көчәйтергә мөмкин. Шуңа күрә процесс беренче катламнан башлап кисәкчәләр барлыкка килүен, дуга басуны, чыганак чисталыгын, җайланмаларның пычрануын һәм экран торышын контрольдә тотарга тиеш.
Нанометр масштаблы күп катламнар өчен, интерфейсның тигезсезлеге һәм катламнар арасындагы формалашу оптик яки электрон эшчәнлеккә турыдан-туры тәэсир итә ала, бу чыганак тотрыклылыгын, хәрәкәт төгәллеген һәм интерфейс белән идарә итүне җиһазлар конструкциясеннән аерылгысыз итә.
Шулай ук бөтен катлам буенча да көчәнеш белән идарә итүне карарга кирәк. Һәр материал утырма басымына, ион энергиясенә, температурага, микроструктурага һәм калынлыкка карап, тарту яки кысу көчәнеше китерергә мөмкин. Хәтта һәр аерым катламның көчәнеше кабул ителгән очракта да, калын күп катламлы структураның тупланган көчәнеше деформациягә, ярылуга, кабырылуга яки оптик бозылуга китерергә мөмкин.
Шуңа күрә җиһаз рецепты катлам эзлеклелеген, утырма энергиясен, температура профилен, калынлык бүленешен һәм суыту шартларын тигезләргә тиеш. Кайбер кушымталарда структура тотрыклылыгын яхшырту өчен көчәнеш-компенсация катламнары яки дәрәҗәле интерфейслар кертелергә мөмкин.
Рецепт оркестрлаштыру процесс белемнәрен кабатланырлык җитештерүгә әйләндерә
Күп катламлы урнаштыруның тулы координация логикасы, ниһаять, процесс рецепты һәм автоматизация-идарә итү архитектурасы аша гамәлгә ашырыла.
Күп катламлы рецептта катлам исемнәре, урнаштыру вакыты, газ агымы һәм көч көйләүләре генә булмаска тиеш. Ул җиһазның тулы халәт күчүен билгеләргә тиеш, шул исәптән насослау шартлары, нигез басымы квалификациясе, чыганакны кондицияләү, субстратны җылыту, плазманы чистарту, газны тотрыклыландыру, көчне арттыру, затвор эшләве, хәрәкәт синхронизациясе, оч ноктасын ачыклау, катламара күчү, суыту, җилләтү һәм бушату.
Һәр операция узган вакыт белән генә түгел, ә процесс шартлары белән бәйле булырга тиеш. Мәсәлән, суырту таймеры чыкканга гына утырту башланырга тиеш түгел. Система басымның, агып чыгу тизлеге тенденциясенең, субстрат температурасының, суыту суының торышының һәм чыганакның әзерлегенең кирәкле шартларга туры килүен расларга тиеш.
Шулай ук, киләсе катлам алдагы чыганак сүндерелгәннән соң шунда ук башланырга тиеш түгел. Контроллер алдагы газның чыгарылуын, яңа газ агымының тотрыклы булуын, максатның алдан сиптерүен тәмамлавын һәм нигезнең дөрес урынга һәм температурага җитүен тикшерергә тиеш булырга мөмкин.
Рецепт версиясен контрольдә тоту күпләп җитештерү өчен дә мөһим. Көч, басым, газ агымы, катлам калынлыгы, көчәнеш яки соңгы нокта критерийларындагы үзгәрешләр теркәлергә һәм тиешле җитештерү партиясе белән бәйләнергә тиеш. Бу пленканың эшләве үзгәрүен җиһаз параметрларына һәм процесс үзгәрешләренә кадәр күзәтергә мөмкинлек бирә.
Күп төрле спецификацияле продуктлар өчен җиһазлар модульле рецепт структураларын хупларга тиеш. Насослау, плазма чистарту, ябыштыру катламын урнаштыру яки суыту кебек гадәти операцияләр кабат кулланыла торган процесс модульләре буларак конфигурацияләнергә мөмкин, ә продуктка хас катлам катламнары аерым контрольдә тотыла.
Автоматизация системасы шулай ук агымдагы катламга карап аномаль шартларны идарә итәргә тиеш. Калын металл катлам вакытында кыска дуга вакыйгасын автоматик дуга бастыру һәм дәвамлы утырту ярдәмендә хәл итәргә мөмкин. Нанометр масштаблы оптик катлам вакытында шул ук вакыйга системадан катламны туктатырга, компенсацияләргә, кабатларга яки тикшерү өчен партияне билгеләргә таләп итәргә мөмкин.
Бу катламны аңлаган искәрмәләрне эшкәртү логикасы гади машина автоматизациясе һәм чын процесс автоматизациясе арасында мөһим аерма булып тора.
Аерым җиһазларның тотрыклылыгыннан бөтен җыелманың тотрыклылыгына кадәр
Җиһазларны координацияләүнең төп максаты - һәр процесс адымын автоматик рәвештә тәмамлау гына түгел. Ул - күп катламлы стекның эшләнгән функциональ эшчәнлекне даими рәвештә кабатлавын тәэмин итү.
Бу дүрт дәрәҗәдә координацияне таләп итә. Беренчесе - вакуум насослары, клапаннар, электр белән тәэмин итү, газ системалары, чыганаклар, җылыткычлар, хәрәкәт механизмнары, сенсорлар һәм суыту схемалары арасындагы аппарат координациясе. Икенчесе - чистарту, активлаштыру, урнаштыру, реакция, күчү һәм суыту арасындагы процесс координациясе. Өченчесе - рецептлар, сенсор сигналлары, сигнал язмалары, соңгы нокта нәтиҗәләре һәм сыйфат үлчәүләре арасындагы мәгълүмат координациясе. Дүртенчесе - максат эрозиясен, чыганакны карап тотуны, камераны чистартуны, сенсорны калибрлауны, җайланма торышын һәм процессны компенсацияләүне үз эченә алган тормыш циклын координацияләү.
Функциональ каплаулар катлауланган саен, җиһазларның мөмкинлекләре бер генә утырту чыганагы түгел, ә бөтен пленка катламын контрольдә тоту сәләте белән бәяләнәчәк. Мөһим сораулар машинаның билгеле бер материалны утырта алу-алмавы белән генә чикләнмәячәк. Җитештерүчеләр шулай ук җиһазларның интерфейс сыйфатын саклый алуын, тупланган көчәнешне контрольдә тота алуын, үзара пычрануны киметә алуын, чыганак тайпылышын компенсацияли алуын, спектраль яки электр күрсәткечләрен кабатлый алуын һәм партиядән партиягә тотрыклылыкка ирешә алуын күрсәтергә тиеш булачаклар.
Шуңа күрә күп катламлы функциональ пленка урнаштыру җиһазлар архитектурасы һәм процесс инженериясе арасында координацияләнгән үзара бәйләнеш булып тора. Вакуум тотрыклылыгы әйләнә-тирә мохит нигезен тәэмин итә, чыганак һәм энергия координациясе материал китерүне билгели, газ контроле составны көйли, субстрат хәрәкәте киңлек бердәмлеген билгели, җылылык һәм тайпылыш контроле пленка үсешенә йогынты ясый, ә урынында күзәтү чын каплау нәтиҗәсен проектланган катлам катламы белән бәйли.
Бу системалар бердәм процессны контрольдә тоту стратегиясе буенча эшләгәндә генә берничә аерым катлам тотрыклы, кабатланырлык һәм күпләп җитештерелә торган функциональ пленка системасына әйләнә ала.
-Бу мәкалә бастырып чыгарылганвакуум каплау җиһазлары җитештерүчесеЧжэньхуа чүп-чар
Бастырып чыгару вакыты: 2026 елның 16 июле