ملٽي ليئر فنڪشنل فلم ڊپوزيشن: مستحڪم وڏي پيماني تي پيداوار جي پويان سامان جي هم آهنگي جو منطق

جيئن ته پتلي فلم ايپليڪيشنون ترقي ڪنديون رهنديون آهن، هڪ واحد ڪوٽنگ پرت اڪثر ڪري آپٽيڪل ڪارڪردگي، برقي چالکائي، لباس مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، ماحولياتي استحڪام، مٿاڇري جي توانائي، ۽ آرائشي ظاهر جي گڏيل گهرجن کي پورو ڪرڻ لاءِ ڪافي نه هوندي آهي. ڪيترين ئي ترقي يافته شين ۾، گهربل ڪارڪردگي هڪ ملٽي ليئر فلم اسٽيڪ ذريعي حاصل ڪئي ويندي آهي جنهن ۾ هر پرت هڪ مخصوص ڪم انجام ڏئي ٿي ۽ ان جي مٿان ۽ هيٺان پرتن سان رابطو ڪري ٿي.

عام بناوتن ۾ هڪ چپڪندڙ پرت، هڪ ڌاتو يا ڊائيليڪٽرڪ فنڪشنل پرت، هڪ آپٽيڪل ايڊجسٽمينٽ پرت، هڪ ڊفيوژن رڪاوٽ، هڪ سخت حفاظتي پرت، ۽ هڪ گهٽ مٿاڇري-توانائي ٽاپ ڪوٽ شامل ٿي سگھي ٿو. آپٽيڪل ايپليڪيشنن ۾، ٽرانسميشن، عڪاسي، رنگ، ۽ اسپيڪٽرل ردعمل کي ڪنٽرول ڪرڻ لاءِ متبادل اعليٰ ۽ گهٽ-اضطراري-انڊيڪس مواد استعمال ڪري سگھجن ٿا. اليڪٽرانڪ ۽ فوٽووولٽڪ ايپليڪيشنن ۾، شفاف ڪنڊڪٽو آڪسائيڊ، ميٽالڪ اليڪٽروڊ، بفر پرت، ۽ رڪاوٽ پرتن کي ترتيب وار جمع ڪرڻ جي ضرورت پوندي. آٽوميٽو ۽ صارف-اليڪٽرانڪس ايپليڪيشنن ۾، ميٽالائيزڊ پرتن کي حفاظتي ڪوٽنگ، غير ڪنڊڪٽو ويڪيوم ميٽلائيزيشن پرتن، هيرن وانگر ڪاربن ڪوٽنگ، يا اينٽي فنگر پرنٽ پرتن سان گڏ ڪري سگهجي ٿو.

انهن ملٽي ليئر سسٽم جي ڪارڪردگي صرف ان تي منحصر ناهي ته هر هڪ انفرادي مواد کي ڪاميابي سان جمع ڪري سگهجي ٿو يا نه. اهو ان تي منحصر آهي ته ڇا سڄو ويڪيوم ڪوٽنگ سسٽم مڪمل ڪوٽنگ چڪر دوران ويڪيوم حالتن، جمع ڪرڻ جي ذريعن، پروسيس گيسن، سبسٽريٽ حرڪت، گرمي پد، تعصب وولٽيج، فلم-ٿڪنس مانيٽرنگ، ۽ پرت-ٽرانسيشن ٽائيمنگ کي هم آهنگ ڪري سگهي ٿو.

انهيءَ ڪري، ملٽي ليئر فنڪشنل-فلم جمع ڪرڻ کي ڪيترن ئي سنگل-ليئر عملن جي سادي ورجائي طور نه سمجهڻ گهرجي. اهو هڪ سسٽم-سطح جي پيداوار جو ڪم آهي جيڪو صحيح سامان جي هم آهنگي تي ٻڌل آهي.

فلم اسٽيڪ کي هڪ مسلسل عمل جي طور تي سمجهيو وڃي.

هڪ گھڻ-پرت واري ڪوٽنگ ۾، هڪ پرت جي مڪمل ٿيڻ ٻئي جي شروعاتي حالت پڻ آهي. مٿاڇري جي بناوت، سختي، گرمي پد، باقي رهڻ وارو دٻاءُ، جذب ٿيل گئس، پلازما جي نمائش، ۽ انٽرفيس آلودگي سڀ ايندڙ پرت جي نيوڪليشن ۽ واڌ کي متاثر ڪري سگهن ٿا.

هڪ پرت جيڪا پنهنجي اسٽينڊلون ٿلهي يا ساخت جي هدف کي پورو ڪري ٿي، اڃا تائين مڪمل فلم اسٽيڪ لاءِ مسئلا پيدا ڪري سگهي ٿي. هڪ گهاٽي فنڪشنل پرت جي جمع ٿيڻ دوران گهڻي آئن بمباري دٻاءُ وڌائي سگهي ٿي. ٻن پرتن جي وچ ۾ هڪ ڊگهي انتظار جي مدت باقي گيسن کي مٿاڇري تي جذب ڪرڻ جي اجازت ڏئي سگهي ٿي. غلط رد عمل واري گئس سوئچنگ ڪراس آلودگي يا غير مستحڪم مرڪب ٺهڻ جو سبب بڻجي سگهي ٿي. گهڻي سبسٽريٽ گرم ڪرڻ هڪ پرت جي کثافت کي بهتر بڻائي سگهي ٿو جڏهن ته سبسٽريٽ جي حرارتي برداشت کان وڌيڪ يا اڳ ۾ جمع ٿيل پرتن کي خراب ڪري سگهي ٿو.

تنهن ڪري ڪنٽرول سسٽم کي فلم اسٽيڪ کي هڪ مسلسل عمل جي طور تي منظم ڪرڻ گهرجي بجاءِ آزاد جمع ڪرڻ جي مرحلن جي مجموعن جي طور تي. هر پرت ۾ واضح طور تي بيان ڪيل داخلا جون حالتون، جمع ڪرڻ جون حالتون، ختم ٿيڻ جا معيار، ۽ منتقلي جون حالتون هجڻ گهرجن.

ايندڙ پرت شروع ٿيڻ کان اڳ، سامان کي تصديق ڪرڻ جي ضرورت پوندي ته چيمبر جو دٻاءُ، باقي گئس جي سطح، سبسٽريٽ جو گرمي پد، ٽارگيٽ اسٽيٽس، گيس جي جوڙجڪ، پاور سپلائي اسٽيٽ، ۽ سبسٽريٽ پوزيشن مخصوص پروسيس ونڊو تائين پهچي ويا آهن. هي مشروط عملدرآمد منطق صرف هڪ مقرر وقت جي ترتيب مطابق پرتن کي سوئچ ڪرڻ کان وڌيڪ قابل اعتماد آهي.

پيچيده اسٽيڪ لاءِ، پروسيس جي ترڪيب ۾ انٽرليئر آپريشنز پڻ شامل هجڻ گهرجن جهڙوڪ پلازما صفائي، آئن ايڪٽيويشن، گيس صاف ڪرڻ، سورس شيلڊنگ، شٽر سوئچنگ، پاور ريمپنگ، سبسٽريٽ کولنگ، يا ڪنٽرول ٿيل ويٽنگ. اهي عبوري آپريشن ڪوٽنگ جي عمل جا ضروري حصا آهن ڇاڪاڻ ته اهي سڌو سنئون انٽرفيس چپکڻ، ڪيميائي ساخت، کھردری جي تبليغ، ۽ باقي دٻاءُ کي متاثر ڪن ٿا.

ويڪيوم-سسٽم ڪوآرڊينيشن عام عمل جي بنياد قائم ڪري ٿو

هڪ گھڻ-پرت واري ڍانچي ۾ سڀئي پرتون ساڳيو ويڪيوم ماحول شيئر ڪن ٿيون، پر مختلف مواد ۽ جمع ڪرڻ جي عملن کي مختلف آپريٽنگ دٻاءُ، گئس جي جوڙجڪ، پمپنگ جي رفتار، ۽ آلودگي ڪنٽرول حڪمت عملين جي ضرورت ٿي سگھي ٿي.

ويڪيوم سسٽم کي جمع ٿيڻ شروع ٿيڻ کان اڳ ڪافي صاف ۽ مستحڪم بنيادي دٻاءُ فراهم ڪرڻ گهرجي. پاڻي جي بخارات، آڪسيجن، هائيڊرو ڪاربن، ۽ باقي عمل گيسون فلم جي پاڪائي، چپکڻ، آپٽيڪل جذب، برقي مزاحمت، ۽ انٽرفيس استحڪام کي متاثر ڪري سگهن ٿيون. نمي يا آڪسيجن سان حساس تہن لاءِ، باقي گئس جي جوڙجڪ ۾ هڪ ننڍڙي تبديلي به اسٽيڪ جي آخري خاصيتن کي تبديل ڪري سگهي ٿي.

جڏهن ته، گهٽ ۾ گهٽ ممڪن چيمبر پريشر هميشه واحد مقصد نه هوندو آهي. جمع ڪرڻ دوران، سسٽم کي گئس ان پٽ ۽ اثرائتي پمپنگ اسپيڊ جي وچ ۾ صحيح متحرڪ توازن برقرار رکڻ گهرجي. پريشر ڪنٽرول والو، ويڪيوم پمپ، ماس فلو ڪنٽرولرز، گيس ورهائڻ وارو نظام، ۽ چيمبر ڪنڊڪٽنس کي هر پرت ۾ مستحڪم عمل جي دٻاءُ کي برقرار رکڻ لاءِ گڏجي ڪم ڪرڻ گهرجي.

جڏهن عمل ڌاتو جي ڦڦڙن کان رد عمل واري ڦڦڙن ۾ تبديل ٿئي ٿو، يا آرگن پلازما صفائي کان آڪسيجن يا نائٽروجن جي مدد سان جمع ٿيڻ ۾، چيمبر جي ماحول کي فوري طور تي تبديل نٿو ڪري سگهجي. ڪنٽرول سسٽم کي گئس جي رهائش جي وقت، ڀت جي جذب، ٽارگيٽ رد عمل، ۽ پمپنگ سسٽم جي رد عمل جي خاصيتن جو حساب رکڻ گهرجي. هڪ خراب ڪنٽرول ٿيل منتقلي شايد ايندڙ پرت جي شروعات کي غير مستحڪم گئس جي جوڙجڪ هيٺ جمع ڪرڻ جو سبب بڻائين.

هي مسئلو خاص طور تي رد عمل واري ميگنيٽرون اسپٽرنگ ۾ اهم آهي. رد عمل واري اسپٽرنگ سسٽم رد عمل واري گئس جي وهڪري، ٽارگيٽ مٿاڇري جي حالت، ڊسچارج وولٽيج، جمع ڪرڻ جي شرح، ۽ فلم اسٽوچيوميٽري جي وچ ۾ هڪ غير لڪير تعلق ڏيکاري سگهن ٿا. ڌاتو ۽ زهر ٿيل ٽارگيٽ رياستن جي وچ ۾ منتقلي جي ويجهو آپريشن مناسب موٽ ڏيڻ جي ڪنٽرول کان سواءِ غير مستحڪم ٿي سگهي ٿو. جزوي دٻاءُ جي نگراني، پلازما-اخراج جي نگراني، ٽارگيٽ-وولٽيج فيڊ بيڪ، ۽ اعليٰ جوابي ماس فلو ريگيوليشن کي تنهن ڪري عمل کي مستحڪم ڪرڻ لاءِ ضم ڪري سگهجي ٿو.

ملٽي چيمبر يا ان لائن ڪوٽنگ سسٽم ۾، ويڪيوم ڪوآرڊينيشن ۾ ڀرپاسي جي عمل وارن علائقن جي وچ ۾ دٻاءُ جي الڳ ٿيڻ پڻ شامل آهي. لوڊ-لاڪ چيمبر، بفر چيمبر، ٽرانسفر چيمبر، سلٽ والوز، ڊفرنشل پمپنگ سيڪشن، ۽ گيس-سيپريشن اسٽرڪچر ڪراس آلودگي کي گهٽائي سگهن ٿا ۽ مختلف پرتن کي آزاد ماحول ۾ جمع ڪرڻ جي اجازت ڏين ٿا.

رول-ٽو-رول ۽ مسلسل ان-لائن سسٽم لاءِ، پاڙيسري ڪوٽنگ زونز ۾ مختلف ڌاتو، ڊائي اليڪٽرڪ، يا رد عمل وارا عمل شامل ٿي سگهن ٿا. گيس جي علحدگي، ڪنٽرول ٿيل پمپنگ، سبسٽريٽ جي درجه حرارت جي انتظام، ۽ ان-سيٽو ماپ کي گڏجي ڪم ڪرڻ گهرجي ته جيئن هڪ پروسيس سيڪشن کي ٻئي تي اثر انداز ٿيڻ کان روڪي سگهجي.

جمع ڪرڻ جا ذريعا، بجلي جي فراهمي، ۽ گئس جي ترسيل کي هڪ نظام طور ڪم ڪرڻ گهرجي.

ملٽي ليئر فنڪشنل فلمن کي ساڳئي سامان جي پليٽ فارم اندر ڪيترن ئي جمع ڪرڻ واري ٽيڪنالاجي جي ضرورت ٿي سگھي ٿي. ايپليڪيشن تي منحصر ڪري، سسٽم ڊي سي ميگنيٽرون اسپٽرنگ، پلسڊ ڊي سي اسپٽرنگ، مڊ فريڪوئنسي اسپٽرنگ، ريڊيو فريڪوئنسي اسپٽرنگ، هائي پي آءِ ايم ايس، ٿرمل ايوپوريشن، اليڪٽران-بيم ايوپوريشن، آئن-اسسٽيڊ ڊيپوزيشن، پي اي سي وي ڊي، يا اسپيشل اي ايل ڊي کي ضم ڪري سگھي ٿو.

هر ذريعو جون پنهنجون اگنيشن خاصيتون، طاقت جو ردعمل، جمع ڪرڻ جي شرح جو رويو، حرارتي لوڊ، پلازما ورڇ، ۽ مواد جي استعمال جو نمونو آهي. مستحڪم ملٽي ليئر پيداوار ان تي منحصر آهي ته اهي ذريعا ڪيئن هم آهنگ آهن بجاءِ صرف ان تي ته ڪيترا ذريعا نصب ٿيل آهن.

پراڊڪٽ جمع ڪرڻ لاءِ ٽارگيٽ استعمال ڪرڻ کان اڳ، سسٽم کي شٽر بند ڪرڻ سان پري اسپٽرنگ يا ٽارگيٽ ڪنڊيشننگ ڪرڻ جي ضرورت پوندي. اهو مٿاڇري جي آلودگي کي ختم ڪري ٿو ۽ ٽارگيٽ وولٽيج، ڊسچارج ڪرنٽ، ۽ جمع ڪرڻ جي شرح کي مستحڪم ڪري ٿو. جڏهن هڪ مواد کان ٻئي ڏانهن سوئچ ڪيو وڃي، ته سورس شيلڊ، شٽر پوزيشن، گيس جي جوڙجڪ، پاور ريمپ، ۽ سبسٽريٽ پوزيشن کي صحيح ترتيب ۾ عمل ۾ آڻڻ گهرجي.

بجلي جي فراهمي کي هميشه صفر کان آخري سيٽ پوائنٽ ڏانهن سڌو سنئون نه مٽائڻ گهرجي. ڪنٽرول ٿيل ريمپ اپ ۽ ريمپ ڊائون تسلسل غير معمولي خارج ٿيڻ، ذرڙن جي پيداوار، حرارتي جھٽڪو، ۽ آرڪ واقعن کي گهٽائي سگهن ٿا. رد عمل واري عملن لاءِ، بجلي جي ضابطي کي گئس جي وهڪري ۽ پمپنگ جي جواب سان هم آهنگ ڪيو وڃي ته جيئن ٽارگيٽ کي تيزيءَ سان هڪ غير مستحڪم آپريٽنگ علائقي ڏانهن نه ڌڪيو وڃي.

هڪ هائبرڊ جمع ڪرڻ واري نظام ۾، هم آهنگي اڃا به وڌيڪ اهم ٿي ويندي آهي. مثال طور، هڪ ڌاتوئي پرت ڊي سي ميگنيٽرون اسپٽرنگ ذريعي جمع ٿي سگهي ٿي، جڏهن ته هڪ ڊائي اليڪٽرڪ پرت کي نبض ٿيل ڊي سي، وچ فريڪوئنسي، يا آر ايف ايڪسائيٽيشن جي ضرورت هوندي آهي. هڪ حفاظتي پوليمر جهڙي پرت بعد ۾ PECVD ذريعي جمع ٿي سگهي ٿي. پروسيس ڪنٽرولر کي هڪ ترڪيب اندر مختلف پاور آرڪيٽيڪچر، ميچنگ نيٽ ورڪ، گيس ڊليوري چينلز، پلازما اگنيشن حالتن، ۽ حفاظتي انٽر لاڪ کي منظم ڪرڻ گهرجي.

سامان کي غير ارادي ذريعن جي رابطي کي به روڪڻ گهرجي. هڪ ئي وقت ڪم ڪندڙ ڪيٿوڊ پلازما کثافت، چيمبر جي صلاحيت، رد عمل واري گئس جي استعمال، ۽ مقامي سبسٽريٽ جي گرمي کي متاثر ڪري سگهن ٿا. جيڪڏهن ڪيترائي ذريعا گڏيل جمع لاءِ استعمال ڪيا وڃن ٿا، ته ساخت ڪنٽرول انهن جي انفرادي جمع جي شرحن جي وچ ۾ مستحڪم تناسب تي منحصر آهي. ان لاءِ آزاد پاور فيڊ بيڪ، ڪيليبريٽريڊ جمع جي شرح ماڊل، يا بند لوپ ساخت جي نگراني جي ضرورت ٿي سگهي ٿي.

گئس جي ورڇ جو ڊزائن به ساڳيو ئي اهم آهي. ڪل گئس جو وهڪرو اڪيلو فلم جي هڪجهڙائي يا اسٽوچيوميٽري جو تعين نٿو ڪري. گئس انليٽس، پمپنگ پورٽس، ڪيٿوڊس، سبسٽريٽ ڪيريئرز، ۽ چيمبر شيلڊز جي پوزيشن مقامي گئس ڪنسنٽريشن ۽ پلازما ماحول کي طئي ڪري ٿي. تنهن ڪري سامان جي ڪنٽرول حڪمت عملي کي چيمبر جي جوڙجڪ ۽ ذريعو ترتيب سان گڏ ترقي ڪرڻ گهرجي بجاءِ ميڪيڪل ڊيزائن مڪمل ٿيڻ کان پوءِ شامل ڪرڻ جي.

سبسٽريٽ موشن هڪجهڙائي، پرت جي ٿولهه، ۽ حرارتي لوڊ کي هم آهنگ ڪري ٿو

سبسٽريٽ-موشن سسٽم ملٽي ليئر ڊيپوزيشن جو هڪ مرڪزي حصو آهي ڇاڪاڻ ته اهو طئي ڪري ٿو ته هر مٿاڇري وارو علائقو ڊيپوزيشن فلوڪس، پلازما، گرمي، ۽ رد عمل واري گيس ماحول جي سامهون ڪيئن اچي ٿو.

بيچ ڪوٽنگ جي سامان ۾، سبسٽريٽ گردش، انقلاب، گرينٽري حرڪت، اوسيليشن، يا گھڻ-محور حرڪت کي فليٽ، وکر، يا ٽي-dimensional ورڪ پيس تي ڪوٽنگ جي هڪجهڙائي کي بهتر بڻائڻ لاءِ استعمال ڪري سگهجي ٿو. مسلسل سسٽم ۾، ٽرانسپورٽ جي رفتار ۽ پروسيس زونن جي وچ ۾ هم وقت سازي سڌو سنئون جمع ٿيڻ جو وقت ۽ جمع ٿيل پرت جي ٿلهي کي طئي ڪري ٿي.

حرڪت جي حڪمت عملي هر پرت لاءِ آزاديءَ سان نه ٿي ٺاهي سگهجي. هڪ رفتار يا ٽريجڪٽري جيڪا ڌاتو جي پرت لاءِ موزون هجي، هڪ مختلف جمع ورڇ سان ڊائي اليڪٽرڪ پرت لاءِ بهترين نه ٿي سگهي. ساڳئي طرح، هڪ مقرر ٿيل گرهن جي گردش جو تناسب پيچيده ٽن-dimensional حصن تي مختلف پلازما-نمائش جي تاريخون ٺاهڻ دوران سٺي سراسري ٿلهي هڪجهڙائي پيدا ڪري سگهي ٿو.

ڪنٽرولر کي سبسٽريٽ پوزيشن کي سورس پاور، شٽر اسٽيٽ، گيس فلو، ۽ ليئر اينڊ پوائنٽ سان هم آهنگ ڪرڻ گهرجي. جمع ڪرڻ صرف تڏهن شروع ٿيڻ گهرجي جڏهن سبسٽريٽ ڪيريئر مقرر ڪيل ڪوٽنگ زون ۾ داخل ٿئي ۽ هڪ مستحڪم حرڪت واري حالت تي پهچي. جڏهن هڪ ليئر مڪمل ٿئي ٿي، ته مقامي اوورڪوٽنگ کي روڪڻ لاءِ سورس پاور يا شٽر پوزيشن کي مخصوص ڪوئلي پوزيشن تي تبديل ڪرڻ جي ضرورت پئجي سگهي ٿي.

گرهن جي گردش ۽ ڪنٽرول ٿيل سبسٽريٽ حرڪت کي وڏي پيماني تي درست آپٽيڪل ڪوٽنگ سامان ۾ استعمال ڪيو ويندو آهي ته جيئن سبسٽريٽ جي مٿاڇري تي ٿلهي جي ورڇ ۽ ورجائي جي صلاحيت کي بهتر بڻائي سگهجي.

وڏي ايراضي واري شيشي، سيمي ڪنڊڪٽر ويفرز، لچڪدار سبسٽريٽس، ۽ مسلسل ويب مواد لاءِ، حرڪت جي استحڪام فلم جي ٿولهه ڪنٽرول لوپ جو حصو بڻجي ويندي آهي. ٽرانسپورٽ جي رفتار، ڊرم جي گرمي پد، ويب ٽينشن، ڪيريئر اسپيسنگ، يا اسٽاپ پوزيشن ۾ تبديلين جي نتيجي ۾ ٿلهي انحراف، رنگ جي فرق، غير يونيفارم شيٽ مزاحمت، يا غير متضاد آپٽيڪل ڪارڪردگي ٿي سگهي ٿي.

حرارتي انتظام کي پڻ سبسٽريٽ حرڪت سان هم وقت سازي ڪرڻ گهرجي. بخارات جي ذريعن مان تابڪاري، آئن بمباري، پلازما گرم ڪرڻ، ۽ ڪنڊينسيشن توانائي هڪ ڊگهي ملٽي ليئر عمل دوران سبسٽريٽ جي گرمي پد کي بتدريج وڌائي سگهي ٿي. جيڪڏهن سامان صرف هيٽر جي پيداوار کي ڪنٽرول ڪري ٿو بغير جمع ٿيل پروسيس گرمي کي غور ڪرڻ جي، اصل سبسٽريٽ جي درجه حرارت ترڪيب جي سيٽ پوائنٽ کان خاص طور تي انحراف ڪري سگهي ٿو.

تنهن ڪري، سسٽم کي پوري اسٽيڪ جي حرارتي بجيٽ جي مطابق گرمي، ٿڌي، سبسٽريٽ حرڪت، جمع ڪرڻ جي طاقت، ۽ انتظار جي مدت کي هم آهنگ ڪرڻ گهرجي. گرمي-حساس سبسٽريٽ يا گرمي-حساس فلم جي جوڙجڪ لاءِ گرمي-ڪنٽرول ٿيل ڊرم، پٺئين پاسي ٿڌي، ڪيريئر ٿڌي، اسٽيج ٿيل گرمي پروفائلز، ۽ انٽرليئر ٿڌي مرحلن جي ضرورت ٿي سگھي ٿي.

ان-سيٽو مانيٽرنگ ڊزائين ڪيل اسٽيڪ کي جمع ٿيل اسٽيڪ سان ڳنڍي ٿي.

هڪ گھڻ-پرت واري فلم ڊيزائن هر پرت جي نظرياتي ٿلهي، ريفريڪٽو انڊيڪس، ساخت، ۽ ترتيب کي بيان ڪري ٿي. سامان کي پيداوار جي حالتن ۾ تبديل ٿيندڙ حالتن هيٺ هن ڊيزائن کي حقيقي ڪوٽنگ اسٽيڪ ۾ تبديل ڪرڻ گهرجي.

جمع ڪرڻ جي شرح مختلف ٿي سگهي ٿي جيئن هڪ ٽارگيٽ ختم ٿئي ٿو، هڪ بخارات جو ذريعو جاميٽري کي تبديل ڪري ٿو، چيمبر شيلڊ ڪوٽنگ جمع ڪري ٿو، يا رد عمل واري گيس جي حالتن ۾ ڦيرڦار ٿئي ٿي. تنهن ڪري، صرف مقرر وقت استعمال ڪندي هر پرت کي ڪنٽرول ڪرڻ سان نظرياتي ۽ حقيقي اسٽيڪ جي وچ ۾ فرق بتدريج وڌي سگهي ٿو.

ڪوارٽز ڪرسٽل مائڪرو بيلنس عام طور تي جمع ٿيڻ جي شرح ۽ جمع ٿيل جسماني ٿلهي جي نگراني لاءِ استعمال ڪيا ويندا آهن. ملٽي ليئر آپٽيڪل ڪوٽنگز لاءِ، سڌي آپٽيڪل نگراني وڌندڙ فلم جي آپٽيڪل ردعمل بابت اضافي معلومات فراهم ڪري سگهي ٿي. سسٽم تي منحصر ڪري، ٽرانسميشن، ريفليڪٽنس، يا براڊبينڊ اسپيڪٽرل ردعمل کي سيٽو ۾ ماپي سگهجي ٿو.

آپٽيڪل مانيٽرنگ خاص طور تي قيمتي آهي ڇاڪاڻ ته هڪ آپٽيڪل اسٽيڪ جي آخري ڪارڪردگي صرف جاميٽري ٿلهي جي بدران آپٽيڪل ٿلهي تي منحصر آهي. سسٽم هر پرت کي ان جي ماپيل آپٽيڪل ردعمل جي مطابق ختم ڪري سگهي ٿو ۽، وڌيڪ ترقي يافته حڪمت عملين ۾، ايندڙ پرتن جي ٿلهي کي ترتيب ڏيندي ننڍن انحرافن جي تلافي ڪري ٿو.

جديد آپٽيڪل مانيٽرنگ سسٽم گھمندڙ سبسٽريٽ هولڊرز تي سڌو سنئون گھڻ-پرت جي واڌ کي ماپي سگھن ٿا ۽ انفرادي پرتن لاءِ اينڊ پوائنٽ ڪنٽرول مهيا ڪري سگھن ٿا.

ڪنڊڪٽو، سيمي ڪنڊڪٽر، ۽ توانائي سان لاڳاپيل ڪوٽنگن لاءِ، ان-سيٽو مانيٽرنگ ۾ اسپيڪٽروسکوپڪ ايلپسوميٽري، پلازما-ايميشن اسپيڪٽروسکوپي، ريزيڊيوئل گيس تجزيو، شيٽ-مزاحمت جي ماپ، يا ٻيا عمل جي مخصوص سينسر شامل ٿي سگهن ٿا. نگراني جو طريقو ان فنڪشنل خاصيت جي مطابق چونڊيو وڃي جيڪو عمل جي تبديلي لاءِ تمام گهڻو حساس آهي.

هڪ قابل اعتماد نگراني نظام صرف سينسر کي نصب ڪرڻ کان وڌيڪ جي ضرورت آهي. سينسر جي پوزيشن، ٽولنگ فيڪٽر، آپٽيڪل رستو، سگنل فلٽرنگ، ڪيليبريشن فريڪوئنسي، شٽر ٽائيمنگ، ۽ ڊيٽا سنڪرونائيزيشن سڀ ماپ جي درستگي کي متاثر ڪن ٿا. ڪنٽرولر کي پرت جي واڌ جي ڪري عام سگنل تبديلين ۽ پلازما جي اتار چڙهاؤ، سينسر ڪوٽنگ، ذريعو عدم استحڪام، يا سبسٽريٽ حرڪت جي ڪري غير معمولي تبديلين جي وچ ۾ فرق ڪرڻ گهرجي.

سڀ کان وڌيڪ اثرائتي ڪنٽرول حڪمت عملي عام طور تي فيڊ فارورڊ ۽ فيڊ بيڪ منطق کي گڏ ڪري ٿي. فيڊ فارورڊ ڪنٽرول شروعاتي پيرا ميٽر سيٽنگن کي طئي ڪرڻ لاءِ ڪيليبريٽريڊ پروسيس ماڊلز، ٽارگيٽ لائف ڪمپنسنيشن، ۽ ڄاتل چيمبر حالتن کي استعمال ڪري ٿو. فيڊ بيڪ ڪنٽرول پوءِ جمع ڪرڻ دوران انحراف کي درست ڪرڻ لاءِ حقيقي وقت جي ماپن کي استعمال ڪري ٿو.

انٽرفيس مئنيجمينٽ اهو طئي ڪري ٿو ته ڇا انفرادي پرتون هڪ فنڪشنل اسٽيڪ بڻجي وڃن ٿيون.

ٻن تہن جي وچ ۾ رابطو اڪثر ڪري ڪنهن به پرت جي بلڪ خاصيتن کان وڌيڪ اهم هوندو آهي. چپڪ، انٽر ڊفيوژن، آڪسائيڊيشن، کھردری، جالي جي بي ترتيبي، آلودگي، ۽ دٻاءُ جي منتقلي سڀ انٽرفيس تي ٿينديون آهن.

جيڪڏهن پوئين پرت جي مٿاڇري آلوده آهي يا ڪيميائي طور تي غير مستحڪم آهي، ته ايندڙ پرت خراب نيوڪليشن يا ڪمزور بانڊنگ ڏيکاري سگهي ٿي. جيڪڏهن توانائي واري آئن بمباري تمام گهڻي مضبوط آهي، ته اهو کثافت کي بهتر بڻائي سگهي ٿو پر ريسپٽرنگ، انٽرفيس ملائڻ، خرابي جي ٺهڻ، يا تمام گهڻو دٻاءُ وارو دٻاءُ پڻ پيدا ڪري سگهي ٿو. جيڪڏهن اهو تمام گهڻو ڪمزور آهي، ته ڪوٽنگ هڪ سوراخدار يا ڪالمن واري جوڙجڪ پيدا ڪري سگهي ٿي.

تنهن ڪري، سامان کي سبسٽريٽ بائيس، آئن-سورس پاور، پلازما کثافت، سبسٽريٽ جي درجه حرارت، ۽ منتقلي جي وقت جو پرت-مخصوص ڪنٽرول مهيا ڪرڻ گهرجي. اهي پيرا ميٽر پوري ملٽي ليئر عمل دوران تبديل نه ٿيڻ گهرجن.

هڪ چپکڻ واري پرت کي مضبوط مٿاڇري جي چالو ڪرڻ ۽ نسبتاً وڌيڪ آئن مدد جي ضرورت ٿي سگھي ٿي. هڪ حساس آپٽيڪل پرت کي جذب ۽ انٽرفيس ملاوٽ کي گهٽائڻ لاءِ گهٽ آئن توانائي جي ضرورت ٿي سگھي ٿي. هڪ سخت حفاظتي پرت کي ڪافي کثافت ۽ سختي حاصل ڪرڻ لاءِ پلازما کثافت يا تعصب ۾ اضافو جي ضرورت ٿي سگھي ٿي. هڪ گهٽ مٿاڇري واري توانائي واري ٽاپ ڪوٽ کي گهٽ سبسٽريٽ گرمي پد ۽ احتياط سان ڪنٽرول ٿيل اڳڪٿي پهچائڻ جي ضرورت ٿي سگھي ٿي.

انٽر ليئر رفنس اسٽيڪ ذريعي به پکڙجي سگهي ٿو. هڪ ڀيرو مٿاڇري جا نقص يا نوڊولر واڌ شروع ٿي وڃن ٿا، بعد ۾ پرتون انهن کي وڌائي سگهن ٿيون. تنهن ڪري عمل کي پهرين پرت کان اڳتي پارٽيڪل جي پيداوار، آرڪ دٻائڻ، ذريعو جي صفائي، فڪسچر آلودگي، ۽ شيلڊ جي حالت کي ڪنٽرول ڪرڻ گهرجي.

نانو ميٽر-اسڪيل ملٽي ليئرز لاءِ، انٽرفيس جي خرابي ۽ انٽرليئر ٺهڻ سڌو سنئون آپٽيڪل يا اليڪٽرانڪ ڪارڪردگي تي اثر انداز ٿي سگهي ٿو، ذريعن جي استحڪام، حرڪت جي درستگي، ۽ انٽرفيس ڪنٽرول کي سامان جي ڊيزائن کان الڳ نه ڪري سگهجي ٿو.

پوري اسٽيڪ ۾ دٻاءُ جي انتظام تي پڻ غور ڪيو وڃي. هر مواد جمع ڪرڻ واري دٻاءُ، آئن توانائي، گرمي پد، مائڪرو اسٽرڪچر، ۽ ٿلهي جي لحاظ کان ٽينسل يا ڪمپريسو دٻاءُ متعارف ڪرائي سگهي ٿو. جيتوڻيڪ جڏهن هر انفرادي پرت جو دٻاءُ قابل قبول هجي، هڪ ٿلهي گھڻ-پرت واري جوڙجڪ جو جمع ٿيل دٻاءُ خراب ٿيڻ، ٽٽڻ، ڇلڻ، يا آپٽيڪل بگاڙ جو سبب بڻجي سگهي ٿو.

تنهن ڪري، سامان جي ترڪيب کي پرت جي ترتيب، جمع توانائي، گرمي پد جي پروفائل، ٿلهي جي ورڇ، ۽ ٿڌي حالتن کي متوازن ڪرڻ گهرجي. ڪجهه ايپليڪيشنن ۾، دٻاءُ جي معاوضي واري پرت يا گريڊ ٿيل انٽرفيس کي ساخت جي استحڪام کي بهتر بڻائڻ لاءِ متعارف ڪرايو وڃي ٿو.

ترڪيب آرڪيسٽريشن عمل جي علم کي ورجائيندڙ پيداوار ۾ تبديل ڪري ٿي

ملٽي ليئر ڊپوزيشن جي مڪمل ڪوآرڊينيشن منطق آخرڪار پروسيس ريسيپي ۽ آٽوميشن-ڪنٽرول آرڪيٽيڪچر ذريعي لاڳو ڪئي ويندي آهي.

هڪ گھڻ-پرت واري ترڪيب ۾ صرف پرت جا نالا، جمع ڪرڻ جو وقت، گئس جي وهڪري، ۽ بجلي جي سيٽنگ شامل نه هجڻ گهرجن. ان کي سامان جي مڪمل حالت جي منتقلي کي بيان ڪرڻ گهرجي، جنهن ۾ پمپنگ حالتون، بنيادي دٻاءُ جي قابليت، سورس ڪنڊيشننگ، سبسٽريٽ هيٽنگ، پلازما صفائي، گئس اسٽيبلائيزيشن، پاور ريمپنگ، شٽر آپريشن، موشن سنڪرونائيزيشن، اينڊ پوائنٽ ڊيٽيڪشن، انٽرليئر ٽرانزيشن، کولنگ، وينٽنگ، ۽ ان لوڊنگ شامل آهن.

هر آپريشن کي صرف گذري ويل وقت سان ڳنڍڻ بدران پروسيس جي حالتن سان ڳنڍڻ گهرجي. مثال طور، جمع ڪرڻ صرف ان ڪري شروع نه ٿيڻ گهرجي جو پمپنگ ٽائمر ختم ٿي ويو آهي. سسٽم کي تصديق ڪرڻ گهرجي ته دٻاءُ، ليڪ جي شرح جو رجحان، سبسٽريٽ جو گرمي پد، ٿڌي پاڻي جي حيثيت، ۽ ذريعو تياري گهربل شرطن کي پورو ڪن ٿا.

ساڳئي طرح، پوئين ذريعو بند ٿيڻ کان فوري طور تي ايندڙ پرت شروع نه ٿيڻ گهرجي. ڪنٽرولر کي تصديق ڪرڻ جي ضرورت پوندي ته پوئين گئس خالي ڪئي وئي آهي، نئين گئس جو وهڪرو مستحڪم آهي، ٽارگيٽ پري اسپٽرنگ مڪمل ڪري چڪو آهي، ۽ سبسٽريٽ صحيح پوزيشن ۽ درجه حرارت تي پهچي چڪو آهي.

وڏي پيماني تي پيداوار لاءِ ترڪيب جي نسخي جو ڪنٽرول پڻ اهم آهي. طاقت، دٻاءُ، گئس جي وهڪري، پرت جي ٿلهي، بائيس وولٽيج، يا اينڊ پوائنٽ معيار ۾ تبديليون رڪارڊ ڪيون وڃن ۽ لاڳاپيل پيداوار بيچ سان ڳنڍيل هجن. اهو فلم جي ڪارڪردگي جي تبديلي کي سامان جي پيرا ميٽرز ۽ عمل جي تبديلين تائين واپس ڳولڻ ممڪن بڻائي ٿو.

گھڻن وضاحتن سان گڏ پراڊڪٽس لاءِ، سامان کي ماڊيولر ترڪيب جي جوڙجڪ کي سپورٽ ڪرڻ گهرجي. عام آپريشن جهڙوڪ پمپنگ، پلازما صفائي، ايڊهيشن-ليئر جمع ڪرڻ، يا کولنگ کي ٻيهر استعمال لائق پروسيس ماڊلز جي طور تي ترتيب ڏئي سگهجي ٿو، جڏهن ته پراڊڪٽ-مخصوص پرت اسٽيڪ الڳ الڳ ڪنٽرول ٿيل رهن ٿا.

آٽوميشن سسٽم کي موجوده پرت جي مطابق غير معمولي حالتن کي پڻ منظم ڪرڻ گهرجي. ٿلهي ڌاتو جي پرت دوران هڪ مختصر آرڪ واقعي کي خودڪار آرڪ دٻائڻ ۽ جاري جمع ڪرڻ ذريعي سنڀالي سگهجي ٿو. نانو ميٽر-اسڪيل آپٽيڪل پرت دوران ساڳئي واقعي لاءِ سسٽم کي روڪڻ، معاوضو ڏيڻ، پرت کي ورجائڻ، يا بيچ کي معائني لاءِ نشان لڳائڻ جي ضرورت ٿي سگهي ٿي.

هي پرت کان واقف استثنا سنڀالڻ وارو منطق بنيادي مشين آٽوميشن ۽ حقيقي عمل آٽوميشن جي وچ ۾ هڪ اهم فرق آهي.

انفرادي سامان جي استحڪام کان وٺي پوري اسٽيڪ جي تسلسل تائين

سامان جي ڪوآرڊينيشن جو آخري مقصد صرف هر عمل جي مرحلي کي خودڪار طريقي سان مڪمل ڪرڻ ناهي. اهو يقيني بڻائڻ آهي ته جمع ٿيل ملٽي ليئر اسٽيڪ مسلسل ٺهيل فنڪشنل ڪارڪردگي کي ٻيهر پيدا ڪري.

ان لاءِ چئن سطحن تي هم آهنگي جي ضرورت آهي. پهريون ويڪيوم پمپ، والوز، پاور سپلاءِ، گيس سسٽم، ذريعن، هيٽر، حرڪت جي طريقن، سينسرز ۽ کولنگ سرڪٽس جي وچ ۾ هارڊويئر هم آهنگي آهي. ٻيو صفائي، چالو ڪرڻ، جمع ڪرڻ، رد عمل، منتقلي ۽ کولنگ جي وچ ۾ عمل هم آهنگي آهي. ٽيون ترڪيبون، سينسر سگنلز، الارم رڪارڊز، اينڊ پوائنٽ نتيجن، ۽ معيار جي ماپن جي وچ ۾ ڊيٽا هم آهنگي آهي. چوٿون لائف سائيڪل هم آهنگي آهي، جنهن ۾ ٽارگيٽ ايروشن، ذريعو سار سنڀال، چيمبر جي صفائي، سينسر ڪيليبريشن، فڪسچر حالت، ۽ عمل معاوضو شامل آهن.

جيئن جيئن فنڪشنل ڪوٽنگون وڌيڪ پيچيده ٿينديون وينديون، تيئن تيئن سامان جي صلاحيت جو جائزو هڪ واحد جمع ذريعو جي بدران مڪمل فلم اسٽيڪ کي ڪنٽرول ڪرڻ جي صلاحيت سان وڌيڪ ٿيندو. نازڪ سوال هاڻي محدود نه هوندا ته ڇا ڪا مشين هڪ خاص مواد جمع ڪري سگهي ٿي. ٺاهيندڙن کي اهو به ڏيکارڻ جي ضرورت پوندي ته ڇا سامان انٽرفيس جي معيار کي برقرار رکي سگهي ٿو، جمع ٿيل دٻاءُ کي ڪنٽرول ڪري سگهي ٿو، ڪراس آلودگي کي گهٽائي سگهي ٿو، سورس ڊرفٽ جي تلافي ڪري سگهي ٿو، اسپيڪٽرل يا برقي ڪارڪردگي کي ٻيهر پيدا ڪري سگهي ٿو، ۽ بيچ کان بيچ تسلسل حاصل ڪري سگهي ٿو.

تنهن ڪري ملٽي ليئر فنڪشنل-فلم جمع ڪرڻ سامان جي فن تعمير ۽ پروسيس انجنيئرنگ جي وچ ۾ هڪ هم آهنگ رابطي آهي. ويڪيوم استحڪام ماحولياتي بنياد فراهم ڪري ٿو، ذريعو ۽ طاقت جي هم آهنگي مواد جي ترسيل کي طئي ڪري ٿي، گيس ڪنٽرول ساخت کي منظم ڪري ٿو، سبسٽريٽ حرڪت مقامي هڪجهڙائي کي طئي ڪري ٿي، حرارتي ۽ تعصب ڪنٽرول فلم جي واڌ کي متاثر ڪري ٿو، ۽ ان-سيٽو مانيٽرنگ اصل ڪوٽنگ جي نتيجي کي ڊزائين ڪيل پرت اسٽيڪ سان ڳنڍي ٿي.

صرف تڏهن جڏهن اهي ذيلي نظام هڪ متحد عمل-ڪنٽرول حڪمت عملي تحت ڪم ڪن ٿا ته ڪيترائي انفرادي پرت هڪ مستحڪم، ورجائي سگهن ٿا، ۽ وڏي پيماني تي پيدا ٿيندڙ فنڪشنل فلم سسٽم بڻجي سگهن ٿا.

-هي مضمون شايع ڪيو ويو آهي پارانويڪيوم ڪوٽنگ سامان ٺاهيندڙزينهوا ويڪيوم