Ha ditshebediso tsa filimi e tshesane di ntse di tswela pele ho fetoha, lera le le leng la ho kwahela hangata ha le sa lekana ho fihlela ditlhoko tse kopaneng tsa tshebetso ya optical, conductivity ya motlakase, ho hanyetsa ho tsofala, ho hanyetsa ho bola, botsitso ba tikoloho, matla a bokahodimo, le ponahalo ya mokgabiso. Dihlahisweng tse ngata tse tswetseng pele, tshebetso e hlokahalang e fihlellwa ka sehlopha sa filimi sa lera le nang le mekhahlelo e mengata moo lera ka leng le etsang mosebetsi o itseng mme le sebelisana le lera le ka hodimo le ka tlase ho lona.
Meaho e tloaelehileng e ka kenyelletsa lera la ho khomarela, lera la ts'ebetso la tšepe kapa la dielectric, lera la tokiso ea mahlo, thibelo ea ho hasana, lera le thata la tšireletso, le topcoat e nang le matla a tlase. Litšebelisong tsa mahlo, lisebelisoa tse fapanyetsanang tsa index ea holimo le e tlase li ka sebelisoa ho laola phetisetso, khanya, 'mala le karabelo ea spectral. Lits'ebetsong tsa elektroniki le tsa photovoltaic, li-oxide tse tsamaisang motlakase tse bonaletsang, li-electrode tsa tšepe, likarolo tsa buffer, le likarolo tsa thibelo li ka 'na tsa hloka ho beoa ka tatellano. Lits'ebetsong tsa likoloi le tsa bareki-elektroniki, likarolo tse entsoeng ka tšepe li ka kopanngoa le liaparo tse sireletsang, likarolo tsa tšepe tse sa tsamaisang motlakase tse sa tsamaisang motlakase, liaparo tsa carbon tse kang daemane, kapa likarolo tse khahlanong le menoana.
Tshebetso ya ditsamaiso tsena tse nang le mealo e mengata ha e itshetlehe feela hodima hore na thepa ka nngwe e ka bewa ka katleho. Ho itshetlehile ka hore na sistimi yohle ya ho kwahela ka vacuum e ka hokahanya maemo a vacuum, mehlodi ya ho kwahela, dikgase tsa tshebetso, motsamao wa substrate, mocheso, motlakase wa leeme, tlhokomelo ya botenya ba filimi, le nako ya phetoho ya lera ho pholletsa le potoloho e felletseng ya ho kwahela.
Ka lebaka lena, ho kenngoa ha filimi e sebetsang ka mekhahlelo e mengata ha hoa lokela ho utloisisoa e le ho pheta-pheta habonolo ha lits'ebetso tse 'maloa tsa lera le le leng. Ke mosebetsi oa tlhahiso oa boemo ba sistimi o thehiloeng ho hokahanngoa ha lisebelisoa ka nepo.
Filimi e Lokela ho Tšoaroa e le Ts'ebetso e Tsoelang Pele
Ka har'a seaparo se nang le mekhahlelo e mengata, ho phethoa ha lera le le leng le hona ke boemo ba ho qala ba le latelang. Sebopeho sa bokaholimo, ho ba thata, mocheso, khatello e setseng, khase e monyang, ho pepesehela plasma, le tšilafalo ea sebopeho kaofela li ka ama nucleation le kholo ea lera le latelang.
Lera le fihlelang botenya ba lona bo ikemetseng kapa sepheo sa sebopeho le ntse le ka baka mathata bakeng sa stack e felletseng ea filimi. Ho phatloha ho feteletseng ha li-ion nakong ea ho beoa ha lera le teteaneng le sebetsang ho ka eketsa khatello ea khatello. Nako e telele ea ho leta lipakeng tsa lera tse peli e ka lumella likhase tse setseng ho monya holim'a metsi. Phetoho e sa nepahalang ea khase e arabelang e ka baka tšilafalo e tšelang kapa ho thehoa ha metsoako e sa tsitsang. Ho futhumatsa substrate ho feteletseng ho ka ntlafatsa bongata ba lera le le leng ha ho ntse ho feta mamello ea mocheso ea substrate kapa ho senya lera le neng le behiloe pele.
Ka hona, sistimi ea taolo e tlameha ho laola sethala sa filimi e le ts'ebetso e le 'ngoe e tsoelang pele ho fapana le ho ba pokello ea mehato e ikemetseng ea ho beha. Lera ka leng le lokela ho ba le maemo a ho kena a hlalositsoeng ka ho hlaka, maemo a ho beha, litekanyetso tsa ho felisa, le maemo a phetoho.
Pele lera le latelang le qala, disebediswa di ka hloka ho netefatsa hore kgatello ya kamore, boemo ba kgase e setseng, mocheso wa substrate, boemo ba sepheo, sebopeho sa kgase, boemo ba phepelo ya motlakase, le boemo ba substrate di fihlile fensetereng e boletsweng ya tshebetso. Mokhoa ona wa ho phethahatsa maemo o tshepahala ho feta ho fetola lera ho ya ka tatellano ya nako e tsitsitseng feela.
Bakeng sa li-stack tse rarahaneng, diresepe tsa ts'ebetso li lokela ho ba le ts'ebetso ea mekhahlelo e fapaneng joalo ka ho hloekisa plasma, ho kenya tšebetsong li-ion, ho hloekisa khase, ho sireletsa mohloli, ho fetola shutter, ho rampa ka matla, ho pholisa substrate, kapa ho leta ho laoloang. Ts'ebetso ena ea phetoho ke likarolo tsa bohlokoa tsa ts'ebetso ea ho roala hobane li ama ka kotloloho ho khomarela sebopeho, sebopeho sa lik'hemik'hale, ho ata ha roughness, le khatello ea masala.
Ho Kopanya Sistimi ea Vacuum ho Theha Motheo oa Ts'ebetso e Tloaelehileng
Mealo yohle ka hara sebopeho sa mealo e mengata e na le tikoloho e tshwanang ya vacuum, empa thepa e fapaneng le mekgwa ya ho beha diphaephe e ka hloka kgatello e fapaneng ya tshebetso, metswako ya kgase, lebelo la ho pompa, le mawa a taolo ya tshilafatso.
Sistimi ea vacuum e tlameha ho fana ka khatello ea motheo e hloekileng le e tsitsitseng ka ho lekaneng pele ho qala ho kenngoa. Mouoane oa metsi, oksijene, li-hydrocarbon, le likhase tse setseng tsa ts'ebetso li ka ama bohloeki ba filimi, ho khomarela, ho monngoa ha optical, ho hanyetsa motlakase, le botsitso ba sebopeho. Bakeng sa mekhahlelo e amohelang mongobo kapa oksijene, esita le phetoho e nyane mofuteng oa khase e setseng e ka fetola litšobotsi tsa ho qetela tsa stack.
Leha ho le jwalo, kgatello e tlase ka ho fetisisa ya kamore ha se kamehla e leng yona feela sepheo. Nakong ya ho kenya, sistimi e tlameha ho boloka botsitso bo nepahetseng ba matla pakeng tsa ho kenya khase le lebelo le sebetsang la ho pompa. Valve ya taolo ya kgatello, dipompo tsa vacuum, balaodi ba phallo ya boima, sistimi ya kabo ya khase, le tsamaiso ya kamore di tlameha ho sebetsa mmoho ho boloka kgatello e tsitsitseng ya tshebetso ho pholletsa le lera ka leng.
Ha ts'ebetso e fetoha ho tloha ho sputtering ea tšepe ho ea ho sputtering e arabelang, kapa ho tloha ho hloekiseng plasma ea argon ho ea ho deposition e thusoang ke oksijene kapa naetrojene, sepakapaka sa kamore se ke ke sa fetoloa hang-hang. Sistimi ea taolo e tlameha ho ikarabella bakeng sa nako ea bolulo ba khase, ho monngoa ha lebota, karabelo ea sepheo, le litšobotsi tsa karabelo ea sistimi ea ho pompa. Phetoho e sa laoleheng hantle e ka etsa hore qalo ea lera le latelang e beoe tlas'a motsoako o sa tsitsang oa khase.
Taba ena e bohlokoa haholo ho sputtering ea magnetron e arabelang. Mekhoa ea sputtering e arabelang e ka bontša kamano e seng ea mola o le mong pakeng tsa phallo ea khase e arabelang, boemo ba bokaholimo ba sepheo, motlakase o ntšitsoeng, sekhahla sa ho beoa ha lintho, le stoichiometry ea filimi. Ts'ebetso e haufi le phetoho lipakeng tsa maemo a sepheo a tšepe le a chefo e ka fetoha e sa tsitsang ntle le taolo e loketseng ea karabelo. Tlhokomelo ea khatello e sa fellang, tlhokomelo ea tlhahiso ea plasma, karabelo ea sepheo le motlakase, le taolo ea phallo ea boima bo phahameng ba karabelo li ka kopanngoa ho tsitsisa ts'ebetso.
Litsamaisong tsa ho roala tse nang le likamore tse ngata kapa tse hokahaneng, ho hokahanya ha vacuum ho boetse ho kenyelletsa ho ikarola ha khatello pakeng tsa libaka tse haufi tsa ts'ebetso. Likamore tse notlellang mojaro, likamore tsa buffer, likamore tsa phetisetso, li-valve tsa slit, likarolo tsa ho pompa tse fapaneng, le meaho ea karohano ea khase li ka fokotsa tšilafalo e tšelang 'me tsa lumella mekhahlelo e fapaneng ho beoa tlas'a sepakapaka se ikemetseng.
Bakeng sa litsamaiso tsa ho roll-to-roll le tse tsoelang pele tse hokahaneng, libaka tse haufi tsa ho roala li ka ba le lits'ebetso tse fapaneng tsa tšepe, dielectric, kapa tse arabelang. Karohano ea khase, ho pompa ho laoloang, taolo ea mocheso oa substrate, le tekanyo ea in-situ li tlameha ho sebetsa hammoho ho thibela karolo e 'ngoe ea ts'ebetso ho susumetsa e 'ngoe.
Mehloli ea ho tlosa motlakase, phepelo ea motlakase le phano ea khase li tlameha ho sebetsa e le sistimi e le 'ngoe
Lifilimi tse sebetsang ka mekhahlelo e mengata li ka hloka mahlale a 'maloa a ho beha ka har'a sethala se le seng sa lisebelisoa. Ho latela ts'ebeliso, sistimi e ka kopanya ho sputtering ha magnetron ea DC, ho sputtering ha DC e pulsed, ho sputtering ha maqhubu a mahareng, ho sputtering ha maqhubu a radio, HiPIMS, ho emoa ha mocheso, ho emoa ha electron-beam, ho sputtering e thusitsoeng ke ion, PECVD, kapa ALD ea sebaka.
Mohloli o mong le o mong o na le litšobotsi tsa oona tsa ho hotetsa, karabelo ea matla, boitšoaro ba sekhahla sa ho beoa, mojaro oa mocheso, kabo ea plasma, le mokhoa oa tšebeliso ea thepa. Tlhahiso e tsitsitseng ea mekhahlelo e mengata e itšetlehile ka hore na mehloli ena e hokahantsoe joang ho fapana le hore na ho kentsoe mehloli e mekae feela.
Pele sepheo se sebediswa bakeng sa ho kenya sehlahiswa, sistimi e ka nna ya hloka ho etsa pre-sputtering kapa target conditioning ka shutter e kwetswe. Sena se tlosa tshilafatso ya bokahodimo mme se tsitsisa motlakase wa sepheo, ho ntsha motlakase, le sekgahla sa ho kenya. Ha o fetola ho tloha thepa e nngwe ho ya ho e nngwe, thebe ya mohlodi, boemo ba shutter, sebopeho sa kgase, ramp ya motlakase, le boemo ba substrate di lokela ho etswa ka tatellano e nepahetseng.
Lisebelisoa tsa motlakase ha lia lokela ho fetoloa ka ho toba ho tloha ho lefela ho ea sebakeng sa ho qetela. Tatellano e laoloang ea ho nyoloha le ho theoha ha motlakase e ka fokotsa ho ntšoa ha motlakase ho sa tloaelehang, tlhahiso ea likaroloana, ho tšoha ha mocheso le liketsahalo tsa arc. Bakeng sa lits'ebetso tse arabelang, taolo ea motlakase e tlameha ho hokahanngoa le phallo ea khase le karabelo ea ho pompa ho qoba ho khanna sepheo ka potlako sebakeng se sa tsitsang sa ts'ebetso.
Sistimi ea ho boloka motlakase e kopaneng, ho hokahanya ho ba bohlokoa le ho feta. Mohlala, lera la tšepe le ka beoa ke DC magnetron sputtering, ha lera la dielectric le hloka DC e pulsed, maqhubu a mahareng, kapa ho hlasimolla ha RF. Lera le sireletsang le kang polymer le ka beoa ke PECVD. Molaoli oa ts'ebetso o tlameha ho laola meralo e fapaneng ea matla, marang-rang a tsamaellanang, liteishene tsa ho tsamaisa khase, maemo a ho hotetsa plasma, le li-interlock tsa polokeho ka har'a risepe e le 'ngoe.
Lisebelisoa li tlameha ho thibela tšebelisano-'moho ea mohloli o sa reroang. Li-cathode tse sebetsang ka nako e le 'ngoe li ka ama bongata ba plasma, bokhoni ba kamore, tšebeliso ea khase e arabelang, le ho futhumatsa substrate sebakeng seo. Haeba mehloli e mengata e sebelisoa bakeng sa ho kopanya, taolo ea motsoako e itšetlehile ka karolelano e tsitsitseng pakeng tsa sekhahla sa bona sa ho kenya. Sena se ka hloka karabelo e ikemetseng ea matla, mehlala ea sekhahla sa ho kenya e leka-lekaneng, kapa tlhokomelo ea sebopeho se koetsoeng.
Moralo oa kabo ea khase le oona oa bohlokoa ka ho lekana. Phallo eohle ea khase feela ha e khetholle ho tšoana ha filimi kapa stoichiometry. Sebaka sa li-inlets tsa khase, likou tsa ho pompa, li-cathode, lijari tsa substrate, le lithebe tsa kamore li khetholla bongata ba khase ea lehae le tikoloho ea plasma. Ka hona, leano la taolo ea lisebelisoa le tlameha ho ntlafatsoa hammoho le sebopeho sa kamore le moralo oa mohloli ho e-na le ho eketsoa ka mor'a hore moralo oa mechini o phethoe.
Substrate Motion Coordinates Ho Tšoana, Botenya ba Lera, le Moroalo oa Thermal
Sistimi ea motsamao oa substrate ke karolo ea bohlokoa ea ho kenngoa ha mealo e mengata hobane e etsa qeto ea hore na sebaka se seng le se seng sa bokaholimo se pepesehetse joang phallo ea ho kenngoa ha mealo, plasma, mocheso le tikoloho ea khase e arabelang.
Lisebelisoang tsa ho koahela ka bongata, ho potoloha ha substrate, phetoho, motsamao oa lipolanete, ho sisinyeha, kapa motsamao oa li-axis tse ngata ho ka sebelisoa ho ntlafatsa ho tšoana ha ho koahela holim'a li-workpiece tse bataletseng, tse kobehileng, kapa tse mahlakore a mararo. Litsamaisong tse tsoelang pele, lebelo la lipalangoang le ho hokahanya lipakeng tsa libaka tsa ts'ebetso li khetholla ka ho toba nako ea ho beha le botenya ba lera le bokelletsoeng.
Leano la motsamao le ke ke la etsoa ka boikemelo bakeng sa lera ka leng. Lebelo kapa tsela e loketseng lera la tšepe e kanna ea se be ntle ka ho fetisisa bakeng sa lera la dielectric le nang le kabo e fapaneng ea deposition. Ka mokhoa o ts'oanang, karolelano e tsitsitseng ea potoloho ea lipolanete e ka hlahisa ho lekana ho hoholo ha botenya ha e ntse e theha nalane e fapaneng ea ho pepesehela plasma likarolong tse rarahaneng tsa mahlakore a mararo.
Molaoli o tlameha ho hokahanya boemo ba substrate le matla a mohlodi, boemo ba shutter, phallo ea khase, le ntlha ea ho qetela ea lera. Ho beha ha substrate ho lokela ho qala feela ha mojari oa substrate a kene sebakeng se hlalositsoeng sa ho koahela 'me a fihlile boemong ba motsamao o tsitsitseng. Ha lera le phethetsoe, matla a mohlodi kapa boemo ba shutter bo ka hloka ho fetoha boemong bo itseng ba angular ho thibela ho koahela ho feteletseng sebakeng seo.
Ho potoloha ha polanete le motsamao o laolwang wa substrate di sebediswa haholo disebedisweng tse nepahetseng tsa ho kwahela ka mahlo ho ntlafatsa kabo ya botenya le ho pheta-pheta hodima bokahodimo ba substrate.
Bakeng sa khalase e kgolo, di-wafer tsa semiconductor, di-substrate tse tenyetsehang, le thepa ya webe e tswelang pele, botsitso ba motsamao e ba karolo ya sekgoqetsane sa taolo ya botenya ba filimi. Diphetoho lebelong la ho tsamaisa, mocheso wa moropa, kgatello ya webe, sebaka sa ho jara, kapa boemo ba ho emisa di ka fella ka ho kheloha ha botenya, diphapang tsa mmala, kganyetso ya lakane e sa tshwaneng, kapa tshebetso e sa tsitsang ya optical.
Taolo ea mocheso e tlameha ho tsamaisana le motsamao oa substrate. Mahlaseli a tsoang mehloling ea mouoane, ho phatloha ha li-ion, ho futhumatsa ha plasma, le matla a condensation li ka baka hore mocheso oa substrate o nyolohe butle-butle nakong ea ts'ebetso e telele ea mekhahlelo e mengata. Haeba lisebelisoa li laola feela tlhahiso ea heater ntle le ho nahana ka mocheso oa ts'ebetso o bokelletsoeng, mocheso oa 'nete oa substrate o ka kheloha haholo ho tloha sebakeng sa risepe.
Ka hona, sistimi e lokela ho hokahanya ho futhumatsa, ho pholisa, motsamao oa substrate, matla a ho beha, le linako tsa ho leta ho latela tekanyetso ea mocheso ea stack eohle. Meropa e laoloang ke mocheso, ho pholisa ka morao, ho pholisa ka har'a carrier, liprofaele tsa ho futhumatsa tse hlophisitsoeng ka mekhahlelo, le mehato ea ho pholisa ea mekhahlelo e fapaneng e ka hlokahala bakeng sa substrate tse amehang ke mocheso kapa meaho ea lifilimi e amehang ke mocheso.
Tlhokomelo ea Sebakeng e Hokela Stack e Entsoeng le Stack e Behiloeng
Moralo oa filimi ea mekhahlelo e mengata o hlalosa botenya ba khopolo-taba, index ea refractive, sebopeho, le tatellano ea lera ka leng. Lisebelisoa li tlameha ho fetola moralo ona hore e be lera la 'nete la ho koahela tlas'a maemo a fetohang a tlhahiso.
Sekhahla sa ho qhalana ha dintho se ka fapana ha sepheo se ntse se senyeha, mohlodi wa mouwane o fetola jiometri, dithebe tsa kamore di bokellana ka ho koaheloa, kapa maemo a kgase a arabelang a fetoha. Ka hona, ho laola lera le leng le le leng ka ho sebedisa nako e tsitsitseng feela ho ka eketsa phapang pakeng tsa stack ya kgopolo le ya nnete butle-butle.
Litekanyo tse nyane tsa kristale ea Quartz li atisa ho sebelisoa ho lekola sekhahla sa ho beoa le botenya ba 'mele bo bokelletsoeng. Bakeng sa liphahlo tsa optical tse nang le mekhahlelo e mengata, tlhokomelo e tobileng ea optical e ka fana ka tlhaiso-leseling e eketsehileng mabapi le karabelo ea optical ea filimi e ntseng e hola. Ho latela sistimi, phetisetso, reflectance, kapa karabelo ea spectral ea broadband e ka lekanyetsoa sebakeng seo.
Tlhokomelo ea mahlo e bohlokoa haholo hobane ts'ebetso ea ho qetela ea stack ea mahlo e itšetlehile ka botenya ba mahlo ho fapana le botenya ba jeometri feela. Sistimi e ka felisa lera ka leng ho latela karabelo ea eona ea mahlo e lekantsoeng 'me, ka maano a tsoetseng pele haholoanyane, e lefella liphapang tse nyane ka ho fetola botenya ba lera le latelang.
Mekhoa ea kajeno ea ho beha leihlo mahlo e ka lekanya kholo ea mekhahlelo e mengata ka kotloloho ho li-substrate tse potolohang le ho fana ka taolo ea ntlha ea ho qetela bakeng sa mekhahlelo ka bonngoe.
Bakeng sa dikoahelo tse tsamaisang motlakase, tsa semiconductor, le tse amanang le matla, tlhokomelo ya kahare ho sebaka e ka kenyeletsa ellipsometry ya spectroscopic, spectroscopy ya plasma-emission, tlhahlobo ya kgase e setseng, tekanyo ya ho hanyetsa lakane, kapa di-sensor tse ding tse ikgethang ka tshebetso. Mokgwa wa tlhokomelo o lokela ho kgethwa ho latela tšobotsi ya tshebetso e amehang haholo ke phapang ya tshebetso.
Sistimi e tšepahalang ea tlhokomelo e hloka ho fetang ho kenya sensor. Boemo ba sensor, ntlha ea lisebelisoa, tsela ea optical, ho sefa matšoao, maqhubu a ho lekanya, nako ea shutter, le ho hokahanya data kaofela li ama ho nepahala ha tekanyo. Molaoli o tlameha ho khetholla pakeng tsa liphetoho tse tloaelehileng tsa matšoao tse bakoang ke kholo ea lera le liphetoho tse sa tloaelehang tse bakoang ke phetoho ea plasma, ho koahela sensor, ho se tsitse ha mohloli, kapa motsamao oa substrate.
Leano la taolo le sebetsang ka ho fetisisa hangata le kopanya tlhahisoleseding e mabapi le ho fana ka maikutlo le ho fana ka maikutlo. Taolo e mabapi le ho fana ka maikutlo e sebedisa mehlala ya tshebetso e lekantsweng, puseletso ya bophelo ba sepheo, le maemo a tsebahalang a kamore ho fumana di-setting tsa di-parameter tsa pele. Taolo ya ho fana ka maikutlo e sebedisa ditekanyo tsa nako ya sebele ho lokisa diphapang nakong ya ho beha.
Tsamaiso ea Sebopeho sa Sebopeho e Etsa Hore na Mealo ka 'Ngoe e Fetoha Stack e Sebetsang
Sehokelo pakeng tsa mealo e 'meli hangata se bohlokoa ho feta litšobotsi tsa bongata ba mealo efe kapa efe feela. Ho khomarela, ho hasana ha mealo, ho oxidation, ho ba thata, ho se lumellane ha lattice, tšilafalo, le phetisetso ea khatello ea maikutlo kaofela li etsahala sehokelong.
Haeba bokaholimo ba lera le fetileng bo silafetse kapa bo sa tsitsa ka lik'hemik'hale, lera le latelang le ka 'na la bontša nucleation e fokolang kapa tlamo e fokolang. Haeba ho phatloha ha li-ion tse matla ho le matla haholo, ho ka ntlafatsa bongata empa hape ho baka ho phatloha ha maikutlo, ho kopanya sebopeho, ho thehoa ha sekoli, kapa khatello e feteletseng ea khatello. Haeba e fokola haholo, sekoahelo se ka ba le sebopeho se nang le masoba kapa sa columnar.
Ka hona, disebediswa di tlameha ho fana ka taolo e ikgethang ya lera ya lera la substrate, matla a mohlodi wa ione, bongata ba plasma, mocheso wa substrate, le nako ya phetoho. Diparamitha tsena ha di a lokela ho dula di sa fetohe nakong yohle ya tshebetso ya multilayer.
Lera la ho khomarela le ka hloka ts'ebetso e matla ea bokaholimo le thuso e phahameng ea li-ion. Lera la optical le bonolo le ka hloka matla a tlase a li-ion ho fokotsa ho monya le ho kopanya sebopeho. Lera le thata le sireletsang le ka hloka ho eketseha ha bongata ba plasma kapa leeme ho fumana bongata le ho thatafala ho lekaneng. Lera la holimo le nang le matla a tlase le ka hloka mocheso o tlase oa substrate le ho tsamaisoa ha pele ho nako ho laoloang ka hloko.
Ho se tsitse ha mealo e fapaneng le hona ho ka ata ka hara moalo. Hang ha diphoso tsa bokaholimo kapa kgolo ya di-nodular di qala, mealo e latelang e ka di eketsa. Ka hona, tshebetso e tlameha ho laola tlhahiso ya dikarolwana, kgatello ya arc, bohloeki ba mohlodi, tshilafatso ya sesebediswa, le boemo ba thebe ho tloha moalong wa pele ho ya pele.
Bakeng sa mekhahlelo e mengata ea nanometer, ho rarahana ha sebopeho le ho thehoa ha mekhahlelo e fapaneng ho ka ama ka ho toba ts'ebetso ea mahlo kapa ea elektroniki, e leng se etsang hore botsitso ba mohloli, ho nepahala ha motsamao, le taolo ea sebopeho li se ke tsa aroloa ho tloha moralo oa lisebelisoa.
Taolo ea khatello ea maikutlo le eona e lokela ho nahanoa ka har'a stack e felletseng. Thepa ka 'ngoe e ka hlahisa khatello ea ho hatelloa kapa ea ho hatelloa ho latela khatello ea ho beoa, matla a li-ion, mocheso, sebopeho sa micro, le botenya. Esita le ha khatello ea lera ka leng e amoheleha, khatello e bokelletsoeng ea sebopeho se teteaneng sa mekhahlelo e mengata e ka baka ho fetoha, ho petsoha, ho taboha, kapa ho sotha ha mahlo.
Ka hona risepe ea lisebelisoa e lokela ho leka-lekanya tatellano ea lera, matla a ho beha, boemo ba mocheso, kabo ea botenya le maemo a ho pholisa. Lits'ebetsong tse ling, lera la puseletso ea khatello ea maikutlo kapa li-interface tse hlophisitsoeng ka maemo li ka hlahisoa ho ntlafatsa botsitso ba sebopeho.
Ho Hlophisa Diresepe ho Fetolela Tsebo ya Tsamaiso ho ba Tlhahiso e Pheta-phetoang
Mokhoa o felletseng oa ho hokahanya ha ho beoa ha mekhahlelo e mengata qetellong o kenngoa tšebetsong ka risepe ea ts'ebetso le meralo ea taolo ea othomathike.
Risepe ea mekhahlelo e mengata ha ea lokela ho ba le mabitso a mekhahlelo feela, nako ea ho beha, phallo ea khase le litlhophiso tsa motlakase. E lokela ho hlalosa boemo bo felletseng ba phetoho ea lisebelisoa, ho kenyeletsoa maemo a ho pompa, ho tšoaneleha ha khatello ea motheo, ho lokisa mohloli, ho futhumatsa substrate, ho hloekisa plasma, ho tsitsisa khase, ho rampanya matla, ts'ebetso ea shutter, ho hokahanya motsamao, ho lemoha ntlha ea ho qetela, phetoho ea mekhahlelo e fapaneng, ho pholisa, ho ntša moea le ho theola thepa.
Ts'ebetso e 'ngoe le e 'ngoe e lokela ho hokahanngoa le maemo a ts'ebetso ho fapana le nako e fetileng feela. Mohlala, ho kenngoa ha metsi ha hoa lokela ho qala hobane feela nako ea ho pompa e felile. Sistimi e lokela ho netefatsa hore khatello, mokhoa oa ho lutla ha metsi, mocheso oa substrate, boemo ba metsi a pholileng, le ho itokisetsa mohloli ho fihlela maemo a hlokahalang.
Ka ho tšoanang, lera le latelang ha lea lokela ho qala hang ka mor'a hore mohloli o fetileng o tingoe. Molaoli a ka 'na a hloka ho netefatsa hore khase e fetileng e tlositsoe, phallo e ncha ea khase e tsitsitse, sepheo se qetile ho qhala pele ho ts'ebetso, 'me substrate e fihlile boemong le mochesong o nepahetseng.
Taolo ea mofuta oa diresepe le eona ea bohlokoa bakeng sa tlhahiso ea bongata. Liphetoho matleng, khatellong, phallong ea khase, botenya ba lera, motlakase oa leeme, kapa litekanyetso tsa ntlha ea qetello li lokela ho tlalehoa le ho hokahanngoa le sehlopha se tsamaellanang sa tlhahiso. Sena se etsa hore ho khonehe ho latela phapang ea ts'ebetso ea filimi ho khutlela ho liparamente tsa lisebelisoa le liphetoho tsa ts'ebetso.
Bakeng sa dihlahiswa tse nang le ditlhaloso tse ngata, disebediswa di lokela ho tshehetsa dibopeho tsa diresepe tsa modular. Mesebetsi e tlwaelehileng jwalo ka ho pompa, ho hlwekisa plasma, ho boloka lera la kgomarelo, kapa ho phodisa e ka hlophiswa e le dimmojule tsa tshebetso tse ka sebediswang hape, ha meqolo ya lera e ikgethang ya sehlahiswa e ntse e laolwa ka thoko.
Sistimi ea othomathike e lokela ho laola maemo a sa tloaelehang ho latela lera la hajoale. Ketsahalo e khutšoanyane ea arc nakong ea lera le teteaneng la tšepe e ka sebetsoa ka ho hatelloa ha arc ka boiketsetso le ho tsoela pele ho kenngoa. Ketsahalo e tšoanang nakong ea lera la optical la nanometer-scale e ka hloka hore sistimi e emise, e buseletse, e phete lera, kapa e tšoaee sehlopha bakeng sa tlhahlobo.
Mokhoa ona oa ho sebetsana le mekhelo o elelloang ke maemo a holimo ke phapang ea bohlokoa lipakeng tsa boiketsetso ba mochini ba motheo le boiketsetso ba 'nete ba ts'ebetso.
Ho tloha Botsitsong ba Thepa ea Motho ka Mong ho ea ho Botsitso ba Stack e Felletseng
Sepheo sa ho hokahanya disebediswa ha se feela ho qeta mohato o mong le o mong wa tshebetso ka boiketsetso. Ke ho netefatsa hore stack e nang le di-multilayer e ntse e hlahisa tshebetso e reretsweng ka ho hlaka.
Sena se hloka ho hokahana maemong a mane. Ea pele ke ho hokahana ha disebediswa tsa motlakase pakeng tsa dipompo tsa vacuum, di-valve, phepelo ya motlakase, ditsamaiso tsa kgase, mehlodi, di-heater, mekgwa ya motsamao, di-sensor le dipotoloho tsa ho phodisa. Ya bobedi ke ho hokahana ha tshebetso pakeng tsa ho hlwekisa, ho kenya tshebetsong, ho beha, karabelo, phetoho le ho phodisa. Ya boraro ke ho hokahana ha data pakeng tsa diresepe, matshwao a di-sensor, direkoto tsa alamo, diphetho tsa pheletso le ditekanyo tsa boleng. Ya bone ke ho hokahana ha potoloho ya bophelo, ho kenyeletswa kgoholeho ya mobu e rerilweng, tlhokomelo ya mohlodi, ho hlwekisa kamore, ho lekanya di-sensor, boemo ba sesebediswa, le puseletso ya tshebetso.
Ha dikobo tse sebetsang di ntse di rarahana le ho feta, bokgoni ba disebediswa bo tla hlahlojwa ka bokgoni ba tsona ba ho laola pokello e felletseng ya filimi ho ena le mohlodi o le mong wa ho kenya di-depositi. Dipotso tsa bohlokwa ha di sa tla hlola di lekanyetswa ho hore na mochini o ka kenya thepa e itseng. Bahlahisi ba tla boela ba hloke ho bontsha hore na disebediswa di ka boloka boleng ba sebopeho, tsa laola kgatello e bokelletsweng, tsa fokotsa tshwaetso e tshekaletseng, tsa buseletsa ho phaphamala ha mohlodi, tsa hlahisa tshebetso ya spectral kapa ya motlakase, mme tsa fihlella botsitso ba sehlopha ho ya ho sehlopha.
Ka hona, ho beoa ha filimi e sebetsang ka mekhahlelo e mengata ke tšebelisano e hokahaneng pakeng tsa meralo ea lisebelisoa le boenjiniere ba ts'ebetso. Botsitso ba vacuum bo fana ka motheo oa tikoloho, khokahano ea mohloli le matla ho khetholla phano ea thepa, taolo ea khase e laola sebopeho, motsamao oa substrate o khetholla ho tšoana ha sebaka, taolo ea mocheso le leeme e susumetsa kholo ea filimi, 'me tlhokomelo ea sebakeng seo e hokahanya sephetho sa 'nete sa ho roala le stack ea lera e entsoeng.
Ke feela ha ditsamaiso tsena tse nyane di sebetsa tlasa leano le kopaneng la taolo ya tshebetso moo dikarolo tse ngata ka bomong di ka bang sistimi e tsitsitseng, e ka phetwang, le e sebetsang ka bongata.
-Sengoloa sena se phatlalalitsoe kemoetsi oa lisebelisoa tsa ho roala ka vacuumLetsoho la Zhenhua
Nako ea poso: Phupu-16-2026