อุปกรณ์นี้ใช้โครงสร้างการออกแบบแบบโมดูลาร์แนวตั้งและติดตั้งประตูเข้าหลายบานเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตั้งและบำรุงรักษาโพรง การประกอบ และการอัปเกรดในอนาคตโดยอิสระ ติดตั้งระบบลำเลียงวัสดุที่ผ่านการทำให้บริสุทธิ์แบบปิดสนิทเพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนของชิ้นงาน ชิ้นงานสามารถเคลือบได้ด้านเดียวหรือทั้งสองด้าน โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการเคลือบฟิล์มสีออปติคอลหรือฟิล์มโลหะ
ห้องเคลือบของอุปกรณ์รักษาสถานะสูญญากาศสูงเป็นเวลานานโดยมีก๊าซเจือปนน้อยลง ความบริสุทธิ์ของการเคลือบสูง และดัชนีการหักเหแสงที่ดี ระบบควบคุมวงปิด Speedflo อัตโนมัติเต็มรูปแบบได้รับการกำหนดค่าเพื่อปรับปรุงอัตราการสะสมฟิล์ม สามารถติดตามพารามิเตอร์กระบวนการได้ และสามารถตรวจสอบกระบวนการผลิตได้ในกระบวนการทั้งหมดเพื่ออำนวยความสะดวกในการติดตามข้อบกพร่องในการผลิต อุปกรณ์นี้มีระดับการทำงานอัตโนมัติสูง สามารถใช้ร่วมกับแมนิพิวเลเตอร์เพื่อเชื่อมต่อกระบวนการด้านหน้าและด้านหลังและลดต้นทุนแรงงาน
สายการผลิตสารเคลือบสามารถใช้เคลือบ Nb2O5, ซิลิกอนไดออกไซด์2, ติโอ2, ใน, Cu, Cr, Ti, SUS, Ag และออกไซด์อื่น ๆ รวมถึงวัสดุโลหะธรรมดา ส่วนใหญ่ใช้ในกระบวนการซ้อนทับของโลหะและวัสดุออปติกด้วยฟิล์มสีออปติก เหมาะสำหรับผลิตภัณฑ์แบนที่ทำจากแก้ว, PC,สัตว์เลี้ยงและวัสดุอื่นๆ มีการใช้กันอย่างแพร่หลายในแผ่นฟิล์ม PET / แผ่นคอมโพสิต แผ่นปิดกระจก หน้าจอแสดงผล และผลิตภัณฑ์อื่นๆ