อุปกรณ์นี้ผสานรวมเทคโนโลยีการสปัตเตอร์แมกนีตรอนและการเคลือบไอออนเข้าด้วยกัน และให้โซลูชันสำหรับการปรับปรุงความสม่ำเสมอของสี อัตราการสะสม และความเสถียรขององค์ประกอบสารประกอบ ตามความต้องการของผลิตภัณฑ์ที่แตกต่างกัน สามารถเลือกระบบทำความร้อน ระบบอคติ ระบบไอออนไนเซชัน และอุปกรณ์อื่นๆ ได้ การเคลือบที่เตรียมโดยอุปกรณ์มีข้อดีของการยึดเกาะที่แข็งแรงและความแน่นหนาสูง ซึ่งสามารถปรับปรุงความต้านทานการพ่นเกลือ ความต้านทานการสึกหรอ และความแข็งของพื้นผิวของผลิตภัณฑ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ และตอบสนองข้อกำหนดในการเตรียมการเคลือบประสิทธิภาพสูง
อุปกรณ์เคลือบทดลองส่วนใหญ่ใช้ในมหาวิทยาลัยและสถาบันวิจัยทางวิทยาศาสตร์ และสามารถตอบสนองความต้องการในการทดลองที่หลากหลาย เป้าหมายโครงสร้างต่างๆ ถูกสงวนไว้สำหรับอุปกรณ์ ซึ่งสามารถกำหนดค่าได้อย่างยืดหยุ่นเพื่อตอบสนองการวิจัยทางวิทยาศาสตร์และการพัฒนาในสาขาต่างๆ ระบบสปัตเตอร์แมกนีตรอน ระบบอาร์คแคโทด ระบบระเหยลำแสงอิเล็กตรอน ระบบระเหยความต้านทาน CVD, PECVD แหล่งไอออน ระบบอคติ ระบบทำความร้อน อุปกรณ์สามมิติ ฯลฯ สามารถเลือกได้ตามความต้องการที่แตกต่างกัน
อุปกรณ์มีคุณลักษณะเฉพาะของรูปลักษณ์สวยงาม โครงสร้างกะทัดรัด พื้นที่ขนาดเล็ก ระดับอัตโนมัติสูง การทำงานที่เรียบง่ายและยืดหยุ่น ประสิทธิภาพที่เสถียร และการบำรุงรักษาที่ง่าย
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้กับสแตนเลส ฮาร์ดแวร์ชุบไฟฟ้า / ชิ้นส่วนพลาสติก แก้ว เซรามิก และวัสดุอื่น ๆ สามารถเตรียมชั้นโลหะธรรมดาเช่นไททาเนียม โครเมียม เงิน ทองแดง หรือฟิล์มสารประกอบโลหะเช่น TiN / TiCN / TiC / TiO2 / TiAlN / CrN / ZrN / CrC ได้ สามารถทำสีดำเข้ม ทองหลอม ทองชมพู ทองเลียนแบบ ทองเซอร์โคเนียม สีน้ำเงินแซฟไฟร์ เงินสดใส และสีอื่น ๆ
| ZCL0506 | ZCL0608 | ZCL0810 |
| φ500*สูง600(มม.) | φ600*สูง800(มม.) | φ800*สูง1000(มม.) |