Деламинатсияи рӯйпӯш, ки бо номи нокомии часпак ё пӯстканӣ низ маълум аст, як масъалаи муҳими сифат дар равандҳои таҳшинкунии вакуумӣ мебошад. Ин падида вақте рух медиҳад, ки плёнкаи таҳшиншуда аз субстрат ҷудо мешавад ва ҳам кори функсионалӣ ва ҳам якпорчагии сохториро зери хатар мегузорад. Як...
Дар пӯшиши вакуумӣ, назорати ҳарорат танҳо як параметр нест - он асоси сифати плёнка, часпидан ва такроршавандагӣ мебошад. Аз гармкунии субстрат то хунуккунӣ, ҳар як марҳилаи каҷравии ҳарорат мустақиман ба сохтори плёнка, морфологияи сатҳ ва кори оптикӣ ё механикӣ таъсир мерасонад...