이 장비는 수직 모듈식 설계 구조를 채택했으며, 캐비티의 독립적인 설치 및 유지 관리, 조립 및 향후 업그레이드를 용이하게 하기 위해 여러 개의 접근 도어를 갖추고 있습니다. 소재 오염을 방지하기 위해 완전히 밀폐된 정제된 소재 랙 이송 시스템을 갖추고 있습니다. 소재는 단면 또는 양면 코팅이 가능하며, 주로 광학 컬러 필름이나 금속 필름 증착에 사용됩니다.
장비의 코팅실은 장시간 고진공 상태를 유지하며, 불순물 가스가 적고 코팅 순도가 높으며 굴절률이 우수합니다. 완전 자동 Speedflo 폐루프 제어 시스템은 박막 증착 속도를 향상시키도록 설계되었습니다. 공정 파라미터를 추적하고 전체 공정에서 생산 공정을 모니터링하여 생산 결함을 쉽게 추적할 수 있습니다. 이 장비는 높은 수준의 자동화를 갖추고 있으며, 매니퓰레이터와 함께 사용하여 전후 공정을 연결하고 인건비를 절감할 수 있습니다.
코팅 생산 라인은 Nb 코팅에 사용될 수 있습니다.2O5, SiO2, 이산화티타늄2, in, Cu, Cr, Ti, SUS, Ag 및 기타 산화물뿐만 아니라 단순 금속 재료에도 사용됩니다. 주로 금속과 광학 재료의 중첩을 통한 광학 컬러 필름 공정에 사용됩니다. 유리, PC,애완 동물및 기타 소재에 사용됩니다. PET 필름/복합판, 유리 커버판, 디스플레이 화면 등 다양한 제품에 널리 사용됩니다.