(3) RFCVD(Radio Frequency Plasma CVD) RF는 용량 결합 방식과 유도 결합 방식의 두 가지 다른 방법으로 플라즈마를 생성하는 데 사용할 수 있습니다. RF 플라즈마 CVD는 13.56MHz의 주파수를 사용합니다. RF 플라즈마의 장점은 마이크로파 플라즈마보다 훨씬 더 넓은 영역으로 확산된다는 것입니다.
열 필라멘트 CVD는 저압에서 다이아몬드를 성장시키는 가장 초기이자 가장 널리 사용되는 방법입니다. 1982년 마츠모토 등은 내화성 금속 필라멘트를 2000°C 이상으로 가열했는데, 이 온도에서 필라멘트를 통과하는 H₂ 가스는 수소 원자를 쉽게 생성합니다. 수소 원자의 생성은...