마그네트론 스퍼터링 및 플라즈마 증착 공정에서 전원 공급 장치 유형은 플라즈마 안정성, 스퍼터링 효율, 박막 밀도 및 공정 반복성을 결정하는 데 매우 중요한 역할을 합니다. 가장 널리 사용되는 전원 공급 장치 유형은 무선 주파수(RF) 전원 공급 장치와 중주파(MF) 전원 공급 장치입니다.
1. 응용 분야 배경: HDI PCB, IC 기판 및 첨단 패키징 기판의 급속한 발전으로 전자 제조 산업은 미세 구멍 드릴링의 정확성, 일관성 및 신뢰성에 대한 요구 사항이 점점 더 엄격해지고 있습니다. 마이크로 드릴은 이러한 요구 사항을 충족하는 데 매우 중요합니다...