진공 코팅 환경에서의 연속 생산은 장비 안정성, 공정 반복성 및 박막 품질에 직접적인 영향을 미치는 고유한 문제점을 안고 있습니다. 고처리량 PVD, 마그네트론 스퍼터링, ALD 또는 PECVD 라인에서 장시간 가동 동안 일관된 증착 매개변수를 유지하는 것은 매우 중요합니다.
마그네트론 스퍼터링 및 플라즈마 증착 공정에서 전원 공급 장치 유형은 플라즈마 안정성, 스퍼터링 효율, 박막 밀도 및 공정 반복성을 결정하는 데 매우 중요한 역할을 합니다. 가장 널리 사용되는 전원 공급 장치 유형은 무선 주파수(RF) 전원 공급 장치와 중주파(MF) 전원 공급 장치입니다.