HDA1200

カスタマイズ可能な高硬度フィルム真空コーティング機

硬質コーティングシリーズ

小型工具専用

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製品説明

本装置の陰極は、フロントコイルと永久磁石の重ね合わせによる二重駆動技術を採用し、陽極層イオン源エッチングシステムおよび三次元多角度治具と連携して、複数ステーションでの同時作業を実現します。大径陰極アークを搭載しており、大電流動作条件下でも、陰極アークは優れた冷却性能、高速なアークスポット移動速度、高いイオン化率、高速な蒸着速度を発揮し、より緻密で滑らかなコーティングを効率的に成膜できます。また、そのコーティングは耐酸化性および耐高温性においてより顕著な利点を有しています。

この装置には、AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrNなどの高温超硬質コーティングを施すことができ、マイクロドリル、フライス、タップ、棒状工具、自動車部品、医療機器などの分野で幅広く使用されています。

コーティング特性の例：

コーティング	厚さ（μm）	硬度（HV）	最高温度（℃）	色	応用
Ta-C	1-2.5	4000～6000	400	黒	グラファイト、炭素繊維、複合材料、アルミニウムおよびアルミニウム合金
TiSiN	1-3	3500	900	ブロンズ	硬度55～60HRCのステンレス鋼の切削、精密仕上げ
AlTiN-C	1-3	2800～3300	1100	青みがかった灰色	低硬度ステンレス鋼の切削、成形金型、プレス金型
CrAlN	1-3	3050	1100	グレー	大型切断・プレス金型
CrAlSiN	1-3	3520	1100	グレー	硬度55～60HRCのステンレス鋼の切削、精密仕上げ、乾式切削