본 장비의 음극은 전면 코일과 영구 자석 중첩의 이중 구동 기술을 채택하고, 양극층 이온 소스 에칭 시스템 및 3차원 다각도 고정 장치와 연동하여 다중 스테이션 동시 작업을 구현합니다. 대구경 음극 아크를 장착하여 대전류 작동 조건에서도 탁월한 냉각 성능, 빠른 아크 스폿 이동 속도, 높은 이온화율 및 빠른 증착 속도를 제공하여 더욱 조밀하고 매끄러운 코팅을 효율적으로 증착할 수 있으며, 산화 저항성 및 고온 저항성 측면에서도 우수한 성능을 나타냅니다.
해당 장비는 AlTiN/AlCrN/TiCrAlN/TiAlSiN/CrN 등의 고온 초경질 코팅으로 코팅할 수 있으며, 이러한 코팅은 마이크로 드릴링, 밀링 커터, 탭, 봉형 공구, 자동차 부품, 의료 기기 등 다양한 분야에서 널리 사용되고 있습니다.
코팅 특성의 예:
| 코팅 | 두께(μm) | 경도(HV) | 최고 온도(℃) | 색상 | 애플리케이션 |
| 타-씨 | 1-2.5 | 4000-6000 | 400 | 검은색 | 흑연, 탄소 섬유, 복합 재료, 알루미늄 및 알루미늄 합금 |
| 티신 | 1-3 | 3500 | 900 | 청동 | 55-60HRC 스테인리스강 절단, 정밀 마감 |
| 알티엔-씨 | 1-3 | 2800-3300 | 1100 | 청회색 | 저경도 스테인리스강 절단, 성형 금형, 스탬핑 금형 |
| 크알엔 | 1-3 | 3050 | 1100 | 회색 | 중절삭 및 스탬핑 금형 |
| 크랄신 | 1-3 | 3520 | 1100 | 회색 | 55-60HRC 스테인리스강 절단, 정밀 마감, 건식 절단 |
| HDA0809 | HDA1200 |
| φ850*H900(mm) | φ1200*H600(mm) |