製品説明
本装置は陰極アークイオンコーティング技術を採用し、高度なIETエッチングシステムを搭載しています。処理後、製品は中間層なしで直接硬質コーティングを施すことができます。同時に、従来のアーク技術を永久磁石＋電磁コイル走査技術にアップグレードしました。この技術により、イオンエネルギーを効果的に高め、イオン化率とターゲット利用率を向上させ、アークスポットの移動速度を加速し、液滴の発生を効果的に抑制し、膜の粗さを低減し、膜の摩擦係数を低下させることができます。特にアルミニウムターゲットの場合、ワークピースの耐用年数を大幅に向上させることができます。最新の軽量3D治具を搭載し、均一性と安定性が向上しています。
この装置には、AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrNなどの高温超硬質コーティングを施すことができ、金型、切削工具、パンチ、自動車部品、プランジャーなどの製品に幅広く使用されています。
技術的特徴
1. 強化されたプラズマ、強力な電磁回転走査移動冷陰極、強力な回折、緻密な膜。
2. 長いスパッタリング距離、高エネルギー、良好な密着性。
3. アークが陽極に当たる距離は、メンテナンスのために運転を停止することなく調整できます。
4. ターンオーバートラック構造は、冷陰極の交換とメンテナンスが容易です。
5. アークスポットの位置は制御可能であり、異なる材料に応じて異なる磁場モードを調整できます。
コーティング特性の例
| コーティング | 厚さ（μm） | 硬度（HV） | 最高温度（℃） | 色 | 応用 |
| Ta-C | 1-2.5 | 4000～6000 | 400 | 黒 | グラファイト、炭素繊維、複合材料、アルミニウムおよびアルミニウム合金 |
| TiSiN | 1-3 | 3500 | 900 | ブロンズ | 硬度55～60HRCのステンレス鋼の切削、精密仕上げ |
| AlTiN-C | 1-3 | 2800～3300 | 1100 | 青みがかった灰色 | 低硬度ステンレス鋼の切削、成形金型、プレス金型 |
| CrAlN | 1-3 | 3050 | 1100 | グレー | 大型切断・プレス金型 |
| CrAlSiN | 1-3 | 3520 | 1100 | グレー | 硬度55～60HRCのステンレス鋼の切削、精密仕上げ、乾式切削 |
オプションモデル
| HDA0806 | HDA1112 |
| φ850×H600（mm） | φ1100×H1200（mm） |
相対デバイス
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