ṣe afihan:
Nínú ìmọ̀ ẹ̀rọ ìpamọ́ fíìmù tín-tín, ìtújáde fíìmù oníná jẹ́ ọ̀nà pàtàkì tí a ń lò ní onírúurú ilé iṣẹ́ láti ṣe àwọn fíìmù tín-tín tó ga. Àwọn ànímọ́ àrà ọ̀tọ̀ rẹ̀ àti ìṣeéṣe tí kò láfiwé mú kí ó jẹ́ àṣàyàn tó fani mọ́ra fún àwọn olùṣèwádìí àti àwọn olùṣe. Síbẹ̀síbẹ̀, gẹ́gẹ́ bí ọ̀nà èyíkéyìí, ìtújáde e-beam ní àwọn ààlà tó pọ̀.
Àwọn àǹfààní ìtújáde ìtànṣán ẹ̀rọ itanna:
1. Ìwọ̀n ìfipamọ́ gíga: Ìfipamọ́ E-beam ní ìwọ̀n ìfipamọ́ tó dára ju àwọn ọ̀nà míràn bíi ìfipamọ́ ooru tàbí ìfipamọ́ sputter lọ. Èyí mú kí ṣíṣe àwọn fíìmù tín-ín-rín túbọ̀ ṣiṣẹ́ dáadáa, ó sì ń fi àkókò àti ohun èlò pamọ́.
2. Mu didara fiimu naa dara si: Iyọkuro E-beam le ṣe awọn fiimu pẹlu ifọmọ ati mimọ to dara julọ. Agbara giga ti itanna ina n ṣe iranlọwọ lati nu oju ilẹ ti substrate naa daradara, ti o yorisi didara fiimu ti o dara julọ ati iṣẹ ṣiṣe ọja ipari ti o dara julọ.
3. Ìṣàkóso pípéye ti sisanra fiimu: Ìtújáde ìtànṣán igi elekitiron le ṣe àkóso pípéye ti sisanra fiimu ti a fi pamọ́. Ipele pipeye yii ṣe pataki fun awọn ohun elo ti o nilo sisanra fẹlẹfẹlẹ deede, gẹgẹbi awọn ideri opitika.
Àwọn àìníláárí ti ìtújáde ìtànṣán elekitironi:
1. Ibamu ohun elo to lopin: Iyọkuro E-beam ko dara fun gbogbo awọn ohun elo. Awọn ohun elo kan, paapaa awọn ti o ni awọn aaye yo kekere tabi titẹ eefin giga, le ma ni anfani lati koju ooru lile ti itanna ina n ṣe. Eyi ṣe opin si ibiti awọn ohun elo ti a le fi pamọ nipasẹ ọna yii.
2. Iye owo ohun elo giga: Ni akawe pẹlu awọn ọna gbigbe nkan miiran, awọn ohun elo ti a nilo fun evaporation ti itanna jẹ gbowolori diẹ. Idoko-owo akọkọ yii le jẹ idena inawo fun awọn iṣẹ kekere tabi awọn ile-iṣẹ iwadii ti ko ni inawo to.
3. Ṣíṣeto ati itọju ti o nira: Ṣíṣeto ati mimu eto imukuro e-beam le jẹ ipenija. O nilo oye ati oye, ati itọju deedee lati rii daju pe iṣẹ ṣiṣe deede. Awọn idiju ti o wa ninu rẹ jẹ ki o nira fun awọn ọna ipamọ fiimu tuntun lati tinrin lati loye.
Àkókò ìfìwéránṣẹ́: Oṣù Keje-04-2023