hlahisa:
Lefapheng la theknoloji ea ho boloka filimi e tšesaane, ho fetoha ha mouoane ha mahlaseli a elektrone ke mokhoa oa bohlokoa o sebelisoang liindastering tse fapaneng ho hlahisa lifilimi tse tšesaane tsa boleng bo holimo. Litšobotsi tsa eona tse ikhethang le ho nepahala ho sa bapisoeng le tsona li etsa hore e be khetho e khahlang bafuputsi le bahlahisi. Leha ho le joalo, joalo ka mokhoa ofe kapa ofe, ho fetoha ha mouoane ha mahlaseli a elektrone ho na le mefokolo ea eona e meholo.
Melemo ea ho fetoha mouoane ha mahlaseli a elektrone:
1. Sekhahla se phahameng sa ho ntsha: Mouoane oa E-beam o na le sekhahla se setle sa ho ntsha ha o bapisoa le mekhoa e meng e kang mouoane oa mocheso kapa mouoane oa sputter. Sena se etsa hore tlhahiso ea lifilimi tse tšesaane e sebetse hantle, e boloka nako le mehloli.
2. Ntlafatsa boleng ba filimi: Mouoane oa E-beam o ka hlahisa lifilimi tse khomaretsoeng hantle le tse hloekileng. Matla a phahameng a lehlaseli la elektrone a thusa ho hloekisa bokaholimo ba substrate ka botlalo, e leng se fellang ka boleng bo botle ba filimi le ts'ebetso e ntlafetseng ea sehlahisoa sa ho qetela.
3. Taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi: Mouoane oa mahlaseli a elektrone o ka etsa hore ho be le taolo e nepahetseng ea botenya ba filimi e kentsoeng. Boemo bona ba ho nepahala bo bohlokoa bakeng sa lits'ebetso tse hlokang botenya bo nepahetseng ba lera, joalo ka lipehelo tsa mahlo.
Mathata a ho fetoha ha mouoane ha mahlaseli a elektrone:
1. Ho lumellana ha thepa ho fokolang: Mouoane oa E-beam ha o lokele thepa eohle. Lisebelisoa tse itseng, haholo-holo tse nang le lintlha tse tlase tsa ho qhibiliha kapa khatello e phahameng ea mouoane, li kanna tsa se khone ho mamella mocheso o matla o hlahisoang ke khanya ea elektrone. Sena se fokotsa mefuta ea thepa e ka beoang ho sebelisoa mokhoa ona.
2. Litšenyehelo tse phahameng tsa lisebelisoa: Ha li bapisoa le mekhoa e meng ea ho beha, lisebelisoa tse hlokahalang bakeng sa ho mouoane ha mahlaseli a elektrone li theko e boima haholo. Letsete lena la pele le ka baka tšitiso ea lichelete bakeng sa ts'ebetso e nyane kapa lits'ebeletso tsa lipatlisiso tse nang le lichelete tse fokolang.
3. Ho seta le ho hlokomela ka tsela e rarahaneng: Ho seta le ho hlokomela sistimi ea ho mouoane ea e-beam ho ka ba thata. Ho hloka boiphihlelo le boiphihlelo, hammoho le tlhokomelo ea kamehla ho netefatsa ts'ebetso e tsitsitseng. Mathata a amehang a etsa hore ho be thata hore mekhoa eo e mecha ea ho beha filimi e be bonolo e utloisisehe.
Nako ea poso: Phupu-04-2023