qhia txog:
Hauv kev siv tshuab ua kom cov yeeb yaj kiab nyias nyias, kev siv hluav taws xob los ua kom cov yeeb yaj kiab nyias nyias zoo yog ib txoj hauv kev tseem ceeb uas siv rau ntau yam lag luam los tsim cov yeeb yaj kiab nyias nyias zoo. Nws cov yam ntxwv tshwj xeeb thiab kev ua kom raug zoo ua rau nws yog qhov kev xaiv zoo rau cov kws tshawb fawb thiab cov chaw tsim khoom. Txawm li cas los xij, zoo li txhua txoj kev siv, kev siv hluav taws xob los ua kom cov yeeb yaj kiab nyias nyias muaj nws cov kev txwv ntau heev.
Cov txiaj ntsig ntawm kev ua kom cov pa hluav taws xob tawg:
1. Tus nqi tso tawm siab: E-beam evaporation muaj tus nqi tso tawm zoo heev piv rau lwm txoj kev xws li thermal evaporation lossis sputter evaporation. Qhov no ua rau kev tsim cov yeeb yaj kiab nyias nyias ua haujlwm tau zoo dua, txuag lub sijhawm thiab cov peev txheej.
2. Txhim kho qhov zoo ntawm zaj duab xis: E-beam evaporation tuaj yeem tsim cov zaj duab xis nrog kev nplaum zoo heev thiab kev huv. Lub zog siab ntawm lub electron beam pab kom huv si ntawm qhov chaw ntawm lub substrate, ua rau cov zaj duab xis zoo heev thiab kev ua tau zoo ntawm cov khoom kawg.
3. Kev tswj qhov tuab ntawm zaj duab xis kom meej: Kev ua kom cov pa roj ntawm lub teeb hluav taws xob tuaj yeem ua tiav kev tswj qhov tuab ntawm zaj duab xis uas tau tso tawm. Qib kev ua kom raug no yog qhov tseem ceeb rau cov ntawv thov uas xav tau cov txheej tuab kom meej, xws li cov txheej txheej kho qhov muag.
Qhov tsis zoo ntawm kev ua kom lub zog hluav taws xob tsis zoo:
1. Kev sib raug zoo ntawm cov khoom siv tsawg: E-beam evaporation tsis haum rau txhua yam khoom siv. Qee cov khoom siv, tshwj xeeb tshaj yog cov uas muaj cov ntsiab lus melting qis lossis cov pa siab, yuav tsis tuaj yeem tiv taus qhov kub siab uas tsim los ntawm lub electron beam. Qhov no txwv cov khoom siv uas tuaj yeem tso tau siv cov txheej txheem no.
2. Tus nqi khoom siv siab: Piv nrog rau lwm txoj kev tso dej, cov khoom siv uas xav tau rau kev ua kom cov hluav taws xob yaj yog kim heev. Qhov kev nqis peev thawj zaug no tuaj yeem ua rau muaj teeb meem nyiaj txiag rau kev ua haujlwm me me lossis cov chaw tshawb fawb uas muaj peev nyiaj tsawg.
3. Kev teeb tsa thiab kev saib xyuas nyuaj: Kev teeb tsa thiab kev saib xyuas lub tshuab e-beam evaporation tuaj yeem nyuaj. Nws xav tau kev txawj ntse thiab kev txawj ntse, nrog rau kev saib xyuas tas li kom ntseeg tau tias muaj kev ua haujlwm zoo sib xws. Qhov nyuaj uas koom nrog ua rau nws nyuaj rau cov neeg tshiab rau cov txheej txheem tso zaj duab xis nyias kom nkag siab.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Xya Hli-04-2023