Su'esu'ega o Tulaga Lelei ma Tulaga Le Lelei o le Fa'amamago o le Ave'esea o le Electron Beam

fa'ailoa atu:

I le matata o tekinolosi o le teuina o ata manifinifi, o le fa'amamago o le ave eletise o se metotia taua e fa'aaogaina i le tele o pisinisi e gaosia ai ata manifinifi e maualuga le tulaga lelei. O ona uiga tulaga ese ma le sa'o e le mafaatusalia e avea ai ma filifiliga manaia mo tagata su'esu'e ma tagata gaosi oloa. Peita'i, e pei o so'o se metotia, o le fa'amamago o le ave eletise e iai ona tapula'a tetele.

Fa'amanuiaga o le fa'amamago o le ave eletise:

1. Maualuga le fua faatatau o le fa'aputuina: O le fa'amamāina o le E-beam e sili atu ona lelei pe a fa'atusatusa i isi metotia e pei o le fa'amamāina o le vevela po'o le fa'amamāina o le sputter. O lenei mea e sili atu ona lelei ai le gaosiga o ata manifinifi, ma sefe ai le taimi ma punaoa.

2. Fa'aleleia le lelei o le ata tifaga: E mafai e le fa'amamago o le E-beam ona maua ai ni ata tifaga e pipii lelei ma mama. O le malosi tele o le ave eletise e fesoasoani e fa'amama lelei ai le fogāeleele o le substrate, ma i'u ai i le lelei tele o le ata tifaga ma fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o le oloa fa'ai'u.

3. Pulea lelei o le mafiafia o le ata tifaga: O le fa'amamāina o le ave eletise e mafai ona fa'atinoina ai le pulea lelei o le mafiafia o le ata tifaga ua teuina. O lenei tulaga o le sa'o e taua tele mo fa'aoga e mana'omia ai le mafiafia sa'o o vaega, e pei o ufiufi opitika.

Le lelei o le fa'amamago o le ave eletise:

1. Fegalegaleaiga fa'atapula'a o meafaitino: E le fetaui le fa'amamago o le E-beam mo meafaitino uma. O nisi meafaitino, aemaise lava i latou e maualalo le liusuavai po'o le maualuga o le mamafa o le ausa, atonu e le mafai ona tatalia le vevela tele e mafua mai i le ave eletise. O lenei mea e fa'atapula'aina ai le tele o meafaitino e mafai ona fa'aputuina e fa'aaoga ai lenei metotia.

2. Tau maualuga o meafaigaluega: Pe a faatusatusa i isi metotia o le teuina o le eletise, e fai si taugata o meafaigaluega e manaomia mo le fa'amamago o le eletise. O lenei tupe teufaafaigaluega muamua e mafai ona avea ma fa'alavelave tau tupe mo galuega laiti po'o nofoaga su'esu'e e fa'atapula'aina a latou paketi.

3. Fa'atulagaga ma le tausiga faigata: O le fa'atulagaina ma le tausiga o se faiga fa'amamago e-beam e mafai ona faigata. E mana'omia ai le tomai ma le poto masani, fa'apea fo'i ma le tausiga masani ina ia mautinoa le fa'atinoina lelei. O le faigata o mea e aofia ai e faigata ai mo i latou e fou i metotia o le fa'apipi'iina o ata manifinifi ona malamalama i ai.