MFA0605

Với sự tăng trưởng nhanh chóng của nhu cầu thị trường về việc cải thiện khả năng chống mài mòn, bôi trơn, chống ăn mòn và các tính chất khác của lớp phủ cứng, thiết bị phủ ion từ hồ quang catốt đã trở thành điểm nhấn. Thiết bị này sử dụng thiết bị lọc từ tiết diện tròn khuỷu tay 90 độ hiệu quả và được sử dụng phổ biến nhất, có thể loại bỏ hiệu quả các hạt lớn, để phát huy hết các ưu điểm của công nghệ phủ ion hồ quang catốt. Trong lĩnh vực chế tạo lớp phủ siêu cứng DLC, đặc biệt là trong lĩnh vực chế tạo lớp phủ Ta-C có nhiều tính chất vật lý và hóa học tuyệt vời, chẳng hạn như độ cứng cao, hệ số ma sát thấp, dẫn nhiệt, cách điện, hấp thụ tia cực tím, chống hư hỏng do bức xạ, chống ăn mòn, v.v., những ưu điểm này đặc biệt đáng kể. Độ cứng trung bình của lớp phủ Ta-C có thể đạt tới khoảng 63GPa.
Thiết bị có thể lắng đọng lớp phủ carbon giống kim cương lai như Ta-C / AlTiN / AlCrN / TiCrAlN / TiAlSiN / CrN, thích hợp cho khoan vi mô, dao phay, vòi, dao cắt hình thanh, phụ tùng ô tô, thiết bị y tế và các lĩnh vực khác.
Kết quả thử nghiệm phổ Raman laser, phổ Raman của lớp chuyển tiếp Cr trên bề mặt thép tốc độ cao:

Mẫu 20210122, Kết quả kiểm tra Raman được điều chỉnh theo phương pháp Gauss (ID/IG=0,224, hàm lượng sp3 đủ cao):

Theo kết quả thử độ cứng của thiết bị đo độ cứng Nano, độ cứng trung bình của mẫu 20210122 là 62,7GPa: